2010年仪器设备-离子溅射仪目录

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1、英国Emitech牌K575XK575D高真空离子溅射仪仪器描述仪器说明仪器标签K575X使用“涡轮”泵，前级为旋转机械泵，整个抽真空过程为自动控制。真空度可调整，以适应铬或其它易氧化金属，以及金靶等不同材料要求，定时器可设置成不同的溅射时间。本系统装配了磁控管靶，靶面直径为54mm，可快速更换靶材。溅射头用Peltier制冷，可得到高性能、精细颗粒的涂层（无需水冷却）。溅射时参数可预设，包括气体放气电磁阀。K575D（双头）其它与K575X相同，只是具有两个溅射头。在进行特殊涂层的应用时，不需要打开真空即可进行两层沉积溅镀。注：K575D技术规格与K5

2、75X相同，但它有双头。K575X具有peltier制冷，对于比较厚的沉积，通常用K575D（双头）单元。优点●可溅射易氧化金属精细颗粒，如：铬（Cr）或铱(Ir)●应用范围广，除了可选溅射常用金属靶材如：金银铂钯铜锡铝镁铁钴镍铬钛钼钨铱钽等单质纯金属靶材之外，还可选配金钯合金靶、铂钯合金靶、碳靶以及ITO（氧化铟锡）靶等特殊靶材●易操作●无需水冷却●超高分辨率，可复制涂层●适应各种样品●重复膜厚沉积●样品容易装载和卸载●不需要打开真空即可进行顺序涂层●沉积厚度可预设主要特点：●全自动控制●Peltier冷却溅射头●精细镀层（0.5nmCr粒子）●可倾斜

3、的特殊旋转台作为标准配置●薄膜沉积（典型为5nm）●直径为165mm腔室●可选双溅射头●可接膜厚测控仪技术参数：file:///F

4、/OPW/pp/download/bihec_pdf_bycat/2010年仪器设备-离子溅射仪目录.htm[2010-4-1918:57:36]仪器尺寸：450mmWx350mmDx175mmH工作腔室：硼硅酸盐玻璃165mmDiax125mmH安全钟罩：聚碳酸酯基座：110mm直径x115mm高重量：42公斤靶：54mm直径x0.2mm厚(铬作为标准靶材)样品台：50mm直径，具有倾斜功能的旋转样品台操作真空：1x10-

5、2mbar到1x10-4mbar溅射电流：0-150mA沉积速率：0-20nm/分溅射定时：0-4分钟涡轮分子泵：60litres/Second(极限真空1x10-8mbar)Services-Argon-Nominal10psi；Nitrogen-Nominal10psi(Argonmaybeusedascommongas)真空泵：No2.泵completewithVac.Hose&OilMistFilter35L/Min2m3/Hr电源：230伏/50Hz(包括泵最大电流为6安培)©2005-2009必和国际贸易(香港)有限公司版权所有，并保留所有权

6、利。上海市长乐路989号2006室,邮编：200031,电话：021-60896520,13661956095http://www.bihec.cn,info@bihec.comETD-2000C溅射蒸碳仪仪器描述仪器说明仪器标签ETD-2000C溅射蒸碳仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的，最简单、可靠、经济的镀膜设备。同时增加了热蒸发附件，具有溅射和蒸发两种功能。满足电镜实验室的扫描电子显微镜（SEM）样品制备和非导体材料实验电极制作。主要特点：在ETD-2000/3000离子溅射仪基础上，增加了热蒸发附件，可以蒸发碳丝，具有溅射和蒸发两种功能

7、。因此扩展了应用范围，特别适用于扫描电镜实验室样品制备。技术参数：配置参数如下：-仪器尺寸：400mm×300mm×400mm（L×W×H）-真空样品室：硼硅酸盐玻璃160mm×110mm（D×H）-靶（上部电极）：50mm×0.1mm（D×H）-样品台：50mm(D)file:///F

8、/OPW/pp/download/bihec_pdf_bycat/2010年仪器设备-离子溅射仪目录.htm[2010-4-1918:57:36]-操作真空：4×10-1mbar至2×10-2mbar-工作电压：0-1600V(DC)可调-溅射电流：0-50mA-溅射定

9、时：1-9999S-蒸碳电流0-10A(AC)-真空泵：4升两级机械旋转泵（极限真空2×10-2mbar）©2005-2009必和国际贸易(香港)有限公司版权所有，并保留所有权利。上海市长乐路989号2006室,邮编：200031,电话：021-60896520,13661956095http://www.bihec.cn,info@bihec.com离子溅射仪SC7640仪器描述仪器说明仪器标签TheSC7640isanidealall-roundSEMsputtercoater.Operationisswitchablebetweenautomati

10、candmanual.Automaticoperationsavesoperat