mtl-pi-010 蚀刻工序作业指导书

《mtl-pi-010 蚀刻工序作业指导书》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、深圳市牧泰莱电路技术有限公司SHENZHENMULTILAYERPCBTECHNOLOGYCO.,LTD文件編號：MTL-PI-010制訂日期：2007-1-18版本：A.2頁碼：-5-文件名稱蚀刻工序作业指导书文件修改记录页码版本修改内容生效日期ALLA.0首次颁布2006-8-30ALLA.1修订蚀刻参数2006-12-26ALLA.24.4工艺参数及操作条件更改2007-1-18受控文件保管者记录序号分发单位1电镀班总页数：共5页编制：审核：批准：深圳市牧泰莱电路技术有限公司SHENZHE

2、NMULTILAYERPCBTECHNOLOGYCO.,LTD文件編號：MTL-PI-010制訂日期：2007-1-18版本：A.2頁碼：-5-文件名稱蚀刻工序作业指导书1.0目的建立详细的作业规范，籍以稳定品质，提升生产效率，并作为设备保养、员工操作的依据，此文件同时也是本岗位新员工培訓之教材。2.0适用范围本作业规范适用于本公司蚀刻（含去膜、退锡）工序。3.0职责电镀班具体负责落实本指导书的实施及蚀刻设备的维护与保养。4.0作业内容4.1作业流程4.1.1内层（负片）蚀刻作业流程烤板→检查→

3、蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→退膜→清洗→烘干→蚀检→转黑化工序4.1.2镀锡板蚀刻作业流程退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→退锡→烘干→蚀检→转下工序4.1.3镀金板蚀刻作业流程退膜→检查→蚀刻→氨水洗→压力水洗→水洗→强风吹干→自检→酸洗→清洗烘干→蚀检→转下工序4.1.3若外层线路使用负片菲林，其蚀刻流程同4.1.1。4.2蚀刻工序设备及物料清单蚀刻机、褪膜机、褪锡机、排骨架、猪笼架、放板台、去膜槽、水洗台、软毛刷、蚀刻子液、褪铅锡药水、褪膜篮、NaOH、氨水、柠檬

4、酸、胶盆。4.3基本流程说明4.3.1退膜：通过强碱溶解表面油墨/干膜使之退去，露出所需之铜。4.3.2蚀刻：在碱性强氧化剂的条件下，将线路板上之多余铜面除去。4.3.3退锡：去除蚀刻后图形上的抗蚀锡层。4.3.4酸洗：清洗金面轻微氧化，防止氧化加深。4.4工艺参数及操作条件槽名控制成份控制范围操作条件分析频率退膜NaOH2%~5%喷淋室温2次/周退膜速度0.8~1.5m/min蚀刻Cu2+130~145g/L喷淋压力：A泵上压3.0±0.1Kg/cm21次/天Cl-160~200g/L比重1.

5、190~1.2001次/班PH7.8~8.2深圳市牧泰莱电路技术有限公司SHENZHENMULTILAYERPCBTECHNOLOGYCO.,LTD文件編號：MTL-PI-010制訂日期：2007-1-18版本：A.2頁碼：-5-文件名稱蚀刻工序作业指导书槽名控制成份控制范围操作条件分析频率蚀刻放板速度1/4OZ：4.5~5m/min下压3.0±0.1Kg/cm2B泵上压2.8±0.2Kg/cm2下压2.4±0.2Kg/cm2温度：48±2℃HOZ：3.5~4.5m/min1OZ：2.0~2.5

6、m/min2OZ：1.2~1.4m/min3OZ：0.9~1.1m/min4OZ：0.6~0.8m/min5OZ以上厚铜板请工艺跟进制作。退锡比重1.15~1.35喷淋30℃1次/天输送速度1.0~3.0m/min4.5工艺维护4.5.1退膜槽配槽4.5.1.1打开槽底排水开关和水泵，把废液抽至污水处理站，抽完后关闭水泵。4.5.1.2戴上长袖耐酸碱橡胶手套及防护面具，关闭排水开关，注满清水；4.5.1.3开启电源与泵浦，对整个槽体全面喷洒5min，然后关闭电源与泵浦；4.5.1.4打开盖板，用

7、清洗工具彻底清洗槽内壁；4.5.1.5打开槽底排水开关，把废液排出，并用高压水枪冲洗干净；4.5.1.6将槽内注入3/5槽体积的清水；4.5.1.7另用一小槽注满水，加入9kgNaOH，搅拌至完全溶解4.5.1.8将泵浦电源打开，让水流动起來，再緩緩将NaOH溶液倒入槽内；4.5.1.9添加完成后，循环20min，使药水达到完全搅拌均勻；4.5.1.10通知化验人取样化验，各项管控点都在要求范围之内后方可进行生产。4.5.2每月对蚀刻清洗维护一次，步骤如下：4.5.2.1戴上长袖耐酸碱橡胶手套及

8、防护面具，接好回收管路；把母液抽至储存槽，盖上纸盖以避免PH值过低；4.5.2.2用清水冲洗干净蚀刻槽，排掉废水；4.5.2.3加入2/3槽体积的清水，然后再加入10ml/L的工业盐酸，再加水至液位，开机循环搅拌30min；4.5.2.4排掉盐酸清洗废液，用清水彻底清洗槽内、槽盖等部件；4.5.2.5拆下上下喷嘴，清理干净后按原位置安装上去；4.5.2.6在槽内注入4/5体积的清水，加入1/5槽体积的新液；4.5.2.7檢查各视窗盖板是否盖好，确认ok后，将循环泵浦与药水泵浦及摆动开启，喷淋1小