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时间：2020-11-17
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1、直流辉光等离子体特性诊断报告人：杜科指导教师：乐永康直流辉光等离子体特性诊断了解直流辉光放电中各区域的特性分析静电探针的工作原理总结探针测量等离子体参数的相关理论探讨静电探针获得等离子体伏安曲线的技术测量正电柱区的等离子体参数分析了引入误差的机理1.1等离子体的产生（辉光放电）1.2等离子体的基本特征等离子体温度等离子体密度等离子体振荡德拜屏蔽，鞘层1.3等离子体参数的诊断基于等离子体的电磁效应的静电探针和磁探针诊断方法。基于电磁波在等离子体中传播特性的微光探针、激光探针等。光谱分析方法等1.4静电探针法静电探针测量原理图典型的
2、伏安特性曲线双探针I-V曲线单探针I-V曲线1.5双探针理论以电子伏为单位时电子的温度：离子密度：探针电流:2.1双探针曲线分析测量电流不饱和测量曲线不对称放电条件为：气压60Pa,电压600V，辉光电流12.6mA时测得直流空气等离子体伏安特性曲线-1V1V之间伏安特性曲线2.2理想曲线拟合理想双探针伏安特性曲线拟合2.3等离子体参数计算图伏安特性曲线可以得到,探针参数为：直径，长度探针面积电子温度等离子体离子密度4误差的引入气压探针的大小和形状探针的电子发射探针的氧化谢谢大家！感谢实验室各位老师的指导！
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