基于薄膜体声波谐振传感器的生化检测技术研究

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1、---------------------------------------------------------------范文最新推荐------------------------------------------------------基于薄膜体声波谐振传感器的生化检测技术研究毕业设计说明书（论文）中文摘要随着环境污染问题的日益突出，生物医学研究的不断深入，生化物质的精确质量检测成为重要的研究热点。相较于广泛使用的石英晶体微天平，基于薄膜体声波谐振器（FBAR）的生化检测传感器具有超高灵敏度和半导体集成优势。论

2、文介绍了FBAR的基本原理和结构以及作为微质量传感器的原理和研究进展。分别建立对FBAR器件的Mason模型、BVD模型和MBVD模型，并比较它们的优劣，在ADS2009中建立MBVD模型。通过测试实际器件，得到对应模型参数，对建立的模型进行仿真，并得到理想的仿真结果。论文介绍了基于薄膜体声波谐振器的生化检测技术的核心FBAR振荡器，将FBAR作为感性器件与电容、三极管等组成三点式振荡电路，在ADS中用S参数仿真、谐波平衡仿真、瞬态仿真调节参数使振荡器工作在2.1GHz13/13---------------------

3、------------------------------------------范文最新推荐------------------------------------------------------左右。绘制对应的PCB板并制作实物，得到的振荡器经调试输出2.34GHz的正弦波，并可以初步反应质量的微量变化。论文提出了检测信号电路的设计方案和计算方法，为下一步完成完整的生化检测电路奠定基础。6490关键词薄膜体声波谐振器FBAR振荡器MBVD模型生化检测毕业设计说明书（论文）外文摘要TitleResearchofB

4、iochemicalDetectionBasedonFilmBulkAcousticResonators(FBAR)AbstractAlongwiththeenvironmentalproblemsandbiomedicalresearchbecomingincreasinglyprominent,biochemicalsubstancesqualitytestinghasbecome13/13---------------------------------------------------------------范

5、文最新推荐------------------------------------------------------animportantaccurateresearchhotspot.Comparedwithquartzcrystalmicrobalance,filmbulkacousticresonators(FBAR)biosensorhastheadvantageofhighsensitivityand2.3BMVD模型的ADS仿真.142.3.1模型参数的提取142.3.2MBVD模型的ADS仿真.152.3

6、.3仿真结果说明173FBAR13/13---------------------------------------------------------------范文最新推荐------------------------------------------------------振荡电路设计183.1振荡器的基本模型183.2FBAR振荡器设计193.3FBAR振荡器PCB实现.214FBAR传感信号处理电路设计24结论28致谢29参考文献3013/13-------------------------------

7、--------------------------------范文最新推荐------------------------------------------------------1绪论1.1研究背景随着经济、社会的发展，环境污染问题日益突出，特别是大气和水源的生化污染已经严重影响人们的正常生活甚至身体健康，所以对大气和水源的生化物质含量进行精确检测也就成为十分重要的课题。同时在生物医学和生命科学研究领域，超高灵敏度、成本低廉、操作简便的生物检测传感器也一直是研究的热点。目前，广泛使用的是压电石英谐振检测技术[1]，

8、由于它对石英晶体电极表面质量负载和晶体所处体系的形状如溶液的密度、粘度、电导率、介电常数等的变化非常敏感，具有ng级的质量检测灵敏度，被称为“石英晶体微天平”（QuartzCrystalMicrobalance,QCM）13/13--------------------------------