刻蚀的基本操作及注意事项ppt课件.ppt

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1、刻蚀基本操作及注意事项口罩要按要求戴到鼻梁上拉链必须拉到领口的最上面，并将领口扣好工作帽要戴正，且头发不准露出来鞋子要干净，勤洗生产前工具的准备：工具要求：环氧板、卸片盒、承载盒、夹具、层压皮、万用表、冷热探针、石英吸笔、花篮、小车、双层小推车。清洗机的换液：电话与水站确认可以排液，员工穿戴好规定的防护用具，具体换液流程参照清洗间换液流程。1.夹片穿戴好工作服、工作帽、口罩和乳胶手套。从传递窗将装有扩散后硅片的装片盒取出，同时取出相对应的工序流程卡。传递窗2、将泡沫盒里取出300片左右，同时确定在两边的两片硅片的未扩散面朝

2、外，并在两边分别放置与硅片同样大小的环氧板，叠放整齐用夹具夹紧，确保中间无缝隙。3、如发现台面上留下碎屑，应重新检查并清理掉夹杂的碎屑及残缺碎片，重新夹片。4、从扩散出口传递窗拿取硅片时,一次限拿一盒。5、刻蚀夹片时，要轻拿轻放；夹具要夹紧，避免松动，造成硅片的滑落。6、夹好的硅片，在运输过程中，要一手提着，一手托着,禁止单手提。等离子刻蚀：1、将夹好的硅片平稳放入刻蚀机腔内的卡座上。2、盖好反应腔的密封盖子。3、按下机器的运行按钮，机器开始刻蚀。4、机器运行结束,蜂鸣停止,5、停止机器，打开密封盖取出硅片。6、取出3片硅

3、片，待冷却后使用万用表的200mv档测试刻蚀效果，方法是冷热探针测试法。7、测试数据为正值且大于30mv，则为合格；否则需重新刻蚀。8、硅片放入腔体内时，夹具的底部凹槽一定要与腔底的卡座相扣稳,并旋转进行确认。9、在刻蚀机运行当中,应注意观察工艺运行参数的变动(辉光功率反射功率)，还有辉光的颜色为乳白色。10、刻蚀结束后，取出硅片时，要戴好防护手套，以免被烫伤。11、使用热探针测试时，注意避免手被烫伤。装片:1、将刻蚀合格的硅片放好、放平。调整好真空吸笔的压力，并用酒精擦拭干净。2、按规定把硅片的扩散面朝承载盒未开口方向轻

4、轻水平插入，每插完一盒硅片要按照工序流程卡集中放好。3、去PSG装片时，盒子的放置方式为左开口右未开口，扩散面应朝向承载盒的未开口方向。3、每插完一批硅片在工序流程卡上记录相关信息，并仔细做好生产纪录。4、插片过程中如遇到裂纹片，针孔片或其它不合格硅片需及时挑出，并分开放置，待下班后塑封包装并放在指定位置。5、装片要及时更换乳胶手套，减少直接接触硅片的扩散面，以防止造成手指印。6、装片时一定要注意正反面的方向，千万不能装混。去PSG清洗1、穿戴好工作服、工作帽、乳胶手套及一次性口罩。2、依次打开控制柜电源开关、氮气、压缩空

5、气和纯水的截止阀门。3、清除槽内碎片和污物，并用纯水冲洗干净。4、根据工艺要求，设定各槽时间以及相关工艺参数。配好清洗液，配液时必须穿戴好防酸服、防毒面具、防酸手套、防酸靴。5、检查清洗花篮是否有破损的。6、将装好的硅片,放入清洗花篮,放到清洗机的上料台。7、启动清洗机自动运行。8、拿取已装好片子的承载盒时，单手只能拿一盒，且方向要持平。10、去PSG配液，穿戴好防护用具，并确认好化学品再进行配液。11、清洗机在自动运行状态，严禁人的身体部位伸入机器内。12、清洗机在手动状态下操作时，需两人在场，一人操作，一人确认。13、

6、清洗机在运行过程中,要时刻关注机器的运行状态。甩干1、穿戴好工作服、工作帽、一次性手套和一次性口罩。2、打开甩干机电源开关以及氮气、压缩空气和纯水的截止阀。3、检查甩干机内是否有生锈部分和易造成硅片污染的金属杂质或其他残存物质，并清洗干净。4、根据工艺要求，设定好甩干机的运行参数。5、更换一次性手套，从清洗机的下料台取下清洗好的硅片，用小车推到甩干机边上。6、打开甩干机盖，把硅片按照平衡性，放入甩干机腔内，关上机盖，运行甩干机。7、机器运行结束，更换一次性手套，打开机盖，取出甩好的硅片放入运输小车。8、填写好生产记录以及工

7、序流程卡。9、将甩干好的硅片送往PECVD传递窗；并拿回空承载盒。注意事项1、硅片放置一定要对称，保持平衡性。2、操作甩干机时，待甩干机完全停止后，才能开启甩干机盖。3、从PECVD传递窗内处拿取空承载盒时，单手限拿两只，注意安全。4、严格按照工序步骤操作，发现异常情况及时报告工艺员或当班主管。5、配液和换液。6、液位检查。7、严格保证工艺参数的稳定。8、花篮破损检查与清洁。9、检查水压、流量和喷淋情况。10、检查片子干燥情况。安全及工艺卫生1、全过程戴口罩及乳胶手套。一次性手套的佩戴也必须是戴在乳胶手套的外面。2、工作过

8、程中清洗机门应关闭，以避免气态HF和HCL外泄和硅片受光。3、清洗机的门一定要关闭4、接触硅片或硅片承载器必须戴一次性薄膜手套，在接触其他类物品后再次接触，须更换干净的一次性薄膜手套。每甩干一篮片子必须更换一次性手套。5、片子暴露在空气中的时间要尽可能的短。6、无明显异常时，甩干后的片子不可与身体任何部