太阳电池工艺文件

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1、太阳电池工艺文件太阳电池工艺文件单晶硅片清洗工艺1.插片：1)主要原材料：l合格品单晶硅片2)工装、设备l承片盒l清洗花篮3)工艺过程（右手操作）l每个承片盒插片25片。插片过程中对硅片进行检验，不合格硅片挑出。然后，每个清洗花篮中放置3×4个插片后的承片盒。2.超声清洗：1)主要原材料：l油污比较严重的硅片l清洗剂l自来水2)工装、设备l超声波清洗机l承片盒l清洗花篮3)工艺过程（右手操作）l表面油污比较严重的硅片，需要在2—5%清洗剂40℃的水溶液中，利用超声波震荡清洗15min。清洗功率和超声频率根据使用的设备调整。清洗液可以反复使用。l经过清

2、洗液超声的硅片，转移到清洗槽中，使用大量的自来水冲洗超声后的硅片，直至无清洗液。3.八槽清洗机清洗1)主要原材料：l清洁的硅片lNaOHl自来水22太阳电池工艺文件lNaSiO2l异丙醇l去离子水2)工装、设备l8槽清洗机l承片盒l清洗花篮3)工艺过程（右手操作）l去除损伤层：8槽清洗机中的第一槽，100g/LNaOH80℃的自来水溶液，腐蚀5min。减薄量约0.5g。l去除腐蚀液：8槽清洗机中的第二槽，使用大量的自来水冲洗腐蚀后的硅片，直至无碱液。约2min。l腐蚀绒面：8槽清洗机中的第三、四、五和六槽，11g/LNaOH+7.5g/LNaSiO2

3、+55g/L异丙醇的去离子水溶液，80℃，腐蚀25—35min，腐蚀槽保持盖严防止异丙醇散发。l去除腐蚀液（一）：8槽清洗机中的第七槽，流动去离子水清洗，去除碱腐蚀液。5min。l去除腐蚀液（二）：8槽清洗机中的第八槽，流动去离子水清洗，去除碱腐蚀液。5min。1.六槽清洗机清洗1)主要原材料：l清洗的硅片lHFlHN4FlHCll去离子水2)工装、设备l6槽清洗机l承片盒l清洗花篮3)工艺过程（右手操作）l去除表面氧化层：6槽清洗机中的第一槽，40g/LHF加5g/LHN4F去离子水溶液，5min，注意避光操作。l去除HF酸：6槽清洗机中的第二槽，

4、流动去离子水清洗，3min。l酸洗，去除重金属离子（一）：6槽清洗机中的第三槽，100g/LHCl去离子水溶液，5min。l酸洗，去除重金属离子（二）：6槽清洗机中的第四槽，30g/LHCl22太阳电池工艺文件去离子水溶液，5min。l去除酸溶液：6槽清洗机中的第五槽，流动去离子水清洗，3min。l喷淋：6槽清洗机中的第六槽，去离子水喷淋8min。1.甩干：1)主要原材料：l清洗的硅片2)工装、设备l甩干机l承片盒3)工艺过程（右手操作）l将承片盒装入甩干机的卡槽内，依据甩干机的操作说明甩干硅片。l将甩干后的硅片，连同承片盒一起送入密闭扩散间的转移窗

5、口，等待扩散。2.绒面的检验：1)主要原材料：l甩干的硅片2)工装、设备l显微镜3)工艺过程（右手操作）l目视硅片表面呈均匀的灰黑色，没有明显的斑点。显微镜下，金字塔形貌均匀，金字塔的高度约为3—5μm。22太阳电池工艺文件8槽清洗机的工艺条件槽位12345678时间5min2min40min5min5min溶液100g/LNaOH80℃的自来水溶液大量的自来水11g/LNaOH+7.5g/LNaSiO2+55g/L异丙醇的去离子水溶液,80℃去离子水清洗去离子水清洗目的去除损伤层去除腐蚀液腐蚀绒面去除腐蚀液去除腐蚀液6槽清洗机的工艺条件槽位1234

6、56时间5min2min5min5min3min8min溶液40g/LHF+5g/LHN4F去离子水溶液流动去离子水清洗100g/LHCl去离子水溶液30g/LHCl去离子水溶液去离子水清洗去离子水喷淋清洗目的去除表面氧化层，避光去除腐蚀液去除重金属离子去除重金属离子去除腐蚀液精洗说明：每12小时更换一次腐蚀液。具体操作过程由现场工艺人员处理。22太阳电池工艺文件多晶硅片清洗工艺1.插片：1)主要原材料：l合格品多晶硅片2)工装、设备l承片盒l清洗花篮3)工艺过程（右手操作）l每个承片盒插片25片。插片过程中对硅片进行检验，不合格硅片挑出。然后，每个

7、清洗花篮中放置3×4个插片后的承片盒。2.超声清洗：1)主要原材料：l油污比较严重的硅片l清洗剂l自来水2)工装、设备l超声清洗机l承片盒l清洗花篮3)工艺过程（右手操作）l表面油污比较严重的硅片，放置在超声清洗机的超声槽中，需要在2—5%清洗剂60℃的水溶液中，利用超声波震荡清洗15min。清洗功率和超声频率根据使用的设备调整。清洗液可以反复使用。l经过清洗液超声的硅片，转移到清洗槽中，使用大量的自来水冲洗超声后的硅片，直至无清洗液。3.八槽清洗机清洗去1)主要原材料：l清洗的硅片lNaOHl自来水l硝酸lHFl去离子水2)工装、设备l清洗槽22太

8、阳电池工艺文件l承片盒l清洗花篮3)工艺过程（右手操作）l除损伤层：8槽清洗机中的第一槽，100g/LNaO