一厂设备科上半年工作总结.doc

《一厂设备科上半年工作总结.doc》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在应用文档-天天文库。

1、一厂设备科2013年上半年工作总结一、设备各项指标完成情况1、设备故障时间统计2、设备主要故障原因单位：h一厂汇总外延芯片前段芯片后段动力能源上半年1572.5404481084.50.0原因：《外延组》：1.23MOCVD-I时间：1H原因：H2压力低下DOWN机3.31MOCVD-I时间：4h原因：设备漏水5.11M-k465时间：15.5h原因：反应室下端焊接处漏5.12M-k465时间：8.5h原因：反应室下端焊接处漏5.29MOCVD-N时间：2h原因：RT电脑异常，对其重新启动6.22烤炉D时间：5h原因：由于湿度过大导致跳电宕机《制备》：3.4-5P

2、ECVD03时间：36h原因：加热控制器出错3.6-11PECVD03时间：132h原因：加热控制器出错3.14-16高温清洗机时间：22原因：上下轴移动告警3.21高温清洗剂时间：16h原因：石英提篮摔碎4.9ITO-03时间：17.5h原因：e-gun熄火4.10QX-03时间：13h原因：2#槽石英槽破裂4.17PG-04,05,06时间：14h原因：线条粗，粘版4.18PG-06时间：12h原因：线条粗细不均匀4.19PG-06时间：24h原因：线条粗细不均匀4.20PG-06时间：9h原因：线条粗细不均匀5.6PG-05时间：12h原因：stage异常，

3、改造5.7PG-05时间：12h原因：stage异常，改造5.27PG-06时间：7h原因：曝光台不平《芯片》：3.25-4.24CS20~CS30时间：974h原因：真空异常，探痕异常，分选排列异常，分选马达异常等4.26CS30时间：3h原因：分选前置PPT变形，卡夹感应器异常4.30CS26时间：3h原因：wafer置放失败5.1YM03时间：3h原因：设备电源无法启动5.2HP05，HP07时间：7h原因：厂家保养5.5HP05时间：3.5h原因：划片切深不够5.6HP05，HP06时间：7.5h原因：划片切深不够5.8LP-04时间：4h原因：无法开机5

4、.14HP-06时间：10h原因：CCDZ轴光栅尺污染5.21YM-04时间：6.5h原因：研磨偏6.6CS24时间：8.5h原因：软件异常,触摸屏异常6.9CS28时间：5h原因：电极异常；YM-04时间：3h6.15HP-07时间：12h原因：平台晃动对设备故障时间总结：a)设备故障时间统计办法从4月份进行更改，innobiz故障时间纳入统计。5月份由于重新定义故障时间的核算方法，innobiz的设备调整调试时间均不纳入故障考核，使得芯片部门设备故障时间大大减少。b)上半年制备设备故障主要体现在PECVD-03上，加热器控制错误故障时间长达168H,该设备的加

5、热控制是厂家专利设计，无法再短时间内购买到合适的备件，对于其加热测温的热电偶也得现场测量，其密封口径也必须与设备相配合。曝光机综合故障时间为113小时，主要体现在自动曝光机上，此类曝光机精度较高，维修难度较大，且都为厂家一代产品，尚有许多不稳定因素，改造性维修时间较长。c)芯片后段4月份起innobiz故障时间纳入统计，由于该设备调整调试频繁，综合故障时间达到974h，占4月份故障总时间的90%，后规范故障考核标准，故障时间大大减少。划片机由于厂家过于保守，内部主要部件维修均采用上锁和保密方式，不让我科室人员自行修复。特别是激光源调整和平台更换设置与厂家和我司维修

6、费用付款及时性问题，造成很多等待等无效故障时间。d)本季度设备故障总时间为1572.5h（未剔除备件等待时间），由于故障设备非瓶颈性及备品备件准备充分，对生产影响较小。现一厂制定设备故障时间指标为每月不超过270h且剔除备件等待时间（1000h），则上半年设备科总体故障时间达标。2、备品备件及外修费用单位：万元一厂汇总外延芯片前段芯片后段动力能源上半年386.19122.78138.0992.8431.79对设备备品备件和外修维修费用总结：1、设备科备品备件和外修维修费用单片指标为33.1元，综合产量约合上半年备品备件和外修维修费用指标为354万元而实际为386.

7、19万元。2、1月份由于生产需要，备品备件集中领用，备品备件和外修费用共计112.91万元，占上半年总费用的约30%3、设备完好率单位一厂汇总外延芯片前段芯片后段动力能源实际99.66%99.96%99.73%99.43100%结论：完成比目标98.50%高：1.16%结论：完成指标--比目标高1.16%备注：芯片后段4月份由于innobiz故障纳入统计，导致芯片完好率大大降低，同时也影响了整个上半年的完好率。总体来说，设备科各组上半年增强预检预修和维修及时性，有效保证了设备完好率完成指标。开展的主要工作1．安全方面a)每日班前会安全教育，确保了人员安全零事故。b

8、)编制、完