杭州格林达 - 科技处

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1、附件1：杭州市企业技术难题需求和开展产学研合作情况调查表单位盖章：填写日期：2013年7月18日一、企业基本情况单位名称杭州格林达化学有限公司所属行业精细化工（电子化学品）通讯地址杭州滨江江晖路1961号隆和国际1501邮政编码310051负责人黄源电话手机13588035633联系人梁小朝电话手机13605705679电子信箱xcliang@greendachem.com传真职工人数127专业技术人员数57资产总额（万元）27013主要产品和企业情况简介公司自主研发的电子级四甲基氢氧化铵工艺技术，于2003年获杭州市科技新产品三等奖

2、，在2008年获杭州市科技进步三等奖。该技术的成功，突破国外在该产品及电子级产品技术的垄断。其电子级四甲基氢氧化铵（TMAH）产品质量达到世界一流水平，工艺稳定，产量已达3万吨/年，占有国内市场95%以上，并已成功销往韩国、台湾地区、美国等国际主要市场。公司生产的主产品光刻过程显影液电子级TMAH产品在市场上具有极高的竞争力，已成功取代美国SACHEM,日本TAMA等国外供应商。目前格林达公司产品的销售市场，主要以出口为主，其中韩国市场从2009年的4000吨左右上升到2011年的9000吨左右，增长率超过60%。台湾市场也从2009

3、年的不到2000吨增长到2011年的3300吨左右，年增长率超过20%。目前公司的电子级TMAH销售量占据全球市场的25%以上。国内销售从2009年的1300吨左右增长到2011年的5000多吨，公司产品占据国内市场95%以上，年增长率超过103%。随着TFT-LCD产线不断建成投产，预计电子级TMAH需求量会持续增长。杭州格林达化学有限公司成立于2001年，是由杭州电化集团控股的专业从事光刻工程材料研发、生产、和销售的高新技术企业。公司于2011年通过ISO9001:2008质量管理体系、ISO14001-2004环境管理体系、和O

4、HSAS518001-2007职业健康安全的三体系认证。公司于2008年已通过国家高新技术企业认定，并在2011年通过复核。公司注册资本为1666.67万元。公司的行政和生产厂区位于杭州萧山临江工业园区红十五线9936号（杭州电化集团内）。并在杭州滨江区江晖路1961号隆和国际设立销售办公室。公司现有员工127人，大专学历以上人员57人，占企业总人数的45%；直接从事技术开发人员57人，占企业总人数的45%；硕士及以上研究生11名,工程师8人。公司已造就了一支高素质的管理队伍，核心团队结构合理，配合默契，专业知识丰富，创新能力与责任意

5、识强，具有良好的开拓创业精神和较强的经营管理能力，在行业中深受好评。企业研发中心建设情况□已建中心名称其中中心共建单位中心研发人员数上年中心研发投入（万元）□未建光刻工程材料研发中心杭州格林达化学有限公司411924上年度企业经济数据营业收入（万元）销售收入（万元）净利润（万元）上缴税收（万元）购买技术支出(万元)研发投入（万元）2419424194292383001924二、企业近5年来开展产学研合作、引进和转化技术成果情况合作项目名称合作（转让）方合作项目技术交易额，是否实现产业化1、四甲基氢氧化铵的前期研究浙江大学宁波理工学院1

6、0万，正在产业化2、含氟废水处理及酸性组分回收利用技术上海交通大学18万，正在产业化3、彩膜光刻胶有机显影液研究上海维亿化学技术有限公司50万，正在开发4、TFT-LCD用缓冲氧化物蚀刻液开发浙江大学10万，正在开发5、三、企业近期希望解决的技术难题、技术产品需求的情况5技术及产品需求名称1、TFT-LCD用铜蚀刻液的开发2、TFT-LCD用铜剥离液的开发2、多晶ITO蚀刻液开发3、TFT-LCD用铝钼蚀刻液开发需求类别21.解决关键技术难题2.新产品开发3.引进科技成果4.共建研发机构5、其他需求简介（技术难题和技术产品需求的描述）

7、从TFT-LCD发展趋势看，分辨率要求更好，响应性要求更快；为了达到此要求，目前TFT-LCD行业的领导企业如三星等纷纷将TFT制程中常用的铝改用电阻率更低的铜，并已形成产品，产品效果和市场行情好。在国内各知名企业如京东方也开始使用此工艺。但目前国内尚无企业能提供相关必须的湿化学品如铜蚀刻液、铜剥离液，必须进口，从而造成价格高，供货及时性差。因此开发铜蚀刻液不仅对企业效益有利，更是具有极大的社会效益，有利于推进中国TFT-LCD行业对全球对手的赶超。TFT-LCD用铜蚀刻液的技术难点在于：在TFT制作过程中，一般需要对Mo/Cu/Mo

8、等含铜的多层同时进行蚀刻，而且要求CD-bias，profile达到要求，不能出现分层，底切，taper角过大等现象。而从化学性质看，Mo、Cu等金属性质差异大，氧化还原能力各有不同，从而使蚀刻速率不同，很难达到所需的T