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1、精品好文档，推荐学习交流目录引 言１第一章MEMS技术概要２1.1MEMS技术的发展２1.2MMES技术发展的浪潮２第二章MEMS传感器分类及典型应用３1.1MEMS加速度计４1.1.1压阻式微加速度计４1.1.2电容式微加速度计４1.1.3压电式微加速度计４1.2微压力传感器５1.3MEMS陀螺５1.4微气体传感６1.5微温度传感器６第三章国内外MEMS传感器的标准化目前概况６2.1MEMS传感器标准化国内概况６2.2MEMS传感器标准化国外概况７第四章对我国MEMS传感器标准发展对策的几点建议７3.1 推
2、出我国自主创新的MEMS传感器标准７3.2 加强标准化工作的国际合作８3.3 加强MEMS传感器标准化工作管理８第五章总结８参考文献９致谢１０仅供学习与交流，如有侵权请联系网站删除谢谢１３精品好文档，推荐学习交流摘要MEMS传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感器,具有很多新的特性,相对传统传感器其具有更大的优势。MEMS传感器种类繁多,发展迅猛,应用广泛。在追求微型化的当代,其具有良好的发展前景,必将受到各个国家越来越多的重视。首先,本文简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用。论述了目前国内外MEMS
3、传感器标准的现状,并就国内外MEMS传感器标准体系的发展过程、特点、标准体系存在的问题进行了分析探讨,同时,对我国MEMS传感器标准的发展对策提出了建议。关键词:MEMS传感器;加速度计;陀螺仪;纳米技术;微机构;微传感器仅供学习与交流，如有侵权请联系网站删除谢谢１３精品好文档，推荐学习交流AbstractMEMSsensorisanewtypeofsensorwiththedevelopmentofnanotechnology,withmanynewfeatures,relativetothetraditi
4、onalsensorhasagreateradvantage.MEMSsensorsawiderangeofrapiddevelopment,widelyused.Inthepursuitofminiaturizationofthecontemporary,itsgoodprospectsfordevelopment,willbesubjecttomoreandmoreattentioninvariouscountries.Firstofall,thispaperbrieflyintroducesthecla
5、ssificationandtypicalapplicationofMEMSsensors.ThispaperdiscussesthecurrentsituationofMEMSsensorstandardathomeandabroad,andanalyzesthedevelopmentprocess,characteristicsandstandardsystemofMEMSsensorstandardsystemathomeandabroad,andputsforwardsomesuggestionson
6、thedevelopmentofMEMSsensorstandardinChina.Keyword:MEMSsensor;accelerometer;gyroscope;nanotechnology;micromechanism;microsensor.仅供学习与交流，如有侵权请联系网站删除谢谢１３精品好文档，推荐学习交流引 言MEMS传感器是采用微机械加工技术制造的新型传感器,是MEMS器件的一个重要分支。MEMS技术的进步和发展促进了传感器性能的提升。作为MEMS最重要的组成部分,MEMS传感器发展最快,
7、一直受到各发达国家的广泛重视。美、日、英、俄等世界大国将MEMS传感器技术作为战略性的研究领域之一,随着微电子技术、集成电路技术和加工工艺的发展,极大地促进了传感器的微型化、智能化、多功能化和网络化发展。MEMS传感器正逐步占据传感器市场,并逐渐取代传统机械传感器的主导地位,已得到消费电子产品、汽车工业、航空航天、机械、化工及医药等各领域的青睐。第一章仅供学习与交流，如有侵权请联系网站删除谢谢１３精品好文档，推荐学习交流第一章MEMS技术概要1.1MEMS技术的发展1824年,硅的发现为微电子技术和MEMS技
8、术的发展奠定了材料基础。1954年,发现了压阻效应,为微型压力传感器的研制奠定了理论基础。1967年提出了表面牺牲层工艺技术,并在此基础上制备出了具有高谐振频率的悬臂梁结构。1970年,美国Kuliet公司展示了第一款硅基加速度计。1982年,德国提出一种以高深宽比结构为特色的L工GA工艺,用于制造微齿轮等卫星机械部件。1987年,MEMS作为一个正式的名字在美国诞生。2000年至今,MEMS高速发
