精细加工和超精细加工技术综述

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精细加工和超精细加工技术综述中国机械工程CHINAMECHANICALENGINEERING1999年第10卷第5期Vol中国机械工程CHINAMECHANICALENGINEERING1999年第10卷第5期Vol.10No.51999精细加工和超精细加工技术综述王先逵吴丹刘成颖摘要阐述了精细加工和超精细加工技术的范畴、加工方法、系统构造及其在先进制造技术中的作用和地位；分析了21世纪初期对它的需求和技术发展趋势，并提出了相应的技术发展前沿，归总了技术发展特点。关键词精细加工超精细加工先进制造技术机械制造中国图书资料分类法分类号TH16

1ReviewofPrecisionandUltra-precisionMachiningTechnologyWangXiankui(TsinghuaUniversity,Beijing,China)WuDanLiuChengyingp570-576Abstract：Inthispapertherange,machiningmethodandsystemstructureoftheprecisionandultra-precisionmachiningtechnology,andtheactionandpositioninadvancedmanufacturingtechnologyarediscussed,itsrequirementintheearly21centuryisanalysed,theinterrelatedfronttechnologydevelopmentisadvancedandthefeatureoftechnologydevelopedisinduced.Keywords:precisionmachiningultraprecisionmachiningAMTmachinerymanufacturing收稿日期：1998—12—07从先进制造技术的本质而论，主要有精细加工技术和超精细加工技术、制造自动化两大领域［1］：前者包括精细加工、超精细加工、微细加工及纳米加工，它追求加工上的精度和外表质量的极限，可统称为精细工程；后者包括设计、制造和管理的自动化，它不仅是快速响应市场需求、提高生产率、改善劳动条件的重要手段，而且是保证产品质量、提高和稳定加工质量的有效举措。

2两者有密切联络，很多精细加工和超精细加工要靠自动化技术才能到达预期目的，而不少制造自动化有赖于精细加工才能得以准确实现。精细工程和制造自动化具有全局性的、决定性的作用，是先进制造技术的支柱。1精细加工和超精细加工的技术内涵通常按加工精度划分，可将机械加工分为一般加工、精细加工、超精细加工。由于生产技术的不断发展，划分的界线将随着历史进程而逐步向前推移，过去的精细加工对今天来讲已经是普通加工，因而，其划分的界线是相对的，并且在详细数值上至今没有固定的界讲。1.1精细加工和超精细加工的范畴当前，精细加工是指加工精度为1μm～0.1μm、外表粗糙度为0.1μm～0.025μm的加工技术；超精细加工是指加工精度高于0.1μm、外表粗糙度小于0.025μm的加工技术。因而，超精细加工又称之为亚微米级加工。超精细加工已进入纳米级精度阶段，故出现了纳米加工及其相应的纳米技术。从精细加工和超精细加工的范畴来看，它应该包括微细加工、超微细加工、光整加工、精整加工等加工技术。微细加工技术是指制造微小尺寸零件的加工技术，

3超微细加工技术是指制造超微小尺寸零件的加工技术，它们是针对集成电路的制造要求提出的，由于尺寸微小，其精度是用尺寸额绝对值来表示，而不是像一般尺寸那样，用所加工尺寸与尺寸误差的比值来表示。光整加工一般是指降低外表粗糙度和提高外表层力学机械性质的加工方法，不着重于加工精度的提高，其典型加工方法有珩磨、研磨、超精加工及无屑加工等。实际上，这些加工方法不仅能提高外表质量，而且能够提高加工精度。精整加工是近年来提出的一个新的名词术语，它与光整加工是对应的，是指既要降低外表粗糙度和提高外表层力学机械性质，同时又要提高加工精度的加工方法，可弥补光整加工的缺乏。1.2精细加工和超精细加工方法根据加工方法的机理和特点，精细加工和超精细加工方法能够分为去除加工、结合加工和变形加工3大类，见表1。file:///E|/qk/zgjxgc/zgjx99/zgjx9905/990527.htm〔第1／7页〕2020-3-2315:24:17