各种真空泵[1]

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1、真空泵获得低真空的独立设备为机械泵。作为前级泵获得高真空的的泵作为次级泵。机械泵（低真空泵）目前主要为涡旋式真空泵一，立式油润滑涡旋真空泵二，水冷干式涡旋真空泵三，风冷干式涡旋真空泵四，带波纹管密封的干式涡旋真空泵立式油润滑涡旋真空泵该泵的径向间隙具有易于密封和控制的优点。与当时市场上广泛使用的旋片真空泵相比，涡旋真空泵具有更高的容积效率。同时此款式真空泵表明了涡流真空泵的高效性，并对如何消除余隙容积、控制间隙等提出了有效的方法。但是由于没有冷却装置，导致该真空泵的应用受到了很大的限制。同时随着半导体行业的发展，此系统无法满足清洁以及耐腐蚀的要求。

2、水冷干式涡旋真空泵随着涡旋真空泵在半导体行业中应用的不断扩大，人们开始致力于干式涡旋真空泵的研究。于是人们研究出泵腔内不含任何油类跟液体的干式涡旋真空泵。其中采用水冷的方式解决泵内各部件的润滑和冷却等问题的为水冷干式涡旋真空泵。冷却水通过主轴内的通道对电动机、轴承、轴封等处进行冷却。为了避免泵腔内气体因温度过低而凝结，冷却水并不对工作腔进行冷却。还有效地解决了动静盘热力变形造成的相互接触，离心力造成的动盘振动等问题。缺点就是冷却水回路却不可避免地造成结构的复杂性。风冷干式涡旋真空泵为了解决水冷结构造成的结构复杂等问题，人们又研制了采用风冷方式进行冷

3、却的干式涡旋真空泵。即风冷干式涡旋真空泵。为了提高泵的抽速、涡盘采用双侧涡圈结构。该涡圈结构的优点在于：①抽速是普通涡圈的2倍。②动盘的轴向力具有自平衡的特点。主轴上装有两个冷却风扇，分别位于两个静盘的端部。主轴转动时带动风扇一起转动，达到对涡盘的冷却效果。同时它采用了半封闭式结构，解决了电动机的冷却问题。从而使真空泵的结构更加紧凑，更加易于装配。但是双侧涡圈结构要求动盘具有较高的轴对称性，加工难度较大带波纹管密封的干式涡旋真空泵BOC公司也推出了一种采用风冷方式进行冷却的干式涡旋真空泵，该泵采用全封闭式结构，涡盘为单侧涡圈结构，冷却风扇安装在静盘

4、的端部。它最大的特点在于动盘与机架之间通过金属波纹管进行连接，具有以下两个主要的优点：①波纹管结构提供了密封作用，将泵内的真空环境与外界环境进行了隔离，从而最大限度地避免了泵内工质向大气的泄漏，拓展了涡旋真空泵的用途，可以对某些特殊气体进行抽除。②波纹管结构提供了防止动盘自转的作用，替代了常用的曲拐防自转机构，使得结构更紧凑。③波纹管结构可以根据动盘受力的变化提供轴向和径向的补偿，提高了密封的效果。但是目前的金属波纹管主要用于管路中，工作时处于静止的状态。而在涡旋真空泵中，波纹管工作时则处于运动的状态。因此，它必须具有较好的柔性。但是目前市场上的金

5、属波纹管大多显得硬度有余而柔性不足。为此，研制出合适的金属波纹管是这一结构有效应用于干式涡旋真空泵的重要前提之一。总结目前市场上是比较常见的是风冷干式涡旋真空泵和带波纹管密封的涡旋真空泵。前者在结构上更紧凑，更易于装配；后者的密封性能较好，适合用于对某些特殊气体的抽除。但是它们在制造中各有技术难点，并不利于国内干式涡旋真空泵的工业化生产。目前干式涡旋真空泵在国内的发展尚属于起步阶段，产品主要依赖于进口。而具有价格合理，易加工，结构紧凑及高效可靠等特点的干式涡旋真空泵，将是该类型产品未来发展的趋势。也是目前国内应大力开发的高效机械真空泵的研究方向。高

6、真空泵分子（增压）泵扩散泵离子泵分子泵分子泵特点1，结构简单,运行可靠,能承受大气冲击；2，兼有中、高真空双重性能；3，能获得清洁真空；4，能耗低；5，易于研制抽速10000L/S以上的大型泵；分子泵分子增压泵的基本结构如图1所示。由泵壳(1)、转子(2)、端盖(3)、轴承(4)、2#静轮(5)、动密封轮(6)、1#静轮(7)、柱面静轮(8、9、10)等组成。转子的基本结构如图2所示,中部为8只(实际泵中为14只)平盘动轮(11),平盘动轮两侧分别设有2只同轴的柱面动轮(12、13)。相邻平盘动轮之间依次设有1#静轮、动密封轮和2#静轮,其中,5只

7、(实际泵中为9只)1#静轮位于中部,两侧各有1只(实际泵中为2只)2#静轮,2#静轮和1#静轮之间设有1只动密封轮。分子泵平盘动轮如图3所示,内侧设有6个等分的连通气孔(14)。1#静轮和2#静轮的结构相同,如图4所示,由6片均布的螺旋状叶片(15)和固定环(16)组成。5只1#静轮与平盘动轮组成5组并联的双重牵引分子泵抽气单元,构成第一抽气级。2#静轮与平盘动轮组成左、右各1组双重牵引分子泵抽气单元,构成第二抽气级。两只动密封轮各自由两组串联的Siegbahn分子泵静轮构成。柱面动轮(12)的外侧和柱面动轮(13)的内侧分别设有一只Holweck

8、分子泵静轮(8)和(10),两只柱面动轮之间设有一只双面设有串联抽气槽的Holweck分子泵静轮(9),它们共同组成4组串