毕业设计（论文）-氮化硅涂层的喷涂温度对多晶硅铸锭质量的影响

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1、河南科技大学毕业设计(论文)氮化硅涂层的喷涂温度对多晶硅铸锭质量的影响摘要制备太阳能级多晶硅过程中需要使用坩埚。工业中通常使用的坩埚是石英或石墨坩埚，熔融硅与坩埚接触时不可避免的产生反应粘连，同时坩埚中的杂质也会进入硅熔体中。高浓度的杂质，如C、O、Fe等将使少子寿命显著降低，影响电池性能。通常在坩埚上涂敷涂层使熔体与坩埚壁隔离，来减少反应粘连使铸锭顺利脱模，并阻止坩埚中的杂质在铸造过程中进入硅中。本文利用多晶硅铸锭过程中喷涂温度的变化来研究氮化硅涂层对硅锭脱模效果的影响以及通过少子寿命来分析涂层对杂质的隔

2、离效果。然后以喷涂温度为跳板综合论述影响喷涂效果的主要因素，最终确定一定的喷涂参数范围既能使涂层有效的阻止杂质进入硅锭中，又能有良好的脱模效果。关键词：多晶硅铸锭，喷涂，脱模，杂质，少子寿命IV河南科技大学毕业设计(论文)TheInfluenceofSiliconNitrideCoatingandSprayingTemperaturetoTheQualityofTheMulticrystallineSiliconIngotABSTRACTweneedtouseofcruciblesintheprocesso

3、ffabricatesolargrademulticrystallinesilicon.Typicallygraphiteorquartzcrucibleshavebeenusedassupportofmeltingsilicon.However,inthecastingprocess,therearereactionadhesionsontheinterfaceofmeltingsiliconandcrucible.Moreover,highdensityofimpurity,suchasC,O,Fe,C

4、a,whichplaysacrucialroleonthedegradationofmulticrystallinesiliconsolarcellsperformance,areusuallyincorporatedthroughthecontactofthemeltwiththecruciblewalls.Usuallycoatinghasbeenspayedonthecruciblewallasreleaseagenttoavoidmeltingsiliconcontactingwiththecruc

5、iblewalldirectlyeventuallydecreasethereactionandimpuritydiffusionfromcrucible.ThistextmakeuseofthesprayingtemperaturetoresearchtheeffectofthereleaseagentonSi3N4coatingandaccordingtothelifetimetoanalysisthesegregateeffectonthecoatingtoimpurityintheprocessof

6、castingmulticrystallinesilicon.Thencomprehensivediscussionthemainfactorsontheeffectofspraying,andfinallymakesureaboundaryofthesprayingtopreventtheimpuritiesintotheingoteffectively,andachievetoagoodreleaseagentface.KEYWORDS:castingmulticrystallinesilicon，sp

7、raying，releaseagent，lifetimeIV河南科技大学毕业设计(论文)目录第一章绪论1§1.1太阳能电池的发展1§1.2多晶硅太阳能电池2§1.2.1多晶硅太阳能电池片的加工过程2§1.2.2多晶硅铸锭过程3§1.3铸造多晶硅中主要杂质3§1.3.1硅中氧杂质3§1.3.2硅中碳杂质4§1.3.3硅中氮杂质5§1.3.4硅中金属杂质6§1.4氮化硅的性质和应用7§1.5铸造多晶硅时坩埚涂层目的8§1.6本文研究的主要目的及内容9第二章实验过程10§2.1样品制备10§2.1.1检料10§2

8、.1.2喷涂10§2.1.3坩埚烧结11§2.1.4装料11§2.1.5铸锭11§2.1.6开方13§2.2样品检测14第三章实验结果及分析15§3.1实验结果：15§3.1.1硅锭脱模效果：15§3.1.2硅锭收率：15§3.1.3少子寿命检测结果：16§3.2结果分析16结论18IV河南科技大学毕业设计(论文)参考文献19致谢21IV河南科技大学毕业设计(论文)第一章绪论§1.1太阳能电池的发展随着经济的迅速