精华无尘室管理规定

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1、目录无尘车间治理的目的无尘车间治理的原就适用范畴术语治理程序5．1无尘室施工治理制度5．2无尘室干净度定期检测制度/测量标准5．3无尘室人员治理制度5．4无尘室干净服治理制度5．5无尘室物流/干净室内设备及工器具治理制度5．6无尘室清洁、清扫和灭菌治理5．7无尘室干净室安全治理版本更换记录1．0无尘车间治理的目的半导体产品生产过程对车间有明确的干净要求，为了中意生产工艺需要、保证产品质量、安全生产，必需对干净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行把握；2．0无尘车间治理的原就进入干净室的治理，包括对干净室工作人员进入、物料进

2、入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的爱惜治理，应做到不得将微粒、微生物带入干净室；操作治理技术，对干净室内人员用干净工作服的制作、穿着和清洗；操作人员的移动和动作；室内设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等，尽可能地削减、防止干净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等；严格各类设备、设施的爱惜治理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设施按要求正常运转，包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具〔工装夹具〕等；以确保产品生产工艺要求和空气干净度等级；清扫、灭菌治理，对干净室内的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周期和检

3、查作明确的规定，防止、捎除干净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖；干净室环境把握的内容包括：空气净化、干净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物把握以及微振动、噪声、静电的把握、防止等；3．0适用范畴半导体公司全部干净生产区及干净帮忙间〔包括人员净化用室、物料净化用室和相关生活用室等〕、车间内治理区〔包括部分办公、值班、治理和体息室等〕和将来新建、改建、扩建的干净厂房及其帮忙用房；4．0术语干净生产区是干净厂房的主要部分，对干净级别有明确规定的区域；干净帮忙间是干净厂房不行缺少的必备房间；干净帮忙间对

4、干净厂房的平面关系亲热，对干净厂房的建造带来影响和投产后能否中意产品生产的需要以及能否牢靠地防止生产过程的污染或交叉污染至关重要；治理区是干净厂房内的产品生产过程的生产治理、技术治理用房和必要的操作人员的休息、福利用房；设备区即净化空调系统、公用动力系统等用房，是干净厂房的重要组成部分；5．0治理程序5．1无尘车间干净室施工治理制度5．1．1背景5．1．1．1半导体制造业必需在干净的环境中进行，在施工中必需遵循行业规章和程序；本文件列出了这些规章和程序的概要；为了保证项目的成功，现场的每一位人员都必需遵守；5．1．1．2图纸上对

5、于施工的干净建设草案将被强制执行；这包括除了原料和成品仓库以外的全部主厂房内的地方；5．1．1．3干净室施工治理制度目前主要针对一期主厂房内的局部改造和扩建，后期全部干净室施工项目仍依据本制度规定的原就进行治理；5．1．2责任与义务5．1．2．1全部承包商有责任确保他们的工人都明白这些规章和程序，并且在他们疏于遵从或违反时赐予培训和训练；被支配到干净建设区域的每位工人有责任和义务懂得并遵守干净建设规章和程序；5．1．2．2承包商负责执行干净室草案；他将每天对干净建设区域进行检查，并填写检查清单；承包商负责供应干净室所需物品，例如

6、：鞋套，毛巾，垫子和工装；他也负责供应每日执行干净规章和程序的人员和设备；5．1．2．3承包商建造区域入口并对其进行治理；他供应清洗晾晒每个入口处鞋、外套和衣服的清洗店；他将对在干净区域工作的人员进行培训，并爱惜被答应在此区域工作的人员身份认定和治理；5．1．2．4开头阶段，承包商应在每个入口处支配人员（除非半导体公司在该入口处支配有人员）以确保本规章和程序的执行；5．1．2．5重复违反规章和程序的人员将被开除；没有贯彻执行本规章和程序的供应商将被除名；5．1．3草案细就干净室草案分为三部分，每一部分对应施工的一个过程；施工接近

7、完工阶段，不答应从外面或干净区域的施工场地带入脏物；5．1．3．1第一部分第一部分主要针对直到主要施工完成后；包括屋顶，覆层，门和窗户；全部工人必需从图纸上标明的通道进出施工现场；每个入口将会有清洗店；全部工人进入必需保持鞋子干净；不答应穿神奇的服装，工人的衣服应当保持适当的干净；现场安全规章必需时刻遵守；全部设备和材料必需从一个入口进入施工现场，并且保持干净，不答应有碎片掉下；施工现场内不答应吃东西，吸烟，喝酒；每班终止时，必需清走全部垃圾和废旧物品；总之，整个施工现场每天必需保持干净；5．1．3．2其次部分其次部分主要针对直

8、到gridlineB西边干净区域的内墙完成；此时，只答应承包商雇佣的工人在干净区域；其他供应商假如要进入干净区域，必需提前向承包商提出申请，得到答应后方可进入；工人、设备和材料的入口是经过威世半导体〔西安〕有限公司治理人员同意的；gridlines1和2之间的通