mf5700系列气体质量流量计

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1、jbjp气体质量流量计jcRTMM系列pf^odl=iqaK矽翔微机电系统有限公司（）pá~êÖç=iíÇK提供世界领先的jbjp流量传感器技术及产品，以满足客户广泛的应用需求。本书为现有定型产品的使用说明，矽翔微机电系统有限公司也能够根据客户的要求设计和定制产品。进一步的信息，请直接与矽翔微机电系统有限公司联系（详见客户服务部分）或访问我们的网站ïïïKpá~êÖçKÅçã。中国大陆的客户请访问ïïïKëá~êÖçKÅçãKÅå。NK产品特点传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了流量计的高精度计量

2、灵敏度高，能够对极小的始动流量就可以开始计量在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了RMWN甚至更高全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性支持多种气体的测量，允许客户对某些特殊气体进行现场标定响应速度快输出方式灵活，提供i`a现场显示，也可提供opQUR通讯接口由上位机查询输出数据可通过按键配置参数具有超量程报警指示功能便携式设计，电池供电和外部供电方式可以任意切换kmq或_pmq连接方式，易于安装与使用，也可根据客户需求定制其他接口OK产品应用机电行业食品行业烟草行业分析仪器行业化工行业饮

3、料行业玻璃行业科研院校医药行业农林渔业PK工作原理jcRTMM系列气体质量流量计是基于矽翔微机电系统有限公司自主研制的jbjp流量传感芯片，其原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量。该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作状态时，在传感器的周边形成稳定的温度场分布。一旦一定质量的气体流过传感器时，气体的流动将破坏该温度场的分布，形成特定的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。微机电系统流量计芯片上的传感器将测量这一变化并把这一变化转换为电信号，由一个专门的电

4、路变送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理。由于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的扰动不同，因而能测量气体的质量流量或总流量。下图为该系列流量计的原理框图。EPKS～VFsa`选配线缆EmáåPFs``EmáåQFdkaopQUR^opQUR_电池报警模块opQUR按键检测电路通讯接口接口oq`模块电源模块Psbbmolj存储器显示与按Ps供电高速键驱动（可选）微控制器驱动电路i`aMMñNìN显示器缓冲器放大器滤波器^Lajbjp流量转换器传感芯片信号调理电路QK性能指标性能参数jcRTMS

5、jcRTNO单位量程M～NMM～OMMM～NMMMiLãáå精度±=EOHMKRcpF±=EPHMKUcpF±=EPHMKUcpFB重复性NB响应时间≤=OëÉÅ供电方式Q节^^电池或外部适配电源功耗≤=NMãt输出方式opQUR=E选配F显示方式i`a显示单位瞬时流量：iLãáå；累积流量：ã³显示分辨率MKMNNNiLãáå键盘三个按键功能描述密码设置；总量设置和清零；报警功能工作压力≤=MKUjm~工作温度JNM=～=RR℃压力损耗≤OMM≤ORMM≤OMMMm~工作时间周期（电池）[=SM天标准校准气体氮气引

6、出线专用ãáåárp_E选配F管径SããNOãããã机械接口kmq=NLQI=_pmq=NLQkmq=NLOI=_pmq=NLO重量约PRMÖRK机械尺寸=iEããFtEããFa============jcRTMSSTQMkmq=NQL或_pmq=NLQ============jcRTNOVURMkmqNO=L或_pmq=NLO红色=黑色=绿色=ï蓝色=黄色=注：N）按照箭头指示方向接入气流，如果反接，则显示的流量将始终为MXO）产品可以选配一根MKRã长带jáåárp_插头的连接通讯电缆，该线缆可以实现外部供电和通

7、讯；其引线定义见UKN。SK产品选型与流量对比=====================jcJJJJ气体介质（^J空气；kJ氮气；lJ氧气；oJ氩气；`J二氧化碳；其它气体与厂商联系。）输出（_JopQURkJ无信号输出）；最大流量（数值，单位为iLãáå，jcRTMS可选NM和OMMX=====================jcRTNO可选UMMF=连接（kkmq_J_pmqvJ用户自定义）J；；通径（管道内径，；RTMSJSããRTNOJNOããF===流量范围=====型号=====通径====机械接口==p

8、imj=======p`cjk`je========NM=========MKPR==MKS======jcRTMSSãã=========NLQ?==========OMM=========TNO========================jcRTNONOãã========NLO?NMMM==PRSMT=K流量计菜单操作说明==TKN=