扫描电子显微镜的原理及应用

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1、扫描电子显微镜的原理及应用一、实验目的与任务1.了解扫描电镜的基本结构和原理。2..掌握扫描电镜试样的制备方法。3.熟悉利用二次电子信号拍摄扫描电镜照片。二、扫描电镜的基本结构和原理扫描电镜由电子光学系统、扫描系统、信号收集处理显示系统、真空系统、供电控制系统和冷却系统等六部分组成。图1为其结构原理示意图。图1扫描电镜机构原理图扫描电镜成像原理与闭路电视非常相似，显像管上图像的形成是靠信息的传送完成的。电子束在样品表面逐点逐行扫描，依次记录每个点的二次电子、背散射电子或X射线等信号强度，经放大后调制显像管上对应位置的光点亮度。扫描发生

2、器所产生的同一信号又被用于驱动显像管电子束实现同步扫描，样品表面与显像管上图像保持逐点逐行一一对应的几何关系。因此，扫描电子图像所包含的信息能很好地反映样品的表面形貌。三、实验内容：1.介绍扫描电子显微镜的生产厂家型号构造和工作原理.2.讲解并演示扫描电镜试样的制备方法3.讲解什么是二次电子，演示利用二次电子信号拍摄扫描电镜照片。四、实验数据及处理1、简述扫描电子显微镜的基本组成和工作原理。2.什么是二次电子？如何利用二次电子信号拍摄扫描电镜照片？3.扫描电镜对试样有何要求？应如何制备？