洁净度等级划分.doc

《洁净度等级划分.doc》由会员上传分享，免费在线阅读，更多相关内容在教育资源-天天文库。

1、表1洁净室及洁净区选列的悬浮粒子洁净度等级ISO等级序数（N）大于或等于表中被考虑的粒径的最大浓度限值（pc/m3空气浓度限值按3.2中的公式计算）0.1μm0.2μm0.3μm0.5μm1μm5μmISOClass1102ISOClass210024104ISOClass31000237102358ISOClass4100002370102035283ISOClass51000002370010200352083229ISOClass61000000237000102000352008320293ISOClass7352000832002930ISOClass8352000083200029

2、300ISOClass9352000008320000293000注：由于涉及测量过程的不确定性，帮要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。等级级别空气中悬浮粒子洁净度以等级序数N命名。各种被考虑粒径D的粒子Cn的最大允许浓度用下述公式确定：（1）式中，Cn—大于或行于被考虑粒径的粒子最大允许浓度（pc/m3空气）。Cn以有效数为3位四舍五入到最靠近的整数。N—ISO等级级别，最大不超过9。ISO等级级别N之间的中间数可以按0.1为最小允许递增值进行规定。D—以微米（μm）计的被选粒径。0.1—为一常数，表示以微米（μm）计的量纲。表1表示的是被选择的悬浮粒子洁净度等级和大于或等于表中所考虑粒

3、径的粒子之相应浓度限值。图A.1（见附录A）以图解形式表示出所选的等级。在有争议的情况下，从公式（1）中得到的浓度Cn应作为标准值。命名洁净室或洁净区的悬浮粒子洁净度的命名应包括：a）等级级别，以“ISOClassN”表示：b）分组时的占用状态：c）按分级公式（1）测定的被考虑粒径，各被考虑粒径的阈值均在0.1μm-0.5μm的范围内。命名实例：ISOClass4：动态：被考虑粒径：0.2μm（2370pc/m3），1μm（83pc/m3）测量浓度的被考虑粒径应得到用户和供应商双方的同意。如果测量一个以上的被考虑粒径，各较大的粒径（如D2）应至少为下一个较小粒径（如D1）的1.5倍。即：D2≥

4、1.5×D1