上海化工研究院有限公司(原上海化工研究院)受宏茂微电

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1、上海环境热线www.envir.cn说明上海化工研究院有限公司(原“上海化工研究院”)受宏茂微电子(上海)有限公司委托开展对“新增金凸块、铜(柱)凸块、晶圆片级芯片等加工生产,指纹识别器、MEMS传感器件等封装测试项目”(原第一次公示名称为“新增金凸块、铜凸块电镀生产及后道工序COF/COG封测生产、MEMS传感器件封测生产及指纹识别器封测项目”)的环境影响评价。现根据国家及本市法规及规定,并经宏茂微电子(上海)有限公司同意向公众进行第二次信息发布,公开环评内容。本文本内容为现阶段环评成果。下一

2、阶段,将在听取公众、专家等各方面意见的基础上,进一步修改完善。上海环境热线www.envir.cn1、建设项目概况1.1建设项目的地点及相关背景宏茂微电子(上海)有限公司(以下简称“公司”)位于上海青浦区崧泽大道9688号。主要从事半导体凸块的生产和封装测试、显示器驱动IC封装测试等业务。公司拟在现有厂房内进行产品及产能扩增,新增金、铜、铁镍、铜柱凸块以及晶圆片级芯片的加工生产(含金、铜凸块的封装测试,即封测),指纹识别器和微机电系统(MEMS)传感器件封装测试。1.2建设项目主要建设内容、生产

3、工艺、生产规模、建设周期和投资本项目建设内容主要包括以下几个方面:(1)生产装置:调整车间布局,增设金、铜、铁镍、铜柱凸块以及晶圆片级芯片加工生产设备,金凸块、铜凸块、指纹识别器和MEMS传感器件封测设备;(2)公用工程:新增公用工程用房,增设冷冻机、空压机、纯水制备系统;(3)环保设施:新增含金废水的回收金处理系统、切割废水回收处理系统、含重金属废水处理系统等废水预处理系统;新增厂内集中废水处理站。本项目公用工程主要依托现有,组成情况见1。表1本项目建设内容及组成类别名称内容和规模备注调整车间

4、布局,增设金、铜、铁镍、铜柱凸块以及晶圆片级芯片的生产设备,并新增金凸块、铜凸块、指主体新增设备、生产车间纹识别器和MEMS传感器件封测设备工程调整布局新增2个一般岗位废气排气筒8#、9#(8m高),用于排放岗位热气和车间一般换风依托厂内现有供水管网,水源来自上海青浦工业区园给水系统依托区供水管网排水系统雨污分流,分别纳入园区管网依托已有2套循环冷却塔,装置能力合计900t/h;循环水系统本项目新增2套冷却水塔,进水温度为38℃,出水温扩能度为32℃,设计循环量合计为900t/h3公用纯水制备系

5、已有一套纯水制备系统,能力35m/h,本项目新增纯3扩能工程统水制备系统一套,能力35m/h已有3台冷冻机,制冷剂均为R123,冷冻能力:2台1200RT,1台500RT;冷冻水系统扩能本次新增2台冷冻机,使用R123冷冻剂,设计能力1200RT,冷冻水温度6℃/12℃依托现有,厂内用电设施总安装容量2.0万kVA,厂供电系统依托内设一座总降压站1上海环境热线www.envir.cn类别名称内容和规模备注厂内已建空压站供应,内设3套空压机,每套供气能3空压系统力100m/min;扩能3本次新增空

6、压机2台,每台供气能力75m/min依托现有,由工业园区集中供热,本项目蒸汽系统消供热系统依托耗3600t/月33依托已设1座20m和1座30m的液氮储罐,本项目液氮系统*依托消耗120t/月液氩系统*依托现有供应系统,本项目消耗120L/月依托液氧系统*依托现有供应系统,本项目消耗120L/月依托CO2系统*依托现有供应系统,本项目消耗108kg/月依托利用现有设施池,消防备用水池与纯水池合用,总容消防系统33依托积3000m;企业建有900m消防废水收集池含金废水预处理系统:经树脂吸附+破氰

7、系统预处理新增三组树脂吸附装置,每组10台,每台处理能力3新增1.2m/h;3更换现有破氰系统,处理能力为100m/d含铜、含镍、含锡银、含铁镍等废水预处理系统:经废水处理含重金属废水处理系统预处理新增3新增含重金属废水处理系统,处理能力为72m/d切割废水预处理系统:经切割废水回收系统,处理能3新增力50m/h3新增厂内集中废水处理站一座,容量200m,处理规33扩建模960m/d;改造后全厂废水处理能力2000m/d金、铜、铁镍、铜柱凸块及WLCPS生产过程中的有环保机废气、有机溶剂进料系统

8、废气:工程依托依托现有活性炭吸附装置处理和y6#排气筒(28m高)排放金、铜、铁镍、铜柱凸块及WLCPS生产过程中的酸废气处理性废气、酸性溶剂进料废气、废水处理站废气、树脂依托回收金处理系统废气:依托现有碱洗塔处理和y7#排气筒(28m高)排放LCDD、指纹识别器的有机废气:依托现有活性炭吸附依托装置和y4#排气筒(20m高)排放依托厂区已设置危废储存站,位于主厂房外西侧,占危废储存2依托地面积约150m3消防(事故)厂区已设置约900m消防事故应急池,本项目依托现依托废水池有2依托现有厂区西侧

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