jbt10075-1999 冷阴极电离真空计技术条件

《jbt10075-1999 冷阴极电离真空计技术条件》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、中华人民共和国专业标准丁昨/，。汀一夕夕斗厂仰乱、例尸冷阴极电离真空计技术条件SPecificationsofco!dcathodeionizationgauge1984一12一10发布1985一10一01实施中华人民共和国机械工业部批准中华人民共和国专业标准UDC冷阴极电离真空计ZByZ日5一B本技术条件SPecificatian‘〔fc:ldcathodeionizationgauge本标准适用于测量压强不小于sxlo一Pa(3.sx1o合T。::)的潘宁真空计、冷阴极磁控管真空计和冷阴极反磁控管真空

2、计(以下简称真空计)。配套使用的冷阴极电离真空规管应符合ZBY286一84《冷阴极电离真空规管技术条件》的规定。1技术要求1。1外观真空计的机箱外壳及零部件的表面处理应良好，标志的文字、符号和标记均应清晰。1.2机箱尺寸真空计的机箱尺寸应符合GB3o47.1一82《面板、架和柜的尺寸系列》的规定。1.3工作条件真空计在下述环境条件和供电电源下应能正常工作:a.周围环境温度为0一+40℃;b.相对湿度为10~75%(25℃时);c.大气压强为86~ioskPa(560一losombar)。d.电源电压为22

3、0士22V，频率为50士ZHzo1.4耐压性能1‘4。1真空计供电电源端子与机箱外壳之间应能经受频率为50Hz、电压为IkV的正弦交流电历时1分钟的耐压试验，应无击穿、飞弧现象。1.4.2真空计规管工作电压输出端子与机箱外壳或接地端子之间应能经受下表中所规定直流电压值历时1分钟试验，应无击穿、飞弧现象。工作电压(kV)>0o8~1>1~1.5>1。5~2)2~7试验电压(kV)2倍工作电压十1一j本底电流在工作条件下，真空计本底电流值应不大于测量范围下限放电电流的20%。.6最大允许误差在工作条件下，真空

4、计示值误差的误差极限应不超出下述范围:当压强大于5x10一“Pa时:一60%~+100%，当压强小于sxlo一6Pa时:一70%~+200%。.7掩定性在工作条件下，真空计示值在1小时内相对变化量不应超过士20%。.8物出信号当真空计有输出信号时，应满足下述要求:机械工业部1984一12一10发布1985一10一01实施ZBY285一吕41。8。1真空计模拟直流电压信号范围应符合GB337。一82《工业自动化仪表用模拟直流电压信号》的规定。1。a。2真空开输出数字信号的编码应采用8一4一2一1=—十进制编

5、码，并列出逻辑“1”、“。”状态的电平值及负载能力。1。9抗活粉环境性能真空计在运输包装条件下，应能符合ZBYo02一81《仪器仪表运输、运输贮存基本环境条件及试验方法》的要求。其中:高温试验选用+5℃，低温试验选用一40℃，跌落高度为250mm。试验后，真空计仍应符合本标准1.4~1.7的要求。2试脸方法2.1真空计是否符合1.1的要求，用目测方法进行检查。2。2真空计是否符合1。2的要求，用钢板尺或卷尺进行检查。2。3真空计是否符合1.4的要求，应在工作条件下进行耐压试验，试验电压从最小或从不超过工作

6、电压的值开始缓慢增加到规定值。试验电压的误差不应超过士10%。2.4真空计是否符合1.5的要求，测试用的接线方法如图1所示。图1本底电流的测试图中:TY—自辐调压器，。~250V，y—1级交流电压表，0一250V，D—被检真空计的控制单元和指示单元;G—冷阴极电离真空规管。试验在相对湿度为75%(25℃时)的大气条件下进行。试验条件按GB2423.3一81《电工电子产品基本环境试验规程试验Ca;恒定湿热试验方法》的规定，达到规定湿度2天后进行测试。测试时，真空计的供电电压V为242V，规管处于大气状态。接

7、通电源30分钟后，真空计指示单元指示的电流值即为本底电流值。2。5真空计是否符合1.6的要求，采用下列方法和装置进行检查:2.5.1最大允许误差分别在供电电压为242V和198V的条件下进行测试。2.5.2校准采用动态直接比较法进行。它的基本原理是将待校准的真空计和标准真空计接在同一校准室上，该室所需压强可以通过动态平衡调节取得。2.5.3校准装置如图2所示。它主要由下列几部分组成:ZBy之85一84图2校准装置示意图图中:1—校准室，2—被校真空计，3—标准真空计;4—监测真空计，5—微调阀，6—氮气源

8、，7—抽气调节阀。2.5.3。1若干个测量范围互相衔接的标准真空计(或经校准过的真空计)。当压强大于5x10一‘Pa时，其误差不超出土10%;当压强小于5x10“石Pa时，其误差不超出士40%。2。5。3.2动态平衡真空系统应满足下述条件:a。校准室容积不小于所有连接到校准室上规管总容积的50倍，b。校准室的残余压强不得超过校准压强下限的2%，c。动态注入校准室的气体分子至少与其器壁碰撞一次后方能进入规管，d.校准室与规管连接