GBT 23611-2009 金靶材

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1、ICS77．120．99H68囝寓中华人民共和国国家标准GB／T23611—20092009—04—15发布金靶材Goldtarget2010-02—01实施宰瞀鹘鬻瓣警矬瞥星发布中国国家标准化管理委员会““’刖昌GB／T23611—2009本标准由中国有色金属工业协会提出。本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口。本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。本标准由北京达博有色金属焊料有限责任公司参与起草。本标准主要起草人：闫琳、江轩、吕保国、熊晓东、尚再艳、杨永刚、杨顺兴、杜连民。1范围金靶材GB／T23611—2009本标准规定了金靶材要求、

2、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单(或合同)内容。本标准适用于制造半导体电子器件用的各类金溅射靶材(以下简称金靶材)。2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB／T4134金锭GB／T11066．5金化学分析方法银、铜、铁、铅、锑和铋量的测定原子发射光谱法GB／T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方

3、法3要求3．1产品分类金靶材的类型按金的纯度分为IC-Au99．99、ICAu99．999二种。金靶材的形状主要为圆盘状，尺寸主要有直径：100mm、125him、150ttlm、200rtlm、250mm、300mm，厚度通常为3mm～6mm。经双方协商，可提供其他规格及允许偏差的金靶材。3．2化学成分金靶材IC-Au99．99的化学成分应符合GB／T4134的规定。金靶材IC_Au99．999的化学成分应符合表l的规定。表1金靶材IC-Au99．999的化学成分％元素AgCuFePbBlSbSiPd质量分数，不大于0．00050．0001000

4、030．0001O．00010．00010．00030．0001元素MgAsSnCrNiMn杂质总量质量分数，不大于0．00010．001注：需方对某种特定杂质元素含量有要求的，由双方协商解决。3．3供货状态金靶材以加工态供货。3．4几何尺寸金靶材的几何尺寸及其允许偏差应符合表2的规定。表2金靶材的几何尺寸及其允许偏差单位为毫米直径厚度尺寸允许偏差尺寸允许偏差100土0．1125±013～6士0．1150土0．1200土0．15GB／T23611—2009表2(续)单位为毫米直径厚度尺寸允许偏差尺寸允许偏差250士o153～6士o．1300士o．1

5、53．5表面粗糙度金靶材表面粗糙度Ra值应不大于1．6pm。3．6外观质量金靶材表面应无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷。金靶材表面应无拉伸润滑痕迹，颗粒附加物和其他沾污。金靶材表面应清洁光滑，无指痕，无油污和锈蚀。3．7内部质量金靶材的内部质量不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷，由供方的生产工艺保证。4试验方法4，1金靶材ICAu99．99的化学成分的分析方法按GB／T11066．5执行，金靶材IC-Au99．999的化学成分分析方法按供需双方协商决定。4．2金靶材几何尺寸的测量按GB／T15077规定进行。客户特别要求，可按技术协议或按需方图纸、来

6、样检查。4．3表面粗糙度由表面粗糙度仪检测。4．4外观质量用目视检查，如发现异常现象，用10倍放大镜鉴别。5检验规则5．1检验和验收5，1．1产品应由供方质量检验部门进行检验，保证产品质量符合本标准(或订货合同)的规定，并填写质量证明书。5．1．2需方应对收到的产品按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准(或订货合同)的规定不符时，应在收到产品之日起三个月内向供方提出，由供需双方协商解决。如需仲裁，仲裁取样应由供需双方在需方场所共同进行。5．2组批产品应成批提交验收。每批应由同一炉号、状态和规格的产品组成。5．3检验项目及取样检验项目、取样位置及

7、数量应符合表3的规定。表3检验项目、取样位置及数量检验项目取样位置取样数量要求的章条号检验的章条号化学成分缩孔下逐锭3．24．1几何尺寸任意部位逐件3．44．2表面粗糙度任意部位逐件3．54．3外观质量任意部位逐件3．64．45．4检验结果的判定5．4．1化学成分不合格时，判该锭不合格。5．4．2几何尺寸不合格时，判该件产品不合格。Z5．4．3表面粗糙度不合格时，判该件产品不合格。5．4．4外观质量不合格时，判该件产品不合格。6标志、包装、运输、贮存GB／T23611—20096．1标志在已检验合格的每批产品上应附有如下标记：a)产品名称；b)纯度

8、；c)类型、规格；d)数量；e)净重；f)批号；g)生产Et期；h)供方名称；i)生产厂家地址电话。6．2包装、运输和贮存