JBT 10076-1999 冷阴极电离真空规管 技术条件.pdf

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1、UDC中华人民共和国专业标准〕肺净“夕乒夕尸碑刀斗赞防于诵4冷阴极电离真空规管技术条件SPecificationsofcoldcathodeionizationvaouumgaugehead1884一12一10发布1985一10一01实施中华人民共和国机械工业部批准中华人民共和国专业标准UDC冷阴极电离真空规管技术条件ZBYZB6一84SPecificationsofcOldcathodeionizationvacuumgaugehead本标准适用于测最压强不小于5xl。一Pa(3.sxl丁吕Torr)的潘宁型、磁控管型和反磁控管型冷阴极电离真空

2、规管(以下简称规管)。1技术要求1。1外现a。玻璃规管外壳无裂纹或明显的气线、气泡等缺陷，七。规管与真空系统连接部分表面不应有影响密封性能的划伤;。.规管工作磁铁与管壳之间应有调整和固定装置，d，规管外壳与管基之间的固定应牢固，.。规管绝缘件表面应清洁无污染，f。规管电极装架应牢固、无松动等现象，9。规管应有明显、清晰的标志。1。2连接规管与真空系统连接部分应满足下述要求:a.连接管道为玻璃管时应采用硬质玻璃，七.圆形管道连接时，管道外径应为15。5士。。smm;c。采用法兰连接时，法兰尺寸应符合有关标准的规定。1。3工作大气条件规管在下述条件下

3、应能正常工作:a。周围环境温度为0一+40℃;b。相对湿度为10一75%(25℃时);c.大气压强为86一lo8KPa(860一iosombar)。1。4密封性规管对氦气的漏率应为:Q(lx10一喀P(1)式中:Q—漏率，pa·m，·5一‘多P—规管测量范围的下限值，Pa。1。5绝缘性能在工作大气条件下，规管阳极和阴极之间的绝缘电阻应为:_~__V找尹iV了丐es(2)式中:R—绝缘电阻，Q;V—规管工作电压，V;机械工业部1984一12一10发布1985一10一01实施2日Y286一84P—规管测量范围的下限值，Pa，5—规管测量范围下限灵敏度

4、，A/Pa。。6辱散性单个规管特性曲线对标准曲线的相对压强偏差应不超出下述范围:当压强大于sxlo一Pa时:一50%一+70%，当压强小于5x10-石Pa时:一60%一+150%。1.了激发时间规管在测量范围的下限值附近时，从加上工作电压到开始正常放电之间的时间间隔应不大于30秒。1.公绝定性规管在测量范围内由双值现象引起的特性曲线对平均值的相对压强偏差不应超出士20%。1。9抗运翰环境性能规管在运输包装条件下，应能符合ZBYO02一81《仪器仪表运输、运输贮存基本环境条件及试验方法》的要求。其中:高温试验选用十55℃，低温试验选用一40℃;跌落

5、高度为250mm。试验后，规管仍应符合本标准1.la、b、d、f，1.4和1.6的要求。2试验方法2.1规管是否符合1.1的要求，用目测或相应的工具来进行检查。2.2规管是否符合1.2的要求，用观察或相应的检测工具来进行检查。2.3规管是否符合1.4的要求，在相应灵敏度的氦质谱俭漏仪上进行检查。2.4规管是否符合1;5的要求，使规管处于大气状态，用相当于规管工作电压的兆欧表或其它绝缘电阻测量仪器，分别在下述条件下直接测量阳极和阴极之间的绝缘电阻:a。温度:+40℃。试验条件按GB2423.2一81《电工电子产品基本环境试验规程试验B:高温试验方法

6、》中22.3条的规定，达到规定温度0.5小时后进行测试。b.湿度:75%(25℃时)。试验条件按GB2423.3一81《电工电子产品基本环境试验规程试验Ca:恒定湿热试验方法》的规定，达到规定湿度2天后进行测试。2.5规管是否符合1.6的要求，采用下列方法和装置进行检查:2.5.1计算单个规管特性曲线的压强偏差(与标准曲线比较)，按下式进行:A一AO△=又100(3)A。式中:△—相对压强偏差，%;A—选定点压强值，Pa;A。—标准曲线对应的压强值，Pa。每个量级选点不少于3点。2.5.2校准采用动态直接比较法进行。它的基本原理是将待校准的真空计

7、和标准真空计接在同一校准室上，该室所需压强可以通过动态平衡调节取得。2.5.3校准装置如下图所示。它主要由下列几部分组成:2.5.3.1若干个测量范围互相衔接的标准真空计(或经校准过的真空计)。当压强大于5又10’SPa时，其误差不超出士10%;当压强小于sx1o一“Pa时，其误差不超出士40%。ZBY286一84校准装置示意图图中:1—校准室，2—被校真空计;3—标准真空计，4—监测真空计，石—微调阀，6—氮气源，7—抽气调节阀。2.5。3。2动态平衡真空系统应满足下述条件:a。校准室容积不小于所有连接到校准室上规管总容积的50倍;b。校准室的

8、残余压强不得超过校准压强下限的2%;c。动态注入校准室的气体分子至少与其器壁碰撞一次后方能进入规管，d.校准室与规管连接的过渡管道流导不