基于MEMS技术的微型高频(100-300兆赫兹)超声线性相控阵换能器

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1、学校代码学号摄,大博士学位论文基于技术的微型高频一兆赫兹超声线性相控阵换能器系信息科学与工程学院业微电子学与固体电子学名张金英指导教师黄宜平教授完成日期年月日Ph.D.ThesisMEMS一一一一,指导小组成员名单黄宜平教授教授徐卫疆副教授副教授纪新明助理教授Content摘要……,……···……工七……叨……`……,……而,……`一……一加…………··············……一一……习···············……。苗田了……葫皿……`……月飞…………一妞……胡……盯,自……州月吐乞工丈奋厂工`,﹃……,……曰,……】加币】…………刀……,···……“…

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4、阵换能器快速移动声束对被检器官成像、大功率超声利用其可控聚焦特性局部升温热疗治癌等。当时,系统的复杂性、固体中波动传播的复杂性及成本费用高等原因使其在工业无损检测中的应用受限。然而电子技术和计算机技术的快速发展,使得超声相控阵技术逐渐应用于工业无损检测,特别是在核工业及航空工业等领域,如核电站主泵隔热板的检测、核废料罐电子束环焊缝的全自动检测及薄铝板摩擦焊缝热疲劳裂纹的检测等。由于数字电路和技术的发展,使得精确延时越来越方便,超声相控阵技术发展的也越来越迅速。近几年,随着

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