洁净室维修及保养手册

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1、深圳市新亚电子制程股份有限公司洁净室维修保养及管理手册深圳市新亚电子制程股份有限公司地址:深圳市福田区益田路6003号荣超商务中心A栋9楼第83页共83页深圳市新亚电子制程股份有限公司目录前言4第一章空气净化设备51.1集中式空调净化处理机组51.2洁净层流罩51.3传递箱61.4货/风淋室61.5高效送风口71.6通风系统阀门及附件7第二章洁净室运行管理102.1化空调处理机组的安装、运行及维护102.11注意事项102.12机组的装卸与运输112.13机组安装122.14机组使用142.15机组维护152.16风机及其维护172.17电动机及其维护302.18皮带

2、的调整与更换332.19冷热水盘管的运行与维护352.20蒸汽加热盘管的使用与维护382.21干蒸汽加湿系统的运行维护412.22过滤器的安装与更换42第三章其它设备及装置的安装433.1空气净化设备和装置的安装433.2风管与附件443.3过滤器安装453.4高效过滤器的安装463.5风淋室473.6防火阀483.7制冷水系统阀门493.8冷却塔523.9灯具53第四章洁净室管理564.1洁净室人流、物流管理564.11作业人员的管理564.12原物料、设备进出管理594.13洁净室内用品管理604.2洁净室各系统维护保养管理624.21生产设备之选择、布置与保养：

3、624.22生产设备之防尘措施：634.23自动化与无尘化：64第五章设备使用方法、问题分析与排除685.1电气控制系统常出现的故障68第83页共83页深圳市新亚电子制程股份有限公司5.2空调系统使用时注意事项695.3送风系统关闭后能否打开回风口705.4室外空气太脏能否在新风口加一块纱布705.5通风系统启动后洁净室突然没风或风很小705.6阴角圆弧形挠起后如何处理715.7如何把隔断上的玻璃拆下715.8过滤器如何清洗或更换715.9局部净化设备在使用前应注意什么725.10风淋室并没有达到预想目的是什么原因725.11什么是气闸室和缓冲室735.12球形锁松动

4、是怎么回事，怎样修复745.13环氧树脂或塑料地面鼓泡怎么办745.14使用一段时间室内风量变小怎么办745.15局部百级是否必须设置围挡755.16室内温度不能随气温变化面调整755.17空调器内在量积水而不能从其排水口顺利排出的原因762.18空调系统在运行中，送风管路产生喘振的原因及处理765.19水冷式表面冷却器在冬季运行时冻裂的原因及对策785.20在正常情况下，空调系统中的送、回风风机无法启动805.21空调系统在运行中发出哨声的原因及处理815.22蒸汔加热的空调系统停止运行后，散发出焦糊味的原因81第83页共83页深圳市新亚电子制程股份有限公司前言近几

5、年来，空气洁净室的应用日益广泛，但是，在实际工作中由于使用者对洁净技术知识掌握不够，特别是对洁净室的维护、管理不注重，使得洁净室并没有达到预期效果，有时甚至形同虚设。鉴于上述原因，我公司根据多年经验，参考有关资料，收集各方面意见，针对我公司承揽的净化工程，组织编写了这份使用说明。说明书前半部分对空气洁净技术的基本原理及洁净工程所用到的通用洁净设备知识进行了概括介绍，后半部分对工程中涉及各专业的重要安装节点、维护管理方法、常见故障及排除作了进一步阐述。空气洁净技术是一门多学科的综合性新型技术，其新领域、新技术、新理论层出不穷，如有不足之处，敬请原谅！洁净室的维护管理是一

6、个长期细致的重要工作过程，发现问题、解决问题是本说明书的任务。希望我们密切联系，共同把此项工作做得更好！第83页共83页深圳市新亚电子制程股份有限公司第一章空气净化设备1.1集中式空调净化处理机组1.1净化空调及其配套的送回风管道和配件的作用就是对进、出洁净室的空气进行综合处理，其中包括初、中、高效过滤器，加热（或制冷），加湿，去湿，消音等，确保进入洁净室的空气清新、无菌洁净、温湿度适宜，并与外界空气完全隔开，这样才能和洁净室的空气进行有效混合，从而通过回风管道将洁净室内的低质量空气逐渐带出洁净室，使室内达到要求的洁净度。1.2空气处理源头，如果自身不是卫生型的，就易

7、产尘、积尘、长菌，因此不但会降低其它配件的使用寿命，提高运行维护成本，也使洁净室内的空气质量很难保证。1.2洁净层流罩1）垂直单抽流局部洁净送风装置，可分为有风机和无风机；2）主要由预过滤器、风机、高效过滤器和箱体组成，进风可取自洁净室内，也可从技术夹层上取；3）为了保证操作区的洁净度，层流罩下方往往设置一定高度的垂帘，其材质有塑料薄膜、有机玻璃或玻璃；4）结构简单，安装方便，可直接罩在设备或操作位置上使用；第83页共83页深圳市新亚电子制程股份有限公司1.3传递箱1）用于洁净室内外和洁净室之间传递物品用的一种装置，能隔断贯断穿气流，有效地防止物口传