多晶硅中能硅业探索毕业论文

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1、设计题目中能硅业探索目录摘要………………………………………………………………………………4英文摘要…………………………………………………………………………4第一章概述……………………………………………………………………51.多晶硅的概念………………………………………………………………52.国内多晶硅产业概况及未来发展…………………………………………….5第二章多晶硅的生产工艺……………………………………………………72.1改良西门子法的简介……………………………………………………………72.2三氯

2、氢硅氢还原反应基本工艺流程…………………………………………72.3生产多晶硅主要原料……………………………………………………92.3.1三氯氢硅的性质……………………………………………………92.3.2氢气的性质…………………………………………………………112.4生产多晶硅的原料质量要求……………………………………………12第三章SiHCI3氢还原反应………………………………………123.1多晶硅反应原理………………………………………………………123．2SiHCI3氢还原反应的影响因素…………

3、……………………………133．2．1氢还原反应沉积温度……………………………………………………133．2．2混合气配比…………………………………………………………………143．2．3反应气体流量………………………………………………………………153．2．4还原反应时间………………………………………………………………163．2．5硅表面积……………………………………………………………………163．2．6硅棒电流电压的关系……………………………………………………173.3还原炉结构示意图…………………

4、……………………………………………173.4还原炉生产过程物料衡算………………………………………………………183.4.1三氯氢硅的流量及流速……………………………………………………183.4.2氢气的流量及流速…………………………………………………………193.4.3混合气体的流量及流速……………………………………………………19第四章多晶硅的质量标准……………………………………………………194．1硅棒质量问题及原因………………………………………………………194.2多晶硅的用途…………………

5、……………………………………20第五章致谢……………………………………………………………………21参考文献…………………………………………………………………………22摘要多晶硅是单质硅的一种形态。通过化学或者物理方法使硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。还原是将经提纯和净化的三氯氢硅与氢气混合通入还原炉中，在1080℃～1150℃下将还原出来的多晶硅沉积的发热体的硅芯上。从而得到纯度很高的单质硅。而在生产多晶硅的过程中涉及很多

6、的变量因素，都能影响到多晶硅产品的质量和纯度问题，本篇论文主讲在多晶硅的还原生产过程中，如何控制温度，及为获得一定的收率，如何控制流量配比等主要的影响因素，从而能够在生产过程中更好的提高产品的纯度。关键词：多晶硅，三氯氢硅，氢气，还原炉AbstractPolycrystallinesiliconisanewshape.Throughchemicalorphysicalmethodmakessiliconatomtodiamondarrangedintomanynucleilatticeform,s

7、uchasthesegrownucleiofdifferentgrain,orborientationisthegraincombine,iscrystallizationintopolycrystallinesilicon.Reductionisthepurificationandpurificationbysiliconandtrichloraminemixedventilationwithreductionfurnace,in1080℃~1,150℃nextwillrestoreoutoft

8、hedepositiononsiliconecore.Thustheelementalsilicontheprocessofproductionofpolysiliconinvolvesmanyvariables,canaffectthequalityoftheproductandpuritypolysilicon,thispaperspeakerofreductioninpolysiliconproductionprocess,yield,factorsaffectingther