彩色ACPDP的制作材料和工艺ppt课件.ppt

《彩色ACPDP的制作材料和工艺ppt课件.ppt》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室一、等离子体显示器概述二、气体放电物理基础三、彩色交流等离子体显示器（AC-PDP)介绍四、彩色AC-PDP的制造材料和工艺五、彩色AC-PDP电路系统六、彩色PDP技术的新发展七、直流等离子体显示器（DC-PDP)八、PDP的应用及未来发展提纲彩色AC-PDP的的制造材料和工艺彩色AC-PDP主要部件1.玻璃基板技术要求:表面平坦，应变点温度高，热膨胀系数与电极材料和介质材料匹配。实用材料：（1）普通平板钠钙玻璃优点：价格便宜，与已开发出的彩色PDP所用的其它

2、材料相匹配。缺点：应变点低（一般为500℃左右），热稳定性差。西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室（一）彩色AC-PDP的主要部件及其制作材料彩色AC-PDP的的制造材料和工艺西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室钠钙玻璃由于冷却速度不同造成热处理后的变形钠钙玻璃在电极浆料烧结后的产生的弯曲（2）PDP专用基板玻璃优点：高应变点，如PD200（应变点570℃）、CS25（应变点610℃），热稳定性好。缺点：价格昂贵彩色AC-PDP的的制造材料和工艺（二）透明电极作用：透明电极仅设置在AC-PDP

3、的前基板上，减少对可见光的阻挡，并与同一基板上设置的汇流电极成对构成放电用的电极，即显示电极。西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室技术要求:可见光透过率高，电导率高，刻蚀性能优良。实用材料：氧化铟锡（ITO）薄膜、SnO2薄膜。ITO膜采用氧化铟与氧化锡比值大致为9：1的混合物靶通过溅射法制取．膜层具有优良的光透射率及导电性。PDP用ITO膜的表面电阻从20—30／(方块电阻）（膜厚1500A)到1000／(膜厚500A)。西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室彩色AC-PDP的的制造

4、材料和工艺ITO薄膜特点：ITO工艺成熟，刻蚀性能良好，但在PDP工艺中经过高温处理时，阻值变化较大。SnO2薄膜特点：成膜工艺简单，成本低，且热稳定性好，但其刻蚀性能不易掌握。彩色AC-PDP的的制造材料和工艺西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室（三）汇流电极和寻址电极汇流电极:▪作用:减小显示电极电阻▪要求:导电性能好，与透明导电薄膜附着力强▪制作材料和方法:Cr-Cu-Cr薄膜磁控溅射法制备薄膜，刻蚀成形Ag浆料丝网印刷图形，烧结制成光敏Ag浆料丝网印刷，光刻成形，烧结制成西安交通大学电子物理与

5、器件教育部重点实验室彩色AC-PDP的的制造材料和工艺寻址电极:▪要求:导电性能好，与基板玻璃附着力强。▪制作材料和方法:Ag浆料：丝网印刷图形，烧结制成。光敏Ag浆料：丝网印刷，光刻成形，烧结制成。彩色AC-PDP的的制造材料和工艺西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室（四）介质层▪作用:把电极与放电等离子体分隔开，限制了放电电流的无限增长，保护了电极；使AC-PDP工作在存储模式,有利于降低维持电压。▪材料:介质浆料主要由玻璃粉、树脂粘结剂、溶剂等组成。西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室彩色

6、AC-PDP的的制造材料和工艺（五）介质保护膜▪作用:延长显示器的寿命；增加工作电压的稳定性；降低器件的着火电压；减小放电的时间延迟。西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室彩色AC-PDP的的制造材料和工艺▪技术要求:①二次电子发射系数高；②表面电阻率及体电阻率高：s>1012Ω/□，v>1011Ω.m；③耐离子轰击；④击穿强度高：E>(8-10)×106v/m；⑤与介质层的膨胀系数相近；⑥放电延迟小；⑦易于制备。MgO晶体的化学性质在室温下空气中发生以下反应：在高温下将发生以下反应：彩色AC-PD

7、P的的制造材料和工艺西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室（六）障壁▪作用:①保证两块基板间的放电间隙，确保一定的放电空间；②防止相邻单元间光电串扰。▪技术要求:对障壁的要求是高度一致(偏差5m)，形状均匀。障壁宽度应尽可能窄，增大单元开口率，提高器件亮度。西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室彩色AC-PDP的的制造材料和工艺▪障壁材料:低熔点玻璃浆料（七）荧光粉层将VUV转变为可见光，实现彩色显示。要求:发光效率高，色彩饱和度高，厚度均匀.（八）放电气体用于产生真空紫外辐射（VUV）。西安

8、交通大学电子物理与器件教育部重点实验室彩色AC-PDP的的制造材料和工艺彩色AC-PDP制作工艺丝网印刷原理示意图1.丝网印版（a.网框,b.丝网上非图文部分(简称版膜),c.丝网上图文部分）,2.刮板,3.浆料,4.基板丝网印刷工艺流程：丝印制版丝网印刷浆料烘干浆料烧结西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室彩色AC-PDP的的制造材料和工艺印刷工艺的优点：设备低价，工艺简易，生产率高、成本低等优点。主