信阳师范学院先进微纳功能材料实验室项目技术参数

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1、信阳师范学院先进微纳功能材料实验室项目技术参数电化学工作站1电化学工作站1.主机控制系统1.1最大输出电压:±12V1.2最大输出电流:±300mA1.3控制电压范围:±10V1.4电位控制分辨率:66μV(2V范围)1.5电流控制分辨率:全尺寸的0.004%★1.6电信控制精度：设定值的±0.05%±1mV★1.7电流控制精度:全尺寸的±0.2%★1.8响应速度：2μsec以下2.电位/电流检测2.1电位检测范围：2V,10V,AUTO★2.2电位检测精度：读取值的±0.05%±1mV★2.3电位检测分辨率：全尺寸的0.003%,最小分辨率66μV(2V范围)2.4电流检测范

2、围：30nA～300mA(8范围),AUTO★2.5电流检测精度：全尺寸的±0.2%★2.6电流检测分辨率：全尺寸的0.004%,最小分辨率1.1pA(30nA范围)★2.7输入阻抗：1TΩ以上★2.8输入偏置电流：10pA以下2.9.采样间隔：10μs～1800s(因测量方法的不同而有一定限制)采样间隔3.阻抗测试★3.1阻抗范围：10uHz---500KHz★3.2频率设定分辨率：1Hz以下10uHz,1Hz以上0.01%Decade★3.3振幅设定范围：电位控制：1mVdc-p---1Vdc-c;电流控制:范围的0.1%－50%★3.4振幅设定分辨率：电位控制1mV,电流

3、控制：范围的0.1%4.可升级性★4.1将来可升级性：可以插入PGS(HAZ-PGS1)板卡，升级成双恒电位仪★4.2可以插入QCM(HAZ-QCM1)板卡，进行EQCM测试5.附件5.1操作手册1套；软件光盘一套，电极连线1套。5.2控制用电脑一台：i3-4005U处理器，内存4G，硬盘500G，Win7操作系统。6.对制造厂家资质要求：制造厂家注册资本不小于100万人民币，中国国内用户不少于30家。7.交货期:合同签订4个月内。112日本北斗电工株式社会美国Gamry上海辰华188.安装和培训：8.1免费对货物负责安装、调试、培训。具备可靠的服务能力，中国境内有固定的维修点

4、，专业的售后服务工程师，保修期内非人为因素损坏不收取零部件及其他费用，并提供终身售后服务。接到用户维修邀请后，24小时内电话响应，若需现场维修，3个工作日现场响应。8.2.培训：培训人数：2-3人，培训时间：3个工作日，培训内容：设备原理、操作、维护等。9.保修：保修期1年，保修期自安装验收之日算起提供1年免费保修期。10.维修：设备终生维修，保修期过后，供货方承担仪器设备终生维修的责任。接到故障报告后，24小时内给予答复并提出明确解决方案。如需派人维修，则在3个工作日内派工程师到现场解决问题。在完成维修、仪器工作正常后，只收取更换的零配件费用。11.包装和运输：包装适合长途运

5、输、包装材料必须符合中国有关动植物检验检疫规证明文件齐全，符合中国海关的入关要求。运输方式：空运到天津新港后陆运到信阳师范学院指定地点。.12.验收标准：以标准元器件模块进行直流和阻抗测试。18附表2大型精密贵重或共享型教学科研设备性能指标参数表（单台套40万及以上）项目名称：先进微纳功能材料实验室项目建设地点：物电学院理科楼北楼本项目技术负责人：邱洋联系电话：15037650656序号按功能划分的子项目子系统项目建设要求设备目录性能指标和技术参数（带“★”号的指标为关键指标，供货商必须满足）数量单价(万元)总价(万元)生产厂家或品牌(推荐3家)1原子层沉积系统要求该系统达到在

6、原子级沉积薄膜性能，适合开展沉积二元、三元薄膜、梯度薄膜、纳米叠层、掺杂质薄膜等实验测试，满足高质量薄膜和纳米材料界面处理工作需求。建设中须注意做到以下几点：1.设备必须为进口；2.安装培训不少于两周。原子层沉积系统（ALD）*1、腔体：采用双层腔体结构，反应腔安装在真空腔体内，并各自配备密封盖。整个设备高度集成。*1.1真空腔体：真空腔体为直径18英寸圆柱型结构，材质为AISI316不锈钢。腔体高度大于30厘米，预留升级等离子体源、Loadlock预真空室、质谱仪、QCM等扩展功能的接口；内置加热器一套，配备相应的隔热板，加热器最高可加热至650℃，控制精度±1℃，并配备相应

7、的温度传感器1个，建议品牌：picosun；压力传感器1个，建议品牌：MKS，压力传感器测量范围为：0-105000Pa；真空腔体外温低于60℃，并配备腔体过热保护装置；真空腔体所有接口采用KF法兰和Viton密封圈密封，腔体漏率低于10-6Pa/s。*1.2反应腔：反应腔为AISI316不锈钢，并经过特殊钝化处理，确保能够沉积Al2O3、ZnO、等氧化物、硫化物和金属。反应腔可以容纳最大200mm(8英寸)基片1个，兼容2-6英寸样品，3D基片和多个小基片，反应腔高度10厘米；反应腔上配备