自动周期选取的dft方法在tft-lcd平板检测中的应用

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1、万方数据第30卷第3期2016年3月电子测量与仪器学报joURNALoFELECTRoNlCMEAsUREMENTA糯DINSTRbME{、}TATlo&％f．30ⅣD．3·361·DOI：10．13382／j．jemi．2叭6．03．005自动周期选取的DFT方法在TFT-LCD平板检测中的应用张腾达卢荣胜术(合肥工业大学仪器科学与光电工程学院合肥230009)摘要：在T兀’一LcD平板表面缺陷检测中，一维DFr方法非常有效，空间域图像中周期缸作为关键参数之一，需要准确地获取。传统的缸的获取是通

2、过人工手动计算得到的，为了自动获取血，设计了自动周期选取算法，利用数学统计对一维无缺陷图像进行处理，通过提取峰值位置、排序、计算间距和统计次数，得到准确的缸。搭建了T丌-LCD平板检测实验系统，实验对不同长度(』、r=256、320和400)、不同分辨率(8．1、9．5和10．7“∥像素)、不同光照下的图像进行处理，能够准确地获取缸，准确率达100％。将选取的血应用于缺陷检测中，系统可以准确检测出缺陷区域，证明了该选取方法具有良好的实用性和鲁棒性。关键词：TFTr—LCD；缺陷检测；一维傅里叶变换

3、；周期血中图分类号：TPl82；TN911．73文献标识码：A国家标准学科分类代码：510．4050AutomaticperiodselectionforDFTmethodintheapplicationofTFT-LCDpaneldetectionZhangTengdaLu(SchoolofInstmmentScienceand0pto-electronicsEngineering，RongshengHefeiUniversityofTechnology，Hefei230009，China)Ab

4、str舵t：0nedimensional(1D)DFTmethodisveryeffectiveforthedetectionofsurfacedefectonTFr．LCDpan—e1．Theperiod△xinthespatialdomainimage，asoneofthekeyparameters，needstobeacquiredaccuIiately．Tra—ditionalacquisitionofthe△xiscalculatedarti6cially，inordertoobtain

5、the△戈automatically，anautomaticselec．tionalgorithmoftheperiodwasdesigned，whichutilizedmathematicalstatisticstoprocesslDfaultlessimage．Byextractingthepeakposition，sorting，computingspacingandthenumberofstatistics，the△xisgottenaccurately．Aexperimentalsyst

6、emofTFT-LCDpaneldetectionwasbuilc．Theimageswithvariouslen昏h(Ⅳ=256，320and4()o)，resolution(8．1，9．5，and10．7斗m／pixel)andilluminationwereprocessedintheexperiment．Theexpe卜imentalresultsshowthatthe△戈isaccuratelyobtainedwithanaccuracyof100％．Byapplyingtheselec

7、ted△戈indef．ectdetection，thesystemcandetectthedef宅ctregionaccurately，soitindicatesthattheselectionmethodhasgoodpmcticabilityandrobustness．Keywords：TFT—LCD；defectdetection；onedimensional(1D)Fouriertransfoml；period△z引目LCD)使得的全彩色显示能力、低功耗和重量轻等特点，Tn．LCD广泛应用

8、于各种电子设备中，例如近年来，由于薄膜晶体管．液晶显示屏(TFI’．电视机、数码相机、笔记本电脑和移动终端收稿日期：2015m9ReceivedDate：2015旬9$基金项目：国家重大仪器专项(2013YQ220749)项目资助等显示万方数据电子测量与仪器学报第30卷领域。为了保证显示质量和提高产量，T兀’．LCD平板表面缺陷检测已经成为其制造过程中的一项重要工作。检测T丌1一LCD表面缺陷的方法包括人工视觉检测法、自动光学检测法、电学参数检测法3种，其中自动光学检测方法是一种自