GBT25496-2010吸气剂机械性能测试方法.pdf

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1、ICS31-030L90囝雪中华人民共和国国家标准GB／T25496—2010代替GB／T9506．9—1988，GB／T9506．10一1988，GB／T6626．4—1986，GB／T9506．1l一1988吸气剂机械性能测试方法Testmethodsforthemechanicalpropertiesofgetters2010—12一01发布2011—05—01实施宰瞀鹘鬻瓣警糌瞥星发布中国国家标准化管理委员会促19标准分享网www.bzfxw.com免费下载刖昌GB／T25496—2010本标准是将以下标准整合后进行修订的：——GB／T9506．9—

2、1988《吸气剂装载量测试方法》；——GB／T9506．101988《吸气剂压制或烧结牢固度测试方法》；——GB／T6626．4—1986《释汞吸气剂性能测试方法释汞吸气剂压粉牢固度的检测方法》；——GB／T9506．11—1988《吸气剂支架焊接强度测试方法》。本标准与原标准相比主要变化如下：——在规范性引用中增加对GB／T4314《吸气剂术语》的引用；——将烧结型吸气剂的牢固度测试方法由跌落失重法更改为振动失重法；——增加用于ccFL的带状吸气剂牢固度测试方法；——焊接强度测试增加拉力试验器的测试方法}——增加吸气剂压制密度均匀性测试方法；——根据GB／

3、T1．1—2000的要求进行格式修订。本标准代替下列标准：——GB／T9506．9—1988《吸气剂装载量测试方法》；——GB／T9506．10一1988《吸气剂压制或烧结牢固度测试方法》；——GB／T6626．4—1986《释汞吸气剂性能测试方法释汞吸气剂压粉牢固度的检测方法》；——GB／T9506．11—1988《吸气剂支架焊接强度测试方法》。本标准的附录A是规范性附录。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口。本标准起草单位：南京华东赛斯真空材料有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究所、中国电子科技集团公司第十二研究所。本标准主要起草

4、人：薛函迎、郭卫斌、张巨先、刘筠。本标准所代替标准的历次版本发布情况为：——GB／T9506．9—1988；——GB／T9506．10—1988；——GB／T6626．41986：——GB／T9506．11一1988。www.bzfxw.com吸气剂机械性能测试方法GB／T25496—20101范围本标准规定了吸气剂装载量、吸气剂压制或烧结固度、吸气剂载体与支架焊接强度、吸气剂压制密度均匀性等吸气剂机械性能测试方法。本标准适用于真空器件用吸气剂。2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包

5、括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB／T4314吸气剂术语3术语GB／T4314所确定的术语和定义适用于本标准。4吸气剂装载量测试方法4．1原理采用直接称重法或差重法。4．2仪器分析天平(精度为o．1mg)。4．3测试步骤4．3．1无载体的试样用分析天平直接称量试样(精确到o．1mg)。4．3．2有载体的试样用分析天平称试样的重量，然后剥去试样上的载料，再用分析天平称吸气剂载体的重量(均精确到0．1mg)。4．4数据处理4．4．1装载量

6、的计算4．4．1．1无载体试样直接由分析天平称出的量即为装载量wa(mg)。4．4．1．2有载体试样装载量按(1)式计算：Wd—W。一W，式中：Ⅳd——装载量，mg；W。——试样重量，mg；w。——载体重量，mg。www.bzfxw.com标准分享网www.bzfxw.com免费下载GB／T25496—20104，4．2装载■一致性的计算4．4．2．1平均装载量平均装载量按(2)式计算式中：矸，d——平均装载量，mg；wa。——第i个试样的装载量，mgn——试样个数(n>9)。4．4．2．2装载量的标准偏差装载量的标准偏差按(3)式计算：式中：∞．——装载量

7、的标准偏差，mg；wa——平均装载量，mg；Ⅳm——第i个试样的装载量，mgn——试样个数(n>9)。4．5测试报告测试报告形式如表1所示。∑w“Wd一!L／∑(Wm一识)2f}=1√——i=T～表1吸气剂装载量的测试报告装载量w。平均装载量雨。装载量标准偏差一_序号吸气剂型号mg4．6主要误差来源4．6．1分析天平的零点漂移和精度。4．6．2载料剥离的干净程度。5吸气剂压制或烧结牢固度测试方法5．1原理采用差重法测试失重量，即利用试样在震动或弯曲试验前后所出现的重量差额来表征吸气剂的总体压制或烧结牢固度。5．2设备a)分析天平：精度为o．1mg}b)弯曲试

8、验机；c)振动试验台；d)切割机。5．3测试步骤5．