氩气净化机使用说明书

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1、氩气净化机使用说明书产品名称：催化再生式氩气净化机规格型号：CZA-4C成都中科普瑞净化设备有限公司8目录1.设备正面图………………………………………………32.设备用途和特点…………………………………………33.工作原理………………………………………………..43.1净化机的工作流程图43.2部件说明44.主要技术指标……………………………………………54.1原料气体要求54.2纯气技术指标54.3设备技术参数55.设备安装…………………………………………………56.操作方法………………………………………………..66.1吸附塔选择66.2开机66.3停机66.4再生67.注意事项…

2、…………………………………………….78.气体净化机的故障和排除…………………………….89.CZA-4C电器原理图……………………………………981.设备正面图2.设备用途和特点CZA－4C型氩气净化机能把普通纯氩净化后得到高纯氩。高纯氩气广泛应用于电子、冶金、机械、化工、原子能和光谱仪等产业部门和科学研究中，为其提供高纯度的工作气体。本机特点如下：1)催化剂活性高，因此工作温度低，净化后的气体纯度高。2)双式结构，一组工作另一组再生备用，故能长期连续供气。3)采用本机纯气吹扫的再生流程，再生不用氢，故不需专用机房，安全性好。4)CZA－4C克服了老产品偶尔会产生“假断偶保护”使再生

3、不能进行的缺点。5)CZA－4C对再生具有半自动功能，操作比老产品更简单。81.工作原理1.1净化机的工作流程图1.2部件说明AVF01原气进阀，C01催化塔,SVF01工作切换阀,QVF01I再生气出阀,QVF02Ⅱ再生气出阀,C02I吸附塔,C03Ⅱ吸附塔,SR01I塔高效过滤器,SR02Ⅱ塔高效过滤器，PI01I塔压力表，PI02Ⅱ塔压力表,FI01再生气流速计,TFV01再生气调节阀（装在机内）,ZVF01I路止逆阀,ZVF02Ⅱ路止逆阀,SVF02再生切换阀,AVF02纯气出阀。原料氩气经原气进阀AVF01进入催化塔C01，原气中的O2等杂质与催化塔中的高效催化剂（在250℃

4、左右）作用，转变成能被吸附塔吸附的物质。在I路工作的情况下，氩气经工作切换阀SVF01进人吸附塔IC02（室温），H2O、CO2等杂质被吸附剂吸附后，经高效过滤器SR01除去尘埃，然后经再生切换阀SVF02、纯气出阀AVF02流出系统，即可输出高纯气体。在Ⅰ吸附塔C02工作的同时，可以对Ⅱ吸附塔C03进行再生，按下Ⅱ路再生按钮，系统会8自动对Ⅱ吸附塔进行加热，并自动打开相关阀门，纯气就会经对加热的Ⅱ吸附塔逆向吹扫，把脱附的杂质排出机外，达到再生的目的。当Ⅰ吸附塔吸附杂质较多时，只需将工作切换阀SVF01转到Ⅱ吸附塔工作，将再生切换阀SVF02转到Ⅰ吸附塔再生状态，即可对I吸附塔进行再生

5、，即可实现系统的连续稳定运行。1.主要技术指标1.1原料气体要求本机原料氩气纯度≥99.9%；允许氧含量≤400PPm，水≤500PPm（即露点低于－25℃），其他杂质≤100PPm。1.2纯气技术指标纯气的最大输出能力4Nm3／h纯气中杂质含量：O2≤1PPm露点≤-70℃，即H2O≤2PPmCO+CO2≤0.1PPmS的氧化物≤0.01PPm尘埃粒子：≥0.3µm的固体颗粒物≤3.5个/升（达到电子级水平）。1.3设备技术参数工作压力≤0.8Mpa催化塔工作温度210～280℃吸附塔工作温度室温；吸附塔再生温度380～420℃再生用氩气用量0.6L/min电源:电压220V，工作时

6、0.6kw；再生时1.6kw外型尺寸：440mm×560mm×1220mm设备重量：120Kg2.设备安装1)把本机的原气进口与气源，纯气出口与用气设备用不锈钢管（或紫铜管）分别连接起来，8并检查不漏。注意，连接处一定要加紫铜垫（已随机配备），才能保证不漏。1)把催化塔温控设定在250℃，吸附温控设定在400℃，（出厂时己设定好，用户可再检查一下）。2)请检查电源插座的相线、零线与本净化机插头的相线（L）、零线（N）是否一致。如果不一致，请改接一致后方可插入电源插座开机，否则会有烧坏净化机的危险。1.操作方法1.1吸附塔选择由于系统配备有两个吸附塔，采用一用一备的模式设计，使用时需要选

7、择一个未失效的吸附塔工作。同时将工作切换阀SVF01、再生切换阀SVF02同时逆时针旋转到位，即选择Ⅰ路吸附塔（C02）工作，此时Ⅱ路吸附塔(C03)处于再生准备状态；同时将工作切换阀SVF01、再生切换阀SVF02同时顺时针旋转到位，即选择Ⅱ路吸附塔（C03）工作，此时Ⅰ路吸附塔(C02)处于再生准备状态。1.2开机加热催化塔：打开总电源SA1和催化加热开关SA2，加热催化塔。通气：当催化塔的温度上升到工作温度，选择好吸附塔后，就可打开钢瓶总