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时间:2018-01-21
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1、微电子概论期末论文本文由_黑色闪电贡献doc文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT,或下载源文件到本机查看。浅析微电子技术的发展[摘要]微电子技术的应用与影响在我们的日常生活中随处可见。在本文里,简要地叙述了微电子技术的发展历史和现状,实际应用,发展趋势和展望,增进对微电子技术的了解。[关键词]微电子技术、发展、应用[引言]微电子技术是一项年轻的技术,它发展的理论基础是19世纪末到20世纪30年代之间建立起来的现代物理学。它在短短的一个多世纪的时间里,凭借着飞快的发展速度和强大的生命力,成功地渗入人类生活的各个领域,并在21世纪里继续成为最具发展潜力的
2、技术之一。[论述和讨论]1、微电子技术的发展历史和现状微电子技术的发展历史和现状19世纪末20世纪初的物理学革命,为微电子技术的产生奠定了理论基础。半导体三个重要物理效应——光电导效应、光生伏特效应、整流效应的发现,量子力学的建立和材料物理的发展,都起到了理论推动作用。1946年1月,Bell实验室正式成立了半导体研究小组,成员为肖克莱、理论物理学家巴丁、实验物理学家布拉顿。在系统的研究过程中,巴丁提出了表面态理论,肖克莱给出了实现放大器的场效应基本设想,巴丁设计进行了无数次实验,于1947年12月观察到了该晶体管晶体管结构的放大特效,标志着世界上第一个点接触型晶体
3、管的诞生。1952年,肖克莱又与斯帕克斯、迪尔一起发明了单晶锗npn结型晶体管。1952年5月,英国科学家达默第一次提出了集成电路的构想。1958年,以德克萨斯仪器公司的科学家基尔比为首的研究小组研制出世界上第一块集成电路。晶体管和集成电路的发明,拉开了人类进入电子时代的序幕,对人类社会的所有领域产生了并且还正在产生着深远影响。随着晶体管和集成电路的发明与应用,微电子技术进入了一个飞速发展的时期。1965年,美国硅谷西安童半导体公司的GordonMoore博士(Intel公司创始人之一)通过研究了半导体工业的发展数据,1971年提出了著名的“摩尔定于律”——集成电路
4、芯片的集成度每三年提高4倍,而芯片加工特征尺寸每三年缩小倍。微电子技术是近五十年来发展最快的技术。从最基本的机构单元pn结,到简单的接触双极型晶体管和结型晶体管,再到MOS场效应晶体管;从双极集成电路,到数字集成电路,再到MOS集成电路,每一次进步都是一次技术上的巨大飞跃。作为微电子技术的核心,集成电路(IC)经历了小规模、中规模、大规模、超大规模阶段,目前已进入甚大规模阶段,其集成度不断提高、功耗延迟积(优值)和特征尺寸不断缩小、集成规模不断增大。各方面的性能不断优化,价格却在不断降低——如此一来,产品的升级换代不仅导致性能品质的提升,价格也变得越来越便宜,性价比
5、不断提高,在人类生活中也越来越受到欢迎,得到了广泛的应用。集成电路的制造工艺主要包括以下内容。图形装换技术:主要是光刻和刻蚀技术;薄膜制备技术:主要是外延、氧化、化学气相淀积、物理气相淀积等;掺杂工艺:主要是扩散与离子注入;其他工艺:接触与互连、隔离技术、封装技术和辅助工艺等。随着集成电路规模的发展,工艺的不断提高,其种类趋于繁多,应用环境的变化,集成电路的设计也起着越来越大的作用。尤其是电子设计自动化EDA工具的应用,在保证实际准确性的同时,大大缩短了设计周期,降低了设计的成本。目前,我们已经进入纳米时代。0.25微米的CMOS工艺技术已进入大量生产,以该项技术制
6、作出来的256Mb的DRAM和600MHz的微处理器芯片上,每片上的集成的晶体管数已经达到了10~8-10~9数量级;10nm的器件已经在实验室研制成功,相应的栅氧化层只有1.0-2.0nm;90nm-32nm工艺已进入规模生产,晶体管本身宽度只有30nm-50nm.微电子产业发展高速、辐射面广,极大地影响了社会的方方面面,已经被列为是支柱产业之一。2、微电子技术的应用信息是继材料和能源之后的第三大资源,是人类物质文明与精神文明赖以发展的三大支柱之一,而实现信息化社会的关键——各种计算机和通讯设备——的基础都是微电子。微电子技术是信息社会发展的基石,对当代国民经济发
7、展的促进作用明显,微电子技术产值是进入信息社会的标志。事实证明,微电子技术对各种传统产业具有强有力的带动作用:几乎所有的传统产业与微电子技术结合,有集成电路芯片进行智能改造,都可以使传统产业焕发青春。例如火电厂的锅炉给水泵送风机、引水机站电厂全部耗能的72%,而仅仅对全国风机、水泵采用变频调速等电子技术进行改造,每年即可节电659亿度,相当于三个葛洲坝的发电量。电子设备的更新换代都基于微电子技术的进步。只有微电子技术取得突破,才能制造出更高性能的集成电路,从而导致相关的一系列电子产品的更新。微电子技术在军事国防方面同样有重要的应用。微电子技术的发展和应用,不仅提
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