高真空机组项目计方案（含设计图）

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1、高真空机组项目设计方案（含设计图）一、分子泵机组I设计方案1、主要技术指标1）极限压力：≤5×10-5Pa2）抽气速率：1400L/S3）装置与真空室连接：DN250（CF250接口，向上水平）2、分子泵机组I结构图3、主要配置说明1）P2：直联式真空泵3台2）P1：分子泵2台3)VI：气动高真空插板阀2个4)V2：气动高真空挡板阀（不锈钢）2个5)G1G2：电阻、电离复合真空计2台6)过度管道（长250mm，法兰DN250）2根7)不锈钢波纹管（长1m）2根8)控制柜（三项集成）1套9)电源、测量、控制线（50米）配套相符二、分子泵机组II设计方案1、主要技术指标1

2、）极限压力：≤5×10-5Pa2）抽气速率：450L/S3）装置与真空室连接：DN150（CF150接口，向上方向）2、分子泵机组II结构图3、主要配置说明1）P2：型直联式真空泵1台2)P1：型分子泵1台3）VI：气动高真空插板阀1个4）V2：气动高真空挡板阀（不锈钢）2个5）G1G2：电阻、电离复合真空计1台6）过度真空管道等（长250mm，法兰DN150）1根7）不锈钢波纹管1根8）电源、测量、控制线（50米）配套相符