扫描隧道显微技术

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1、扫描隧道显微技术引言：很久以来，人们早就知道物质是由分子和原子组成的，这些大多是通过实验间接验证的。例如X射线衍射、电子衍射等，这种经过计算后间接得出的结果很难使人获得感性认识。1982年G.Binnig和H.Rohrer做出了第一台扫描隧道显微镜（ScanningTunnelingMicroscope），它可以在极高的分辨率下直接给出固体表面原子的排列图象，使人们可以亲眼看见它们的存在，从而对微观世界的认识一下子从幻想和抽象的分析飞跃到对原子的直接观察和操纵。目前，扫描隧道显微技术正以它前所未有的优势越来越广泛地应用在物理学、微电子、材料科学、化学、生物医学等各领域。为了开

2、展实验教学改革，使教学内容现代化，特将此新发明新技术推广应用到实验教学中，开出扫描隧道显微成象技术，使学生了解和熟悉最新世界科学前沿知识，丰富和活跃学生的创新思维。实验目的：1、掌握隧道效应的的基本原理，了解扫描隧道显微镜的基本结构；2、掌握基本实验技术，扫描相应的样品图像。实验仪器：AJ－I型扫描隧道显微镜，电脑，打印机。实验原理：1、隧道效应扫描隧道显微技术的工作原理是量子力学的隧道效应。对于经典物理学来说：当一粒子的动能E低于前面的势垒的高度V0时，它不可能越过此势垒，即透射系数等于零，粒子将完全被弹回。根据量子力学的计算：在一般情况下，其透射系数不等于零。也就是说，粒

3、子可以穿过比它的能量更高的势垒，这个现象称为隧道效应。它是由于粒子的波动性引起的，如图（1）所示。在一定的情况下，这种效应才会非常显著。根据量子力学的计算，其透射系数为T∽16E（V0—E）exp｛—2a［2m（V0—E）］1/2/h｝/V02……(1)由此公式可知：T与势垒a、能量差（V0—E）以及粒子的质量m有着很敏感的依赖关系；随着势垒厚（宽）度a的增加，T将呈指数衰减；因此，在一般的宏观实验中，人们很难观察到粒子隧穿势垒的现象。量子力学认为：电子具有波动性，其位置是弥散的；物质表面上的一些电子会散逸出来，在样品表面四周形成电子云，在导体表面之外的空间的某一位置发现电子

4、的概率会随着与表面距离的增大而呈指数形式的衰减。STM是利用原子线度的极细探针和被研究物质的表面作为两个电极，由量子力学的隧道效应来获取样品表面图象。当样品与针尖的距离非常接近时（通常小于1nm），两个电极之间的电子云相互重叠，在针尖和样品之间施加一电压，电子在外电场的作用下因隧道效应会穿过两个电极之间的势垒，由针尖到样品形成隧道电流I。隧道电流I是电子波函数重叠的量度，与针尖和样品之间的距离S和平均功函数Φ有关I∽Vbexp（—Aφ1/2S）……(2)式中Vb是加在针尖和样品之间的偏置电压，平均功函数φ∽，Φ1和Φ2分别是针尖和样品的功函数，A为常量，在真空条件下约等于1。

5、由上式可知，隧道电流强度对针尖和样品之间的距离有指数的依赖关系，当距离变化0.1nm时，隧道电流则约变化一个数量级。因此，根据隧道电流的变化，可以得到样品表面微小的高低起伏变化的信息。如果同时对x、y方向进行扫描，就可以直接得到三维的样品表面形貌图。2、STM装置结构STM装置由防震减振系统、STM探头、数字化电子学控制系统和计算机等组成，如图（2）所示。控制器1）STM防震减振系统有效的振动隔离是STM达到原子分辨率所严格要求的一个必要条件。由于STM工作时针尖与样品间距一般小于1nm，同时由式（2）可知，隧道电流与隧道间距成指数关系，因此任何微小的振动，例如由说话的声音和

6、人走动所引起的振动都会对仪器的稳定性和成象的清晰度产生影响。在STM原子图象中，样品的表面起伏通常为0.01nm，所以外来振动的干扰必须小于0.005nm，通常由振动所引起的隧道间距变化必须小于0.001nm。因此，系统应具备非常好的防震减振效果。对于STM有两种类型的扰动必须隔绝：振动和冲击。振动一般是重复性的和连续性的，而冲击则是瞬态变化的。二者当中，振动隔离是最主要的。隔绝振动的方法主要是提高装置的固有振动频率和使用振动阻尼系统，系统通常采用气垫防震台（或平板堆垛）加弹簧悬挂以及磁性涡流阻尼等三种综合减震措施来达到高标准的减震目的。2）STM探头STM探头是装置的执行部

7、分，它包括针尖、样品、XYZ方向nm扫描器、信号检测及处理电路和步进粗调驱进装置。计算机控制步进电机驱动使探针逼近样品，进入隧道区，通过采用差动螺纹使样品与针尖的步进稳定、精密，其步长通常为20—50nm。XYZ方向nm扫描器由PZT压电陶瓷控制探针X、Y、Z三个方向运动，其中X、Y方向起着扫描的作用，Z方向为一套高精度、高增益的数字反馈电路，以保证装置在Z方向上的高分辨率。STM图象的质量取决于针尖与样品间距的控制精度，扫描器的质量和电子学的噪声水平决定了其控制精度。在针尖与样品之间的隧道电流通常只有