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ASML对准标记以及对准系统.ppt

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时间：2021-03-19

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1、AlignmentOverviewBasicAlignmentConceptGlobalAlignment1.W1M12.W1M2CalculatereticlerotationCalculatereticletranslationCalculateLensMagnification3.W2M1CalculatewaferrotationCalculatewafertranslationCalculatewaferexpansion4.Rotatewafer:M1-M2//W1-W25.Adjustmagnification(reticleheight)Detailed

2、AlignmentconceptAlignmentLaserBeam SourceandControlImageProjectionAlignmentblockandSignaldetectionVideocamera900prismFirstorderdiafragmQuadcellBeamsplitterAnalyserModulatorSeparatingbeamcomponentsAlignmentmodulationReticleandWaferMarkAlignmentgrating18micron8.8micronAlignmentgrating28micron8.8

3、micronDetectionofalignedpositionDemodulationCycleAL-17:FocusvsAlignmentFirstOrderDiaphragmM1AlignmentBlockM2AlignmentBlockAnalyser

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