超精密机床进给系统的设计研究

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1、重庆大学题目：超精密及微机床的原理及设计方法，学院：专业：学号：姓名：指导老师:林超（教授）2011-11-06超精密及微机床的原理及设计方法，III摘要随着科学技术的发展，各类微小型光机电元件日益增高的需求逐渐成为一种趋势，它们在国防军工、生命医学、航空航天和微电子等高技术领域中的应用越来越广泛。这些需求不仅要求微小型光机电元件尺寸小、表面精度高，而且形状特征大都较为特异。在这种趋势下，微细加工技术及超精密机床逐渐受到学术界和工程界的关注。微位移技术是精密机械和仪器实现高精度的关键技术之一。论文介绍了一些典型微位移机构的结构、原理、特点和应用,并对这些机

2、构进行了比较分析,最后介绍了应用实例。关键词：微位移机构机械传动热变形弹性变形压电陶瓷直线电机Ultra-precisionandmicro-machinetheoryanddesignmethods&ultra-precisionmicro-machiningofthemodelAbstractIIIWiththedevelopmentofscienceandtechnology,therisingdemandofkindsofsmall-sizedoptic-mechanicalcomponentsgraduallybecomesatrend,they

3、areusedmorewidelyinthehightechnologyfieldofdefenceandmilitary,lifescience,aerospaceandmicroelectronics.Thesedemandsrequiresmall-sizedoptic-mechanicalcomponentsnotonlyhavesmallsize,high-precisionsurface,butmorespecificshapecharacteristic.Underthiskindoftrend,micro-fabricationtechno

4、logyisgraduallyconcernedbyacademiaandprojectcircle.Themicro-motiontechniqueisoneofkeytechniqueofprecisionmachineryandinstrumentforhignaccuracy.Thispaperintroductionstructure,principleandapplicationsofsometypicalthemicro-motionmechanisms.Thecomparisonsamongthesearecarriedout.Applic

5、ationlivingexampleisalsointroducedKeyword:micro-motionmechanismmachinerytransmissionthermaldeformationelasticdeformationpiezoelectricceramiclinearmotorIII目录第一章绪论21-1课题研究的意义21-2超精密技术机床发展的现状21-3超精密机床进给系统的重要性与微进给技术3第二章微进给技术42-1机械传动式微位移机构42-1-1螺旋式和差动螺旋式微位移机构42-1-2组合式机械传动式微位移机构62-2机电传动

6、式微位移机构82-2-1直线电机式微位移机构82-2-2磁致伸缩式微位移机构92-2-3电致伸缩式微位移机构92-2-4压电元件式微位移机构102-2-5电热变形式微位移机构112-3其他形式的微位移机构112-3-1柔性铰链式微位移机构112-3-2形状记忆合金式微位移机构12第三章微进给机构的设计选择133-1现有微进给方法及其存在问题133-2微进给机构方案论证13第四章结论与展望154.1结论154.2展望15参考文献1616第一章绪论1-1课题研究的意义精密和超精密加工技术作为高科技领域中的基础技术，不论是在军用工业，还是在国民经济建设中部发挥着

7、重要的作用，是尖端技术产品开发中不可缺少的关健手段，同时，它又推动着半导、体技术、光电技术、材料科学及测量技术等相关领域的发展。因此，精密和超精密加工技术是国家科学技术发展的重要支撑技术，也是衡量一个国家科学技术水平的重要标志。其最大的特点是在综合应用机械发展的新成就（新型轴承、导轨、传动装置、微位移技术等）以及现代电子、测量、计算机等新技术的基础上大幅度提高机械加工的精度和水平，向机械加工精度的极限—纳米级水平挑战，它已经成为机械加工技术发展的重要方向之一。1-2超精密技术机床发展的现状超精密加工技术由60年代初期形成至今，其加工精度己由1-0.5μm发

8、展到0.05-0.005μm的水平。我国超精密机床的研制始于60年