Despatch烧结炉简介ppt课件.ppt

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1、Despatch烧结炉简介二期C班工艺李明2011-6-22◆烧结炉构造简介1.烧结炉结构布局2.热排和有机排3.烘干区4.烧结区5.冷却区6.烧结原理◆烧结炉操作说明1.操作界面说明2.烘干区气流量控制3.烧结区气流量控制目录Despatch烧结炉构造简介结构布局:Despatch烧结炉分为烘干区和烧结冷却区两个主要部分。依次为:烘干区有机排、热排、烘干一区至四区、冷凝管、热排、烧结一区至六区、有机排(56烧结区)、热排、水冷区、风冷区。烧结炉的烘干区和烧结区之间是断开的,有大概45cm,炉带上方有冷凝抽风

2、管。快速热升温(≥150℃/sec)增强冷却性能(>150℃/sec)炉腔内温度稳定性高(±2℃)软启动闭路温度控制增强的软件设置管理先进的用户图形操作界面主生产控制界面数据记录冗杂温度过高自动关机硅片阴影最小化设计可安全,简便地使用工作室与视线齐平的电子装置,易于维护Despatch烧结炉-特点在烧结炉的烘干区有一个有机排和热排,烘干区烧结区连接处有冷凝器,烧结区有3个热排(烧结入口处有一个热排,水冷风冷区有2个热排),56烧结区2个有机排,热排使内部氛围与外界空气相隔绝。①热电偶:探测有机排内废气的温度。

3、②有机排:烘干过程中产生的有害有机废气经过加热并点燃焚烧,然后再由外围设备抽走。热排和有机排烘干区共有8个腔体,每两个腔体组成一个温区,共4个温区。每个温区的上部有一个热电偶。每个腔体内上下各有一个进气口,缓缓向腔体内渗入压缩空气,即每个温区内上下各有两个进气口,上面两个进气口是相通的,可以控制气流量的大小,同样下面两个进气口也是相通的,也可以控制气流量的大小。每个腔体的上部有6个加热管,每个腔体的下部是有石棉围成的保温腔。①热电偶:每一个烘干区各有一个独立的热电偶对温度进行监控和测量。②压缩空气进气口:③烘干

4、腔体下半部分:内部为石棉构成的空间,起保温作用④烘干腔体上半部分:内部为加热管烘干区烧结区烧结区共有6个腔室。每个腔室为一个温区。每个温区各有一个热电偶,对温度进行监控和测量。每个腔室的上下各有一个压缩空气进气口,每两个腔室的进气口是相联通的,即烧结1区和2区的上部进气口是相通的,并可以控制气流量的大小。同样,烧结1区和2区的下部进气口也是相通的,并可以控制气流量的大小。烧结3~6区的上部(下部)两个进气口也是相通的,并可以个独立控制气流量大小。①烧结炉废气排放口和集油盒:在烧结区前端和后端各有一个废气排放口,

5、其中集油盒可以定期清洗一下,防止废油滴到电池片上。②压缩空气进气口③热电偶④烧结区加热管⑤烧结1区⑥烧结2区⑦烧结3区和4区⑧烧结5区和6区冷却区冷却区分为水冷区和风冷区。①水冷区是通过循环冷水,吸收电池片的热量②风冷区是用冷却的空气进一步降低电池片的温度。水冷区风冷区烧结曲线烧结原理采用一次烧结的共烧工艺,同时形成上下电极的欧姆接触。银浆、银铝浆、铝浆印刷过的硅片,经过烘干使有机溶剂完全挥发,膜层收缩成为固状物紧密粘附在硅片上。当电极金属材料和半导体硅加热达到共晶温度时,硅原子以一定的比例溶入到熔融的合金电极

6、材料中。温度降低,系统冷却形成再结晶层,溶入到电极金属材料中的硅原子重新以固态形式结晶出来,在金属和晶体接触界面上生长出一层外延层,形成欧姆接触。烘干烧结风冷水冷烧结曲线烧结原理Despatch烧结工艺包括四个阶段:(1)有机物燃烧段,(2)预热段,(3)烧结段,(4)降温段。(1)有机物燃烧段:设定温度在100-350℃,设定温度过高,浆料中的有机物挥发速度过快,造成金属颗粒之间疏松,造成烧结后R电极和R接触过大;若温度设置过低,导致有机物燃烧不完全,引起以上问题。(2)预热段:设定温度在350-600℃,使

7、背电场和背电极升高到一定温度。(3)烧结段:设定温度600以上,其决定了烧结过程中银硅合金,铝硅合金中金属原子的浓度,对正电极和背电场以及Rs,FF影响非常大。设定温度过高,会使正电极烧穿,设定温度过低,Isc和FF下降,Rs升高,EFF下降。烧结段是烧结的核心。烧结炉操作界面说明:1015141312116789345120181621719烧结炉操作1.SystemStatus:Displayscurrentstateofheaters,conveyorandutilitiesorothersystemfu

8、nctions.(显示目前的加热,传送和功效的状态)2.ENABLE/DISABLE:SwitchesTurnseparatesystemsON(ENABLE)orOFF(加热和传送还有功效可以单独控制)3EXIT:PresstoexitCDFSystemOperation.Figure15showsExitdialogscreen.(退出当前的操作系统)4UserInformatio

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