四探针测试仪作业指导书

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1、SDY-4型四探针测试仪作业指导书共8页第8页SDY-4型四探针测试仪作业指导书1.0版本Rev.编写人Preparedby编写日期PreparedDate审核人Checkedby审核时间CheckedDate批准人Approvedby批准日期ApprovedDate只有加盖红色受控章的，或颁布于公司局域网指定目录的文件，才是有效的。请使用有效版本。SDY-4型四探针测试仪作业指导书共8页第8页目录一.目的…………………………………………………………………………003二.范围……………………………

2、……………………………………………003三.职责…………………………………………………………………………003四.名词定义…………………………………………………………………………003五.内容…………………………………………………………………………003六.安全…………………………………………………………………………005七．设备材料…………………………………………………………………………005八.相关文件…………………………………………………………………………005九.记录……………………………

3、……………………………………………005只有加盖红色受控章的，或颁布于公司局域网指定目录的文件，才是有效的。请使用有效版本。版本：1.0SDY-4型四探针测试仪作业指导书共8页第8页1.目的：规范四探针测试仪的操作与维修保养工作。2.范围：适用于车间内四探针测试仪的操作与维修保养工作。3.职责：3.1负责扩散后方块电阻的测试。3.2规范操作，为测试数据规范化提供依据。3.3负责发现扩散后硅片质量、工艺异常状况时的反映。4名词定义：4.1SDY-4型四探针测试仪5.内容:5.1仪器介绍：SDY-4型

4、四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准设计的半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)测试专用仪器.仪器以大规模集成电路为核心部件,采用平面轻触式开关控制,及各种工作状态LED指示.应用微计算机技术，利用HQ－710E型测量数据处理器，使得测量读数更加直观、快速，整套仪器体积小、功耗低、测量精度高、测试速度快、稳定性好、易操作。本仪器可满足半导体材料、器件的研究生产单位对材料(棒材、片材)电阻率及扩散层、离子注入层、异型外延层和导电薄膜方块电阻测量的需要。5.2仪器电

5、气原理如图（1）所示：220V电滤波恒流电流选档样品A/D显示源滤波稳压换相控制测试转换图(1)仪器电气原理框图5.3SDY-4型四探针测量原理如图（2)所示：只有加盖红色受控章的，或颁布于公司局域网指定目录的文件，才是有效的。请使用有效版本。版本：1.0SDY-4型四探针测试仪作业指导书共8页第8页将四根排成一条直线的探针以一定的压力垂直地压在被测样品表面上，在l、4探针间通以电流I(mA)，2、3探针间就产生一定的电压V(mV)(如图1)。测量此电压并根据测量方式和样品的尺寸不同，计算样品的电

6、阻率或方块电阻:图（2）直线四探针法测试原理图5.4仪器面板说明如图（3）所示：SDY-4型四探针测试仪主要由主机（电气测量装置）和测试台组成，两部分独立放置，通过连接线联接。⑨⑩①②③④⑤⑥⑦⑧图（3）主机前面板说明按键和旋钮说明如下：①---主机数字及状态显示器；②、③、④、⑤---测量电流量程选择按键，共四个量程（0.1mA、1mA、10mA、100mA）；⑥---R□/ρ测量选择按键，开机时自动设置在“R□”位；⑦---测量电流方式选择按键，开机时自动设置在“I”（电流）位；⑧---电流换

7、向按键；⑨---电流粗调电位器；只有加盖红色受控章的，或颁布于公司局域网指定目录的文件，才是有效的。请使用有效版本。版本：1.0SDY-4型四探针测试仪作业指导书共8页第8页⑩---电流细调电位器；5.5使用方法仪器：首先按照说明连接四探针探头与SDY-4主机，接上电源，再按以下步骤进行操作：5.5.1开启主电源开关，此时“R□”和“I”指示灯亮，预热约5分钟；5.5.2估计所测样品方块电阻的范围，按表1选择电流量程，按下②、③、④、⑤中相应的键（如无法估计样品方块电阻的范围，则可以以“0.1mA

8、”量程进行测试，再以该测试值作为估计值按表1选择量程）；方块电阻（Ω/□）电流量程（mA)<2.51002.0—2.51020—2501>2000.1表1方块电阻测量时电流量程选择表5.5.3放置样品压下探针，使样品接通电流。主机此时显示电流数值，调节电位器⑨、⑩，即可得到所需的测试电流值；5.6测试薄层方块电阻R□：计算公式：R□=V/I×F(D/S)×F(W/S)×Fsp(Ω/□)选取测试电流I：I=F(D/S)×F(W/S)×Fsp然后计算出测试电流值：I=A.BCD在仪器上