GB∕T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级

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1、ICS13.040.35CCSC70中华人民共和国国家标涯GB/T25915.10—2021/ISO14644-10:2013洁净室及相关受控环境第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments一Part10Classificationofsurfacecleanlinessbychemicalconcentration(ISO14644-10:2013,IDT)2021-08-20发布2022-03-01实施国家市场监督管理总局国家标准化

2、管理委员会GB/T25915.10—2021/ISO14644-102013目次前言.....................................................................................n引言.....................................................................................IVi范围............................................

3、.......................................i2规范性引用文件........................................................................13术语和定义............................................................................14分级..........................................................

4、.........................25化学污染的表面洁净度检测/测量、监测及符合性证明......................................4附录A（资料性）表面化学物各种浓度的换算..............................................6附录B（资料性）影响测试与结果的因素...................................................12附录C（资料性）洁净度评定的基本要素...................

5、................................13附录D（资料性）按化学物浓度测试表面洁净度的方法......................................14附录E（资料性）测试报告................................................................23参考文献................................................................................24IGB

6、/T25915.10—2021/ISO14644-10:2013■ix,—a-刖百本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第10部分。GB/T25915已经发布了以下部分：——第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级；——第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测；——第3部分:检测方法；——第4部分:设计、建造、启动；——第5部分:运行；——第6部分:词汇；——第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境)；——第

7、8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级；——第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级；——第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级；——第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。本文件等同采用ISO14644-10:2013《洁净室及相关受控环境第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级》。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口。本文件起草单位：中国工程物理研究院激光聚变研究中心、深圳市吉隆洁净技

8、术有限公司、苏州市计量测试院、中国电子系统工程第二建设有限公司、苏州宏远净化技术有限公司、陕西中电精泰电子工程有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、烟台宝源净化有限公司、深圳市丽风净化工程有限公司、中国标准化协会、中国合格评定国家认可中心、上海市室内环境净化行业协会、上海风神环境设备工程有限