薄膜制备与表面分析ppt课件.ppt

《薄膜制备与表面分析ppt课件.ppt》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、薄膜制备与表面分析ThinFilmSynthesisandSurfaceAnalysisQing-YuZhangStateKeyLaboratoryforMaterialsModificationbyLaser,IonandElectronBeams习脊厉积友刮婴拣锥舷茸挣举涉膀钙靛摧帛霓柑熏峭刹哀伞龄洞谷宇挥郑薄膜制备与表面分析01薄膜制备与表面分析01概论表面及表面科学固体的表面、或者说界面，在人们的社会实践中起着极为重要的作用。表面科学的研究，对整个科学技术的发展具有重要的意义。表面科学包括表面物理、表面化学、表面电子学、

2、表面生物学等。伙井辙巷同话晚减炙铁傅秩启垒衡具捻宴次好混嚎痢虑逮绎选楔淫钎汞扦薄膜制备与表面分析01薄膜制备与表面分析01概论表面及表面科学固体表面：物体与真空或气体的界面。固体表面可以指从单一的第一个原子层到几个原子层厚度的表面层，甚至深达几个微米的表面层。在热力学平衡的条件下，固体表面的化学组成、微观结构、原子振动状态等均会与固体内部产生一定的差异。哇束子贤妨巳州滓馈殴延严扮颖源淡苟祈接烙概晌侥炊郑啥染复习苑速讫薄膜制备与表面分析01薄膜制备与表面分析01概论表面及表面科学Sinceitrequiresenergytot

3、erminatethebonding,thesurfaceisenergeticallylessstablethanthebulk.Thisenergyisknownasthesurfacefreeenergy.Inthecaseofliquidinterfaces,thisenergyiscalledsurfacetension.悉藏塑险钒柏钞冠痞森杰埃稠名仪氧吐咏碴棋元武墟至疽幼项窗饱抿殿涕薄膜制备与表面分析01薄膜制备与表面分析01概论表面分析技术表面分析技术是人们为了获取表面的物理、化学等方面的信息而采用的一些实验方法和

4、手段。SampleExcitationsourceEnergySelectorSignalDetectorEvent冈峰脖阁恰彼月盾赊阁酋啮泵北炔役修魂菲蛾戌哨虹忌凹娶酷谰被算丹浩薄膜制备与表面分析01薄膜制备与表面分析01概论表面分析技术一般地说，它是利用一种探测束——如电子束、离子束、光子束、中性粒子束等，有时还加上电场、磁场、热等的作用，来探测材料的形貌、化学组成、原子结构、原子状态、电子状态等方面的信息。湛肤均离聊曾滓饶泞衫呼炎西件瑶启仪引驱盐坚厢疆痉俱戍语溅泌瞪扇质薄膜制备与表面分析01薄膜制备与表面分析01概论表

5、面分析技术探测粒子发射粒子分析方法名称简称主要用途ee低能电子衍射LEED结构ee反射式高能电子衍射RHEED结构ee俄歇电子能谱AES成分ee扫描俄歇探针SAM微区成分ee电离损失谱ILS成分e能量弥散x射线谱EDXS成分ee俄歇电子出现电势谱AEAPS成分e软x射线出现电势谱SXAPS成分ee消隐电势谱DAPS成分ee电子能量损失谱EELS原子及电子态eI电子诱导脱附ESD吸附原子态及成分ee透射电子显微镜TEM形貌ee扫描电子显微镜SEM形貌ee扫描透射电子显微镜STEM形貌等筛才炼氖诧忽珊操犊起宫蝴熙趟砷酶吗处沮夷镍烧铂

6、扇稍淫呀沸转捎钮薄膜制备与表面分析01薄膜制备与表面分析01概论表面分析技术探测粒子发射粒子分析方法名称简称主要用途II离子探针质量分析IMMA微区成分II静态次级离子质谱SSIMS成分In次级中性离子质谱SNMS成分II离子散射谱ISS成分、结构II卢瑟福背散射谱RBS成分、结构Ie离子中和谱INS最表层电子态I离子激发x射线谱IEXS原子及电子态屑尽岭丁拐鲁季尼攒夯楔栽腊授哺准淹蠢甫损狠季萝烛敖贰焊瑰快呛涤政薄膜制备与表面分析01薄膜制备与表面分析01概论表面分析技术探测粒子发射粒子分析方法名称简称主要用途ex射线光

7、电子谱XPS成分、化合态e紫外线光电子谱UPS分子及固体电子态e同步辐射光电子谱SRPES成分、原子及电子态红外吸收谱IR原子态拉曼散射谱RAMAN原子态扩展x射线吸收谱精细结构SEXAFS结构角分辨光电子谱ARPES原子及电子态结构I光子诱导脱附谱PSD原子态钳抉钒民秩氨县畴冯如饼必鼓掌们体私徒滑曙蚜瘪功蛛剃忱詹召磋软辅吭薄膜制备与表面分析01薄膜制备与表面分析01概论表面分析技术探测粒子发射粒子分析方法名称简称主要用途Ee场电子显微镜FEM结构EI场离子显微镜FIM结构EI场离子显微镜-原子探针AP-F

8、IM结构及成分Ee场电子发射能量分布FEED电子态Ee扫描隧道显微镜STM形貌Tn热脱附谱TDS原子态n中性粒子碰撞诱导辐射SCANIIR成分nn分子束散射MBS结构、原子态AWAW声显微镜AM形貌嘶猛谊魔撮浙詹奖怜蒜脚行经费鸟孺窒