微纳科学技术研究院招生简介ppt课件

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1、微纳科学技术研究院学子们成长成才的沃土微纳科学技术研究院概况微纳科学技术研究院系上海交通大学直属研究院，专门从事微米/纳米科学与技术的基础和应用基础研究，开展以非硅微细加工与微机电系统（MEMS）、纳米材料与生物医学、纳米光学与纳电子器件制造技术等为主要研究方向的多学科交叉研究，是国内著名的微纳米科技研究基地。研究院科研条件先进，科技攻关和学术水平高。目前设有“微电子学与固体电子学”和“纳米材料科学与工程”博士点，“微电子学与固体电子学”硕士点，招收和培养来自电子、材料、化学、机械、物理等不同学科的硕士、博士、博士后，设有“薄

2、膜与微细技术”教育部重点实验室、“微米/纳米加工技术”国家级重点实验室，是上海交通大学“211”和“985”重点投资建设的单位之一。研究院位于上海交通大学闵行校区综合实验楼群。研究院所属实验室面积超过5000m2，其中净化面积1400m2，主要设备：高真空纳米薄膜溅射系统、多靶磁控溅射系统、双面光刻机、反应离子刻蚀仪、扫描电子显微镜、电化学分析仪、等离子增强化学气相沉积仪、电子束蒸发沉积设备、真空热压机、俄歇电子能谱仪、表面轮廓仪、氧化扩散炉、纳米压印设备、4吨18兆去离子水系统、高效液相色谱仪、荧光分光光度计、Zata电位分

3、析仪等设备构成微器件与微系统研究、纳米生物医学与纳米电子器件研究的主要装备。800平米超级净化实验室完整的微纳加工工艺线部分代表设备雄厚的师资力量（一）教学和科研力量微纳研究院拥有70多名教职工，其中博士学历比例达到80%以上，海归教师的比例逐年提高。教授：19名副教授：20名讲师：19名支撑人员：13名雄厚的师资力量（二）学术领军人才院士：庄松林教授（双聘）讲席教授：黄惠良教授国家千人计划专家：胡志宇教授长江学者：张亚非教授973首席、特聘教授：崔大祥教授总装备部微纳米专家组专家：胡志宇教授丰硕的研究成果（一）研究院在三维非

4、硅材料微细加工技术和纳米材料制备及应用方面独具特色：兆声波显影技术、深层微盲区小孔电铸技术、微复制技术等微制造技术处于国内领先，纳米材料的制备技术、纳电子器件制造技术、纳米材料在重大疾病诊断和治疗的技术进展迅速，在上述技术探索的基础上，研究院取得了一系列重大科研成果.丰硕的研究成果（二）制成直径1mm和2mm的电磁型微马达、重量0.1克的微型直升飞机、模数0.03直径2mm的微行星齿轮减速器、MEMS密码锁、形状记忆合金薄膜驱动的微泵，单电子特性的原理型晶体管，金刚石镀层技术，纳米碳管制备及排布技术、纳米传感器制备及集成技术、

5、纳米压印曝光技术、纳米材料检测技术、材料表面修饰与可控合成技术等。丰硕的研究成果（三）其中“实用电磁型微马达关键技术研究”获2000年国家技术发明二等奖、“非硅MEMS技术及其应用研究”获得2008年国家技术发明二等奖“MEMS强链及其应用研究”获2006年教育部技术发明一等奖、“同步辐射空间姿态可调连续变焦超长准直和聚焦系统”获2006教育部科技奖专利发明一等奖。还获得了包括国家自然科学二等奖在内的其他近20项国家及省部级奖项。丰硕的研究成果（四）微器件2021-8-3113丰硕的研究成果（五）微加工2021-8-3114丰

6、硕的研究成果（六）MEMS军工应用研究进展显著微器件、微系统制备多项关键技术取得明显进步，研制成功微天线、微驱动器、阵列式微开关、微陀螺、微针、柔性衬底制备、微电感等一系列微器件采用MEMS技术微小型XXX引信项目通过总装陆装部鉴定,在国内首次实现MEMS技术在智能引信中的应用MEMS强链及其应用,为MEMS技术用于我国大型武器装备提供核心技术采用通信技术研制成功XXX通信系统，提升了我国传统的XXX通信系统性能上述系列研究成果获得2008年国家技术发明二等奖2021-8-3115丰硕的研究成果（七）纳米基础研究进展迅速围绕纳

7、米加工技术、纳电子器件与电路的新材料、纳米尺寸效应等基础理论展开深入研究，在一维纳米材料制备、修饰、排布、剪切、焊接等关键技术上取得突破，发表数百篇高水平论文，形成良好发展态势围绕重大疾病诊断与纳米材料生物学效应，开展纳米生物材料制备、表征与安全性方法与系统研究，获得国家973和十一五重大专项资助，为深入探索研究奠定扎实的基础2021-8-3116丰硕的研究成果（八）100(c)before10A)1(DIS0.1after0.01-15-10-505V(V)G1碳7纳米管沟通2021-8-31丰硕的研究成果（九）100nm

8、100nm2021-8-31可用于1纳8米生物机器构筑的纳米材料丰硕的研究成果（十）芯片与传感器基础上的肿瘤预警系统的研究及纳米生物器件研究。丰硕的研究成果（十一）高容量锂离子电池高容量超级电容器20具有催化活性高、回收处理方便的纳米中晶丰硕的研究成果（十二）2008年9月发