河南城建学仪器设备技术指标和功能要求.doc

《河南城建学仪器设备技术指标和功能要求.doc》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在行业资料-天天文库。

1、河南城建学院仪器设备技术指标和功能要求表4序号设备名称技术指标和功能要求单位数量备注1高真空多靶磁控溅射镀膜机*1、主溅射真空室尺寸:Ф560×350mm进样室尺寸：Ф560×350mm真空系统配置：主溅射室、进样室由各自独立的分子泵与机械泵抽气极限压力：主溅射室6.67×10-6Pa进样室≤6.67×10-4Pa修复真空时间：主真空室40min可达到6.6×10-4Pa进样室室40min可达到6.6×10-3Pa磁控靶组件：靶材尺寸Ф60，各靶射频溅射与直流溅射兼容，靶与样品距离40-80mm可调。*2、设计6个工位，其中1个工位安装加热炉，其余工位为水冷基片台；*3、样品尺寸Ф

2、30，可放6片，运动方式0-360°往复回转，基片加热最高温度600℃*4、水冷循环*5、有负偏压控制系统*6、电脑：参数：CPU酷睿I5-6400处理器操作系统Windows7家庭普通版CPU类型第六代智能英特尔酷睿I5处理器四核500G内存容量4GB内存类型DDR4内存频率2133MH插槽数量2*7、柜机空调套12真空蒸发镀膜机*1、主真空室尺寸：400×400×450mm；2、极限压力：≤2×10-5Pa；*3、盒式蒸发舟；*4、膜厚检测仪：美国Filtech，每秒测量10次，0.03Hz测量，0.0133埃/秒；5、样品台：样品尺寸：120×120mm基片，可放置42×34

3、mm小基片6个，基片可连续回转，转速5-20转/分；6、采用LED外照明方式；7、真空室外带烘烤方式。套131总体要求1.1设备应采用先进成熟的设计思路及制造技术。1.2设备具有优良的品质，即可靠性高，使用寿命长。1.3设备操作方便、维护及维修容易，安全可靠。1.4设备有高的测量准确性和重复性。2光源（光谱范围及分光方式）a)光谱范围：240nm-2500nm*b)分光方式：采用前置单色仪分光C)最小光谱测量间隔：由于0.2nm3起偏器、补偿器（调制器）和检偏器部分a)覆盖范围：覆盖仪器给定的整个光谱范围（240-2500nm）*b)补偿技术：基于旋转补偿或自动相位延迟等多位置动态

4、补偿技术，补偿位置不少于3个。4测角仪部分a)入射角可变范围：20°-90°，最小步长0.01°b)变角方式：步进马达驱动，自动变角c)角度精度：0.01°d)样品准直：包括样品准直系统5样品台部分*a）样品台：垂直样品台，真空吸附样品，可吸附最大样品直径150mmb)Z向移动方式及行程：手动，最大行程20mmc)样品台调整：可对样品的俯仰进行手动调节6数据采集及分析软件a)软件应包括3个license（一个用于在线测试和分析数据，另二个用于离线分析数据）。b)数据分析软件功能全、条理清晰、操作简便、人机互动性强；材料库及色散关系式全，可参考已知光学常数来建立色散关系式，可组合多个

5、色散关系式到同一材料层中；可进行椭偏数据和透射率及反射率数据合并拟合，有多数据同时拟合功能；可对拟合参数的唯一性进行检测。c)软件可进行单层、多层膜的膜层厚度、折射率n、消光系数k等参数的分析。d)软件应具备材料组分、折射率梯度分布、表面粗糙、界面混合、各向异性等分析能力；可修正不理想的真实样品，如膜厚不均匀、背反射等。*计算机配置，最新64位操作系统，500G硬盘，4G内存，23寸显示器，保证数据处理的流畅e)软件可选择多入射角进行测量并同时拟合数据*7测量准确性：在240-1700nm光谱范围上，Ψ：450±0.030，∆：00±0.060；在1700-2500nm光谱范围上，

6、Ψ：450±0.050，∆：00±0.10（为直射状态下测量空气的数据）8.测量重复性:σ（Ψ）:0.0150，σ（Δ）:0.080；(30次测量的标准偏差，样品为SiO2（30nm）/Si)套14多功能光催化反应器*1、光源功率可连续调节大小，集成式光源控制器，可供汞灯、氙灯、金卤灯等多种光源使用。*2、汞灯功率调节范围：100~1000W可连续调节。3、氙灯功率调节范围：100~1000W可连续调节。4、金卤灯功率调节范围：100~450W可连续调节。*5、石英试管规格：30ml、50ml(或定做)。6、可同时处理8个样品(或定做)。八位磁力搅拌装置可同步调节8个样品的搅拌速度

7、。7、冷却水循环装置制冷量：＞1000W冷却水循环装置设有脚轮和底部排液阀。套15浸渍提拉镀膜机*1. 提拉速度范围：1～6000μm/s，最小分辨率1μm/s；（另有低速0.1μm/s、0.01μm/s产品）2. 速度精度：-0.02%～+0.02%；3. 最大行程：约170mm（以实际为准）*4. 可镀膜基片尺寸：MIN10×10mm，MAX100×100mm，厚度MAX10mm；5. 浸渍时间：1～3600s，最小分辨率1s；*6. 镀膜次数：1～100次，最少