洁净室空调系统设计

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1、洁净室空调系统的设计ByRaymondK.Schneider,P.E.美国采暖、制冷和空调工程师协会会员RaymondK.Schneider,P.E.,是南卡罗来纳州格林维尔市的一位资深洁净室顾问和实用技术元老，他也是南卡罗来纳州克莱姆森市克莱姆森大学建设科学与管理副教授。该洁净室空调系统的目的是提供足够数量的气流和清洁，以支持洁净室的评级。空气是引进的方式，以防止积水的地方粒子可积累进入洁净室。空气也必须条件，以满足洁净室的温度和湿度的要求。此外，足以弥补空调引入空气必须保持指定的正压。本文认为，洁净室空调系统的设计。为了简化演示，干净的房间分为三个清洁度整体水平

2、：严谨，中级和宽松.表1：新的ISO洁净室的分类是在左侧。在美国联邦标准209E英制和公制名称分类也显示。本指引列表示的三种这篇文章的目的描述类别。请注意，100级可被视为一个严谨的洁净室当它是单向流洁净室和中间时，非单向的非关键应用流程设计的设计。右侧列提供每分钟平均客房速度英尺严格的洁净室每小时换气和中级及洁净室气流较宽松的准则。气流过滤空气通过洁净室的设计流量是最严格的洁净室，并作为清洁跌幅的要求降低。平均风速在房间内或作为每小时换气，通常会指定气流。平均房间空气速度的方法通常完整筛选天花板安装时使用。多年来，值为90fpm(0.46m/s)±20%已用于指定

3、最清洁的洁净室中的气流。这基于设计为支持在六十年代的太空计划生成的最早的洁净室和七十年代。近年来，公司已尝试用较低的速度，而找到了70至100fpm（0.35到0.51m/s）±20%不等的气流速度规格可能成功，取决于活动和设备的房间内。较高的值用于在更高级别的人员活动或粒子生成过程设备的房间。较低的值用更少，更多的定居，人事室和/或设备潜力较少颗粒。通常情况下，具有洁净室的丰富经验与知识的客户指定低端的速度范围。客户和设计师对新的洁净室或缺乏自信，较低的速度就足够了而选择较高档次的规模。没有单一的值的平均速度或空气变化率为给定的洁净室分类行业所接受。此语句唯一的例

4、外是重要药品无菌灌装领域FDA所指定的90±20fpm(0.46±0.10m/s)速度。每小时规范的空气变化最常见的中间或宽松的洁净无尘室。中间的洁净室通常设有每小时换气介乎三十至160，虽然不太严格的洁净室每小时有空气的变化率达20。设计过滤器中选择值是根据他的经验和认识的粒子产生潜在的客户端的过程。近年来的趋势是朝着降低气流值更大胆的设计/建造公司和精打细算的最终用户成功地与这些值实验。该研究所环境科学和技术建议：实践12（IEST-CC-RP.012.1）包括一系列的推荐的气流率为每个清洁类的表一样多，最近发布ISO14644-1四部分。表(1)列出了这些值。

5、两者都是共识性文件，汇集洁净室设计，建造者和使用者的意见，得出已知已经通过了工作多年的数据。所有这些文件通过指定参数的责任到了“买方和卖方”的洁净室，因此谨慎的建议有些措词前面介绍的基础上。过滤许多年来，微电子产业带动了洁净室技术。过滤器效率更高的要求，有来自这和相关产业。ULPA（超低渗透空气）过滤的99.9995％的0.12微米的微粒效率已被用在最严格的洁净室有效。可用过滤器效率更高，但费用昂贵，并没有得到普遍使用。如99.99%和99.999%的效率可从多家厂家，并已被证明是有效严格洁净室的应用程序中。HEPA（高效能粒子空气）过滤器，以99.97％的效率在0

6、.3微米的微粒评分，有多年的洁净室行业的工作母机。他们仍然被广泛地应用于制药工业，以满足最苛刻的FDA的清洁度要求。作为过滤测试仪器已经成熟和更小的粒子能更准确计算，测试数据表明，这两个ULPA高效过滤器的传递和比其他任何规模0.1至0.2微米范围内更多的粒子。事实上，过滤0.12和0.3微米的颗粒大小以显示其额定的效率和更高的效率对较大和较小的粒子。对于严格的应用中，经常可以看到指定的过滤效率的基础上最易穿透粒径，而不是一个具体的0.12或0.3微米大小（Mpps）的。Mpps的可能略有不同的过滤器之间的地段。指定在“最坏情况”粒度期望的效率已经发现了一些设计师和

7、过滤器制造商的青睐。最严格和中级洁净室是采用在天花板中的过滤器。该过滤器可安装在专用的模块化的压力系统，有利于简化安装在洁净室天花板的组.它们也可以被安装在单个过滤器外壳，单独固体冲压，个别管道在倒“T”网格支持系统悬挂，并密封，防止进入洁净室空气过滤旁路。“棒建”压力全会仍在使用。但是，现有的各种既提供更好的空气流速控制和更好的环境控制和模块化的方案已完全取代了“棒建”的设计集成的过滤器/鼓风机风机过滤器单元或已投入广泛使用。在某些产品的过滤器可更换。在其他国家，整个模块被丢弃在其生命的尽头。他们来了旨在适应一倒“T”型格系统的各种尺寸。不同的电机电压可支持多