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1、摘要本设计在查阅大量文献资料的基础上，反复地进行了方案的可行性研究与比较，并反求了激光器靶室的外观尺寸，最终采用借鉴干涉显微镜三向工作台的设计原理和结构，进行靶室工作台的设计，实现X、Y、Z三向连续可调；采用双齿轮齿条机构，可连续改变活塞与缸体的相对位置，且不对光轴位置产生影响，从而实现缸体内腔长度连续可调；采用GX25T型推力关节轴承，靶室轴线能在竖直平面内偏摆±3°，以满足不同的激光实验要求。整个设计过程包括了结构设计、功能设计、强度及刚度设计、精度设计、三维造型设计、工艺设计、模拟加工仿真等内容，除了采用常规的设计方法、手段，还采用了中国机械科学
2、研究院开发的机械设计制造通用技术支持系统、三维特征造型软件Proe设计、数控电火花线切割编程软件CAXA线切割XP及MastercamWire9.0，以满足现代机械设计制造及其自动化的需要。本设计作出了所有的二维、三维零件图，并作出了三维装配图及爆炸图，论文对设计原理、结构、加工工艺、加工模拟仿真等内容作了详细的阐述，并提出了下一步改进的设想。关键词：激光器；靶室；球铰式全套图纸，加ABSTRACTThisdesigncarriedonthepossibilityresearchandcomparisonoftheprojectagainandagai
3、nincheckingagreatdealofculturalheritagedataoffoundation,andanti-begtheexternalappearancesizeofthetargetchamber,theendadoptiondrewlessonsfromtheinterferencemicroscopefirstthreetoworkthedesignprincipleandstructureofthepedestal,carryonthedesignofthetargetchamberworkpedestal,carryou
4、tX,Y,Zthreetocontinuouslyregulate;AdoptGX25Tsphericalplainbearing,thestalklineoftargetchamberstalklinecanbepartialtoput±3°inflatsurface.Thewholedesignprocessincludedmotion(function)design,structuredesign,strengthandrigiditydesign,accuracydesign,3Dmoldingdesign,techniquedesign,pa
5、rallelingdesignandprocessingsimulationetc.inadditiontoadoptingtheconventionaldesignmeans,alsoadoptedChinesemachinescienceinstituteforresearchadevelopmentofthemachinedesignmanufacturethecurrencytechniquesupportingsystem,3DcharacteristicmoldingsoftwareProeandWireElectrical-dischar
6、geMachiningsoftwareCAXAXPandtheMastercamWire9.0withsatisfythemodernmachinedesignmanufacturingandthedemandofitsautomation.Thisdesignmadealloftwodimension,3Dsparepartsdiagrams,andmake3Dassemblethediagramandtheexplosiondiagram,thethesiselaboratestowardsdesigningprinciple,structure,
7、processacraftandprocessingtoimitatetoimitateatrueetc.contentstomakeindetail,andputforwardimprovingnextmoveofconceive.Keywords:excimerlaser;targetchamber;sphericalplainbearing目录1绪论11.1激光器的应用11.2激光器的工作原理11.3激光器在国内外研究的现状31.4本论文的主要研究内容32激光器靶式设计52.1结构设计52.1.2齿轮的几何设计计算102.1.3进气孔的设计102
8、.2功能设计112.2.1缸体轴线在竖直平面内偏摆设计112.2.2活塞轴向移动的设计112.
