各种真空泵的应用.docx

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1、目录1．爪型干式真空泵11.1爪型干式真空泵概述11.2爪型干式真空泵的结构11.3爪型干式真空泵的特点21.4爪型干式真空泵的应用32.水环式真空泵42.1水环式真空泵的基本类型42.2水环式真空泵的特点42.3水环真空泵的应用52.4水环式真空泵的选择要点63.干式螺杆真空泵83.1真空泵特征83.2螺杆式干式真空泵的应用84.往复式真空泵104.1W型往复式真空泵的结构组成：114.2W型往复式真空泵的应用114.3往复式真空泵选型须知115．水喷射真空泵125.1水喷射真空泵原理与用途125.2水喷射真空泵结构优点125.3

2、喷射式泵的种类135.4喷射泵的应用146.旋片式真空泵166.1旋片式真空泵的结构说明166.2旋片式真空泵的特点及适用范围176.3旋片式真空泵的应用176.4旋片式真空泵的使用186.5性能特点186.6旋片式真空泵的使用特点187．滑阀式真空泵207.1滑阀式真空泵的结构特点207.2滑阀真空泵的应用范围218．罗茨真空泵238.1罗茨真空泵的结构形式238.2泵的传动方式238.3罗茨泵的特征248.4罗茨真空泵的应用249.扩散泵259.1性能参数259.2扩散泵的应用范围269.3影响油扩散泵性能的因素2610.分子泵

3、2710.1工作条件2710.2分子泵特点2810.3其他常见应用2811.钛升华泵2911.1简介2911.2钛升华泵的特性3111.3影响因素3111.4钛升华泵的应用3111.5使用要求3111.6其他不得不看的真空泵选型策略3212.真空泵最佳工作范围33各种真空泵的应用1．爪型干式真空泵1.1爪型干式真空泵概述爪型干式真空泵利用连接在两轴上的成对的爪型转子之间、转子与泵腔内壁之间以及转子与隔板之间进行有间隙、无摩擦的啮合所形成的密闭腔的容积大小变化来完成吸排气过程。1.2爪型干式真空泵的结构爪型干式真空泵的结构，一般采用多

4、级转子串联，或罗茨转子与多级转子串联的形式，组成多级爪型干式真空泵。如图所示，四级泵腔依次串联，每级泵腔内各有一对共轭啮合，做同步反向运动的爪型转子。四级泵腔中的第一级泵腔为吸气级，其吸气容积比后面三级大，形成级间压缩。四对转子装在二根平行轴上，轴由上下两端轴承支撑，泵腔级与级之间有隔板，隔板上有吸排气通道。电动机倒立安装，经过渡齿轮将动力传递到转子轴上，转子轴由一对同步时限齿轮带动及调整和固定转子的相位。转子之间及转子与泵腔内部留有微小缝隙，转子悬浮于泵腔使得过流部分无任何实质性接触摩擦，也不需要润滑，这就保证了爪泵可以长期稳定保

5、持极限真空、抽速、压缩比不变，寿命长。1.3爪型干式真空泵的特点（1）泵腔内不含油类等任何介质、清洁抽空，对环境无污染；（2）真空度高，可达3Pa；（3）结构简单，易于操作和维护，运行成本低；（4）能在较高压力下长期连续工作，噪声小；（5）能抽除腐蚀性气体、有毒气体、易燃易爆气体、放射性气体、含有尘埃的气体和可凝性气体(例如水蒸气、有机气体等)；（6）能做气体传输泵使用，压缩比良好，可达10-105；（7）转子对悬浮在泵腔内，转子对间，转子与泵腔间不接触，无摩擦，使用寿命长。1.4爪型干式真空泵的应用（1）石化行业：①能抽除酸性气体

6、:如四氢呋喃等。②能抽除可凝性气体：如酒精、汽油等。③能抽除易燃易爆气体：如氧气、氢气、甲烷等。④防腐系列能抽除强酸性气体：如氯化氢气体、氟化氢气体、硫酸气体等。（2）医药行业：结晶、蒸馏、升华、干燥、脱臭、聚合、真空蒸发、负压过滤、单体回收、吸附/脱附、物料输送腐、蚀性介质、环氧乙烷消毒等。（3）食品行业：升华、干燥、脱水、真空蒸发、真空保鲜、真空包装等。（4）科研院所：旋蒸、蒸馏、精馏、聚合、负压抽滤、真空干燥、中试装置、风洞试验、真空环境模拟等。（5）电子光伏：浸渍、真空镀膜、离子刻蚀、分子束外延等。（6）航天航空：钎焊、真空

7、镀膜、电子束焊、风洞试验、空间环境模拟等。（7）冶金行业：浸渍、挤出、真空镀膜、离子刻蚀、泥料脱气、钢水脱气、分子束外延等。（8）核工业：零泄露爪泵可抽除UF6气体。（9）其它行业：中央空调、室内真空、污水处理、锂电池制造等。2.水环式真空泵2.1水环式真空泵的基本类型水环泵按不同结构可分成如下几种类型：（1）单级单作用水环泵：单级是指只有一个叶轮，单作用是指叶轮每旋转一周，吸气、排气各进行一次。这种泵的极限真空较高，但抽速和效率较低。（2）单级双作用水环泵：单级是指只有一个叶轮，双作用是指叶轮每旋转一周，吸气、排气各进行二次。在相

8、同的抽速条件下，双作用水环泵比单作用水环泵大大减少尺寸和重量。由于工作腔对称分布于泵轮毂两侧，改善了作用在转子上的载荷。此种泵的抽速较大，效率也较高，但极限真空较低。（3）双级水环泵：双级水环泵大多是单作用泵串联而成。实质上是两个单级