电气控制系统技术协议0712xs

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1、HM13B21镀膜线电气控制系统技术协议供方：需方：德州XX太阳能真空管有限公司经供需双方协商达成HM13B21镀膜线电气控制系统技术协议；供方按此技术协议的要求，对该控制系统进行图纸设计，并经需方审核确认后，作为该控制系统的正式技术文件，完成该自动控制系统的系统成套，技术协议具体内容如下：1、自动控制系统方框图和系统控制方式：该控制系统的控制方式：选用三菱MELSECNET/H远程I/O网控制，既一个总站PLC和两个远程I/O分站，用两个分站分别控制镀膜线两端的模拟量、开关量，镀膜线中间部分和变频器部分由总站控

2、制，采用合理的系统配置和最佳程序控制，实现镀膜控制系统的手动控制、半自动控制和自动控制方式，达到工艺调试和镀膜生产控制的功能要求；外传输分别独立控制，并用无线通讯方式与总站进行通讯。2、自动控制系统组成：自动控制系统由工业控制计算机、PLC、触摸屏、52寸液晶电视、变频器、伺服、开关电源、中频电源、压阻真空计、电阻真空计、复合真空计、复合压强控制仪、质量流量计、PCU04、压电陶瓷阀、分子泵电源、断路器、接触器、中间继电器控制器件、检测器件和执行元件等组成，实现镀膜线自动控制。镀膜线自动控制系统具有抽真空，工件车

3、的内、外传输，溅射镀膜、反应溅射的真空控制、电压反馈控制和检测、报警等功能。具体构成如下（1）操作台：1）操作台美观大方，设控制系统启动、停止、暂停、自动、半自动、手动和急停按钮，方便操作；52寸液晶电视放在操作台上，液晶电视同步显示镀膜线的工作状态画面和动画。2）操作台上一台工控机（另一台为远处监控），配通讯板卡与下位的PLC时实通讯。3）实时监控镀膜线的全不生产过程，并记录运行状态和工艺参数。4）显示各工艺曲线、存储、打印所需数据。5）操作台各部尺寸比例合理，表面喷塑经久耐用。6）触摸屏的高度要便于工艺员操作

4、和数据观察。（2）电气控制柜：81）低压380伏电源供电柜，208伏中频电源供电柜，主站PLC控制柜，操作台，压阻式、电阻式真空计和压强控制仪柜，变频器柜，中频电源柜，从站PLC柜，分子泵电源柜，外传输控制柜等。元器件：三菱PLC，三菱触摸屏，三菱FR-A700变频器（等速时工作频率在40-50Hz），三菱伺服控制部分，欧姆龙开关电源、欧姆龙旋转编码器、欧姆龙接近开关和光电开关，松下中间继电器，施耐德断路器、接触器、按钮、开关，靶水压、水温、断水传感器，中频电源水压、压缩空气压力传感器等控制器件，控制柜要留有一定

5、空余空间，并装冷却风扇。每个中频电源柜体要在后侧，装轴流式风机，确保中频电源散热。所有接线端子均选万可品牌，所有接线号必须用打号机打印，线号要清楚。所有PLC输入备用点接到控制柜的接线端子上，所有PLC输出点接中间继电器和接触器再接到控制柜的接线端子上，线号要齐全准确。控制室和镀膜线进出管室分别各装一个塔式报警灯。控制室装一台无线电话总机，镀膜线配三台无线电话与控制室进行通讯联系。2）PLC作为整条镀膜线的主控单元，用来实现对镀膜线的系统控制，既控制溅射电源、传动机构和各真空室，靶、泵、阀、水、工作气体、反应气体

6、及真空度的监控，并实现与上位机进行实时通讯，同步存储镀膜线的工况参数和显示工作状态画面。3）触摸屏作为整个系统控制、显示终端，可同时控制和显示系统状态，屏幕的画具有自动、半自动、手动控制模式转换功能；可以设定和显示：真空系统参数、传输系统参数（实时显示工件车位置画面和各段传输速度）、溅射电源参数（靶电压、靶电流和靶功率）、工作气体和反应气体的压强流量参数、各泵、阀和隔离门的启/停、具有各种故障报警和年月日、时间显示。液晶电视作为控制系统状态显示屏，同步显示镀膜线的实时工况。4）进/出管室、进/出管过渡室、出管传输

7、室分别用变频器和变频电动机作为传动系统的驱动装置（传输速度20-25米/分，频率40-50Hz确定后不变），配合光电开关和旋转编码器，控制传输按设定速度曲线启动、加速、等速、减速和停止，保证传输位置控制的准确。5）进管过渡室到进管传输室，用伺服驱动控制，确保后工件车快速跟踪前工件车（跟踪速度30-35米/分），并且在后工件车达到镀膜速度时，后工件车的前端和前一个工件车后端距离为100mm；并保证快速跟踪的位置准确度要求，跟踪结束时前后工件车的间距误差+/-30mm。6）镀膜区由一个电动机驱动，镀膜区额定速度1.1

8、米/分，在0.4-1.6米/分可调，此时变频器的频率对应在15-60Hz。1）中间继电器、接触器等对最终执行器件的控制，如对各泵、阀及传动机构实现启/停控制。（3）真空计、压强控制仪柜：1）装有复合式真空计和复合式压强控制仪（清华大学），分别采集各真空室的真空度，将其采集的真空度信号通过RS-232转换成RS-485与PLC进行通讯、传输数据。8压强控制仪（控制压电阀）和