《1硅片加工技术》授课计划

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1、课程授课计划选用教材及参考资料《硅片加工技术》张厥宗著化学丄业出版社课元号授单序求要与容内学教要主S-I-J超各g在/(周次点地课授论理实验实训11级。及业用产应伤啲光述林攏概is••章握容U於了掌内第要、、学f学12教教2第1周楼学教2质性学;O{类质a>种性卵的的本h-h-基材材的硅硅硅解握备—乳了掌内2.要l>h学学教教2第1周楼学教3O性质•，怜i询结学结C化体P-、晶的理的料物硅材的体体硅导导体¥-¥-导解握条J乳了掌内2•要K2>学參2第2周楼学教4应效1m术生技光；對ia±麵原的$转晶呀电池純光电匕匕匕匕匕S厶B

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4、学要求：1、掌握太阳电池用的硅晶片的加工过程；2、了解太阳电池用的硅晶片的加工技术。2第5周教学楼10教学内容：7.5-7.6太阳电池组件装賈的生产工艺过程教学要求：1、了解太阳能电池的应用；2、掌握太阳电池组件装賈的生产工艺过程。2第5周教学楼11教学内容：电池片生产工艺流程教学要求：熟悉电池片的生产工艺流程2第6周实验宰12教学内容：光伏组件生产工艺流程教学要求：熟悉组件的生产工艺流程2第6周实验宰13教学内容：3.1对集成电路（1C）用硅单晶、抛光片的技术要求教学要求：1、了解半导体材料的纯度；2、掌握对集成电路（1C）用

5、硅单晶的技术要求。2第7周教学楼14教学内容：3.3控制硅片质量的主要特征参数教学要求：1、掌握硅片质量控制中有关技术术语；2、了解硅片加工的质量特性参数。2第7周教学楼15教学内容：3.4-3.5硅晶片加工的工艺流程教学要求：1、掌握硅晶片加工的工艺流程；2、了解硅单晶棒（锭）的制备。2第8周教学楼16教学内容：3.6-3.9硅晶棒（锭）的截断教学要求：了解硅单晶棒外圆的滚磨（圆）磨削、硅单晶棒外圆的滚磨（圆）磨削2第8周教学室17教学内容：3.10-3.14硅切片、倒角、表面处理教学要求：1、掌握硅切片工艺；2、了解硅片的倒

6、角与表面处理。2第9周教学楼18教学内容：3.15-3.17硅片的抛光教学要求：1、掌握硅片抛光原理；2、了解硅片抛光工艺流程。2第9周教学楼9洗清檢掛。靴流装1IW艺紐硅洗片❹清硅.2握解备8-3乳掌了内3.要1>2、学学a-a-2第10周楼学教20项事意注及程流艺程工流产艺生工的产片:生：硅容片求解内硅要了学脊2第10周室验实21•9O类备种制片片片延延延外外恥硅硅硅握解备1乳掌了内4.要1、2>学脊教教2第11周楼学教22;Q类备种制的的料料料材材禍锗锗谢硅硅辭握解条2农掌了内4•要U2、学參2第11周楼学教32•9备。制

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9、责填写，于每学期开学第二周内送交所在院部教学主任（院长）审定，签字/S备齊。2、此表一式三份，其中任课教师一份，教师所在院部存档一份，报送教务处一份。