废水、废液工程技术要求及招标规范

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1、东营中联国际集成电路废水处理厂新建工程技术要求及招标规范23目录一、技術要求及招標規範範圍說明2二、規範和條例2三、技術說明4四、廢水處理工藝設計要求9五、工藝流程及P&ID圖10六、設備規格及廠牌12七、電氣控制工程說明14八、防腐工程說明19九、管線工程說明20十、廢水工程介面說明23十一、投標文件2523东营东芯集成电路废水处理厂新建工程技术要求及招标规范一、技术要求及招标规范范围说明有关本合约废水处理工程的各系统装置的设计、供应、安装、调试、操作及维修等技术之要求，于本技术规范书及有关图纸内详细说明，以提供符合本合约要求的工程设计、

2、制造至完工的各项细则。为能妥善完成本合约内各项工程事项，承包商须按要求提供一切所需的设计人员、施工及监督人员、材料、工具、物料、设备、储存、各有效的证件、图纸、临时施工措施、工地安全、检查、调试及运行等事项。--------------------------第1节结束----------------------二、规范和条例所有设备、材料的供应和施工工艺，必须符合下列各机关、部门所颁布的最新的法定职责、条例、规格、标准、施工准则和业务条例：2.0.1所有中国中央和当地政府机关及部门，包括但不仅限于以下所列的单位：1.消防局2.规划局3.环

3、境保护局4.卫生防疫局231.自来水公司2.环境卫生管理局3.供电局4.排水管理处2.0.1所有中国中央和当地所制定的规范和准则，以及国际认可的规例和标准，最新版本，包括以下,但不仅限于以下所列：1.《建筑设计防火规范》GB50016-20062.《工业金属管道设计规范》GB50316-20003.《工业设备及管道绝热工程设计规范》GB50264-974.《城市区域环境噪声标准》GB3096-935.《工厂企业厂界噪声标准》GB12348-906.《工厂企业噪声控制设计规范》GBJ87-857.《环境空气质量标准》GB3095-19968.

4、《大气污染物综合排放标准》GB16297-19969.《污水综合排放标准》GB8978-199610.《建筑给水排水设计规范》GB50015-200311.《建筑给水排水管道工程施工及验收规范》GB50268-9712.《建筑给水排水及采暖工程施工质量验收规范》GB50242-200213.《电子工业职业安全卫生设计规定》SJ30002-9214.《压力容器安全技术监察规程》(质技监局锅发23[1999]154号)--------------------------第2节结束---------------------三、技术说明3.0.1废

5、水来源本废水处理工程,为收集8”晶圆生产工艺所产生的各类废水及废液,废水、废液分类说明如下:项次废水分类废水来源1IWW一般酸碱废水制程系统一般酸碱废水2FWW含氟废水制程系统含氟废水酸处理塔排水HF废液定量输送3AW酸性含磷废水制程系统酸性含磷废水4AHWW含氨废水制程系统含氨废水氨气吹脱及吸收塔排水5CMP研磨废水制程系统背晶研磨废水制程系统金属研磨废水制程系统电介质研磨废水制程系统多晶硅研磨废水6回收水制程系统清洗水3.0.2废水废液水质特性23各类废水及废液成份,如下列各表参考说明,供投标厂商进行工艺设计评估,惟投标商需考虑8"晶圆

6、厂通用水质作完整考虑,以确保废水处理系统达标排放.废液成分名称成分处理方式硫酸废液浓度80%左右收集委外处理HF废液浓度20%收集委外处理/定量输送至含氟废水处理系统处理光阻液废液（PIX）-收集委外处理去光阻废液（STRIPPER）-收集委外处理减薄废液（THINNER）-收集委外处理有机溶剂废液(IPA)-收集委外处理IWW一般酸碱废水水质特性分析项目浓度范围pH2～13COD(mg/L)＜150FWW含氟废水水质特性分析项目浓度范围平均值23pH1.0～3.02.5F-(mg/L)500～12001000SS(mg/L)50～3001

7、75SO42-(mg/L)1000～22001600PO43-(mg/L)＜53AW酸性含磷废水水质特性分析项目浓度范围pH1～3PO43-(mg/L)100～500AHWW含氨废水水质特性分析项目浓度范围pH2～12NH3-N(mg/L)＜2000F-(mg/L)＜300H2O2(mg/L)＜100CMP研磨废水水质特性分析项目浓度范围pH2.5～10.5SS(mg/L)100～100023NH3-N(mg/L)＜15TOC(mg/L)1～80SiO2(mg/L)0.5～200回收水水质特性分析项目浓度范围pH6～9电导度(us/cm)1

8、000～20003.0.3废水废液排放量废水排放量编号系统设计能力处理系统所在位置责任方名称符号1酸碱废水IWW40m3/h960m3/d废水处理站承包商2含氟废水FWW10m3