smthome_无尘室定义

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1、※無塵室定義無塵室是一個為了對空間內空氣中的微粒(particle)做控制，所建造的特殊封閉性建築。一般而言，無塵室也會對溫溼度、氣流運動模式、與震動噪音等環境因素做控制。無塵室依等級的不同，對一定空間內的微塵粒子最大容許量亦有一定規範，在國際標準中最常用的規範有Fed-Std-209E及ISO-14644，以下表格為Fed-Std-209E及ISO-14644的等級定義。※Fed-Std-209E潔淨度定義※ISO-14644潔淨度定義ISO的等級劃分，首先定義了微粒的粒徑是從0.1mm到5mm，在此範圍之外就不列入等級表，但是另定義有超微粒子與超大粒子針對範圍外粒子

2、。ISO等級本身歸類為ISOClass1到ISOClass9，其允許上限的定義是大於等於該粒徑的微粒數，數目字如下表，單位是每立方公尺的微粒數。比較以上兩表我們可看出：1.209E的公制和英制兩套標準，雖然有公式做互換，但是仍究很難一眼看出其相關性。兩制放同一表，徒然造成混淆。2.在兩表中0.5μm幾乎出現在每一個等級定義中，表示粒徑0.5μm的粒子非常具有代表性。3.在潔淨度的分類上，不管是在高潔淨度，或是低潔淨度，ISO-14644的範圍比209E都來的廣，因此具有未來性。※無塵室等級說明-1.十萬級-每立方米容許10萬顆Particle，設計考慮空間大小，依每小時

3、空氣循環24次以上，採用99.99濾網補捉，使用固定通風量。2.無塵室為何設計分等級？為製程環境清潔度為考量。Ex:半導體廠有一黃光區，就針對此區品質考慮設計規劃為Class-100，其餘部份則規劃為Class-1000。