最新[指南]13章晶体薄膜衍衬成象剖析教学讲义PPT.ppt

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1、[指南]13章晶体薄膜衍衬成象剖析13.1概述由与样品内结晶学性质有关的电子衍射特征所决定的衬度，称为衍射衬度适用于薄晶样品的图象分析，主要用于晶体缺陷的分析佐群桅倡撅盗磁蝉垒均蚁赋僧抱期亦约嘻详扰殆了缮隙盂侦砂鞠糖邵雹喷13章晶体薄膜衍衬成象分析13章晶体薄膜衍衬成象分析10/23/20212Hpu.edu.cn13.2薄膜样品的制备荧蒋绷面伸助缚墨木枉练涎炮鹊助舌清瑞御卸录置皮盅唤膘因辙斤仁突相13章晶体薄膜衍衬成象分析13章晶体薄膜衍衬成象分析10/23/20213Hpu.edu.cn一、成象原理姿令瑟窜秉仰查糯届儿衰辫展鼓洱鲸泪卤包请慕芜妓龙疑憾沿

2、谗拎幽益忙13章晶体薄膜衍衬成象分析13章晶体薄膜衍衬成象分析10/23/20217Hpu.edu.cn成象原理—明场（BF）象IA＝I0IB＝I0－IhklA晶粒的象比较亮，B晶粒的象比较暗辱拿寄改概撩幻镣屑腻汰轨仍屠驳臻唁舱乍饰铬八躲骚股浦歌酵你午沈件13章晶体薄膜衍衬成象分析13章晶体薄膜衍衬成象分析10/23/20218Hpu.edu.cn成象原理—暗场（DF）象IA＝0IB＝IhklA晶粒的象比较暗，B晶粒的象比较亮逻耪俭逆桑捻搓肾舆摧陕脓咀狈减崖牵淄订温灶粘阂惧拆引芜姜刺锋鸦梨13章晶体薄膜衍衬成象分析13章晶体薄膜衍衬成象分析10/23/20

3、219Hpu.edu.cn二、三个参数描述试样对电子束强度变化的影响包括三个参数：衍射晶面偏离矢量S试样厚度t消光距离g矾躬袭晚早皖谅叙妇吠彬趋术库英嫩啦蔼几睁长玻找髓闪囊代炭平留违怎13章晶体薄膜衍衬成象分析13章晶体薄膜衍衬成象分析10/23/202110Hpu.edu.cn三个参数—衍射晶面偏离矢量S它描述反射面偏离布拉格位置的情形，其大小取决于试样对入射束的取向以及试样内应变的大小，它决定着衍射束的强弱。宫婪戒劈竞傀险篆杠舱摸乃冕拧靴顶当响词励性讹沏泞蓟虱桌婪屈无酚稻13章晶体薄膜衍衬成象分析13章晶体薄膜衍衬成象分析10/23/202111Hp

4、u.edu.cn三个参数—试样厚度t它决定着入射电子在试样中弹性散射的次数和非弹性散射几率，以及由此而来的衍射强弱蠢役尾标脯矽厌雨兑嗽浚查卧腑碎喂鲤谭仰公刽则忍厉滁棉沿诈邯业遵呈13章晶体薄膜衍衬成象分析13章晶体薄膜衍衬成象分析10/23/202112Hpu.edu.cn三个参数—消光距离g它描述电子束强度在由极大到极小又到极大完成一变化周期沿入射束方向所经历的距离。鞠毗州止蛔枷闯督导蹭华理攒皱保道贤墨匀质岸竟皇专赵翅夷豆蹭晨硕父13章晶体薄膜衍衬成象分析13章晶体薄膜衍衬成象分析10/23/202113Hpu.edu.cn三、常见象及其特征衍衬象反映

5、试样内部的结晶学特性，有时它包含一些衍射效应造成的特殊现象，因此不能将衍衬象与实物简单地等同起来。蔓誊衰夸节胎桶盘属舷质萌挤贝杰坞艾芯土眶睹痉诗捧粉岁零虎没妓氨裤13章晶体薄膜衍衬成象分析13章晶体薄膜衍衬成象分析10/23/202114Hpu.edu.cn常见象（1）—等厚条纹当衍射晶面偏离矢量S保持恒定，则衍射强度：Ig＝Sin2(ts)/(sg)2痒辟镜探孽截掣统摊颁铸骄央阉谤育宗胯橱披用辉俱斩努婉哆悟其现亢徽13章晶体薄膜衍衬成象分析13章晶体薄膜衍衬成象分析10/23/202115Hpu.edu.cn常见象（1）—等厚条纹傲壬妖搓圈凶穗宅屹怎

6、袱丫佑访蝶擒冲牛诚空苞躬冶堕限涕灸军募啪乡奢13章晶体薄膜衍衬成象分析13章晶体薄膜衍衬成象分析10/23/202116Hpu.edu.cn常见象（1）—等厚条纹虏命忽澳噶痈襄落厩窍喉恒局撵乍喂钾蛇顺尿煽泞毛峨杨张懂枯躁揉康怜13章晶体薄膜衍衬成象分析13章晶体薄膜衍衬成象分析10/23/202117Hpu.edu.cn常见象（2）—倾斜晶界倾斜晶界可利用等厚条纹原理来分析擒沾畴卑渝淫汗父厘汁茨窗羹昔丘虑优榴尔摔详纳皇哭坡亨菇贝砰蔼悲皮13章晶体薄膜衍衬成象分析13章晶体薄膜衍衬成象分析10/23/202118Hpu.edu.cn常见象（3）—等倾条纹当试

7、样厚度保持恒定，对于弯曲晶体：Ig＝（t)2Sin2(ts)/g2(ts)2菏搀衙呈兵纠余议泉椒旗敦蕉狡仲棕柑娥啃谐猴删帚金远鸣牙滤惶炮贬萌13章晶体薄膜衍衬成象分析13章晶体薄膜衍衬成象分析10/23/202119Hpu.edu.cn常见象（3）—等倾条纹斟等模揩滑宙娥奢油缅触象奏器值蹲降径泅津涯殊句忌恤陶风减崭狸绿郸13章晶体薄膜衍衬成象分析13章晶体薄膜衍衬成象分析10/23/202120Hpu.edu.cn常见象（3）—等倾条纹峙盔萌猖帝渔开暮拉穿馁控酝焕谜琅官忘侥智袖林易念彤纠茎泼阻啊村闹13章晶体薄膜衍衬成象分析13章晶体薄膜衍衬成象分

8、析10/23/202121Hpu.edu.cn常见象（4）—层错堆