匀胶机说明书.doc

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1、匀胶机使用说明书中国科学院微电子研究所一、概述KW型匀胶机适用于半导体工艺，制版及表面涂覆等工艺。匀胶机稳定的转速和快速的启动，可以保证胶厚度的一致性和均匀性，为此，该机采取了如下措施：（一）定子和转子分开供电。定子用稳压电源供励磁电流，转子用开关电源调速，它比用可控硅调速优越得多，转速在1000－8000转/分范围内非常稳定。（二）匀胶机有两个转速。在启动之后，先以低速运转，使胶摊开，然后自动变到高速运转。两转速及相应的时间分别可调。（三）本匀胶机测速采用光电的方法，在光电测速盘的边上有三个缺口，光

2、电盘下面装有光电开关。当光电盘缺口转到光电开关上方时，光电开关的接收器没有信号，当光电盘的反射板（缺口以外的其余部分）转到光电开关上面时，光电接收器便接收到信号产生一个脉冲，光电盘旋转一周，光电接受器便接收到三次信号，因而产生三个脉冲。闸门由秒脉冲电路产生，周期为2秒。当马达旋转时，如果计时器在2秒内计得的数是n，则每秒钟应该转了n/（2×3）＝n/6转，每分钟旋转（n/6）×60＝10n转。故计数器就是每分钟转速，只不过差一个数量级。匀胶机的定时功能由时基电路556来完成，把556按单稳形式连接，改

3、变RC常数，就可以改变两个匀胶时间。在安装结构上，采取了减震措施，在运转时噪音很低。二、主要性能1．特点是双转速匀胶机，两档转速及其匀胶时间分别连续调节，在启动后先低速运转，经几秒钟后自动转换到高速运转。Ⅰ档转速：500－2000转/分Ⅰ速匀胶时间：2－18秒Ⅱ档转速：1500－8000转/分Ⅱ速匀胶时间：3－60秒2．LED数字显示，转速稳定度±1％，胶的均匀性±3％。3．体积小，重量轻，操作方便。4．电机功率：40W。5．适用于φ5至φ100mm硅片及其它材料等匀胶。三、控制件功能说明1．电源开关

4、：控制220伏电源的通断。2．转速调节钮：调节匀胶转速。3．控制：在启动后，定时时间未到，需立即停止而又不能停止吸片，此时只要抬起该键便可停止匀胶。4．吸片：按下时吸住片托上的片子。为避免操作上的错误，“吸片”键具有联锁功能，不吸片则电机不转。“吸片”键抬起后匀胶也就停止。5．启动：启动电机。必须在“控制”键和“吸片”键都按下时才能启动运转，否则虽按了“启动”键仍不能运转。6．匀胶时间：调节匀胶时间长短，时间分别控制在1－18秒和3秒－1分钟，其所指刻度与实际时间相近。7．电源输入（后）：插入220V

5、电源线。8．保险管座（后）：安装φ5×20－1A保险管。9．吸片抽气嘴（后）：连接到抽气泵。气泵的抽速1升/秒。四、操作步骤1．选择合适的片托，（略小于样片尺寸）将缺口对准螺钉。片托安装时一定要到底。2．开启电源，按下“控制键”。3．调节合适的匀胶时间和转速。转速Ⅰ为低速，转速Ⅱ为高速。4．放片，要注意放正。5．按下“吸片”键开始抽气。注意在按“吸片”键之前，转速电位器上的指示灯不应亮。6．按“启动键”，马达先以低速旋转，数字稳定后为实际转速，如：1.50即为1500转/分。7．滴胶，动作要快些，要在

6、低转速时间内滴胶完毕，然后匀胶机变为高速匀胶。若不知道匀胶机是在低速还是在高速运转，可以从电位器上面的指示灯来判断，红或黄色为低速，绿色为高速。8．电机停转后，抬起“吸片”键，取下片子。9．匀胶时间、转速若不合适可随时调节。10．继续匀胶时重复4－8步。11．匀胶结束后抬起“吸片”键、“控制”键，关断电源。五、注意事项1．每次开机前要注意将“控制”键，“吸片”键抬起，开启电源后分别按下各键操作，以避免未启动时电机即转动。2．不同尺寸的片子选用不同尺寸的片托，厚度在1.5mm以下的片子选用带吸气槽的片托

7、，厚度大于1.5mm的片子，选用“O”型圈的片托。3．所甩样片的尺寸要大于片托有效尺寸2－3mm左右，如果用大片托甩小的样片就会产生漏气，同时造成胶被吸入抽气室。4．如果不慎胶被吸入了抽气室，要立即进行清洗，否则片托、光电盘、电机轴会粘在一起，造成电机转不动，拆卸亦很困难。六、清洗属下列情况之一时，需要对抽气室进行清洗：1．正常使用三个月的；2．胶被吸入抽气室的；3．电机转速不稳定或被卡住转不动的。清洗的办法是依次取下片托，松开光电盘上的紧固顶丝，（参看抽气室结构图）取下光电盘、上密封环、抽气室、下密

8、封环、弹簧，用脱脂棉蘸酒精或丙酮擦洗干净，再依次装上弹簧、下密封环、抽气室、上密封环、光电盘，旋紧紧固顶丝。在安装过程中要注意几点：1．弹簧片不要卡在电机轴的台阶上，否则，下密封环压不下去，抽气室放不下去，同时，电机轴亦会被卡住。2．弹簧片的作用是将下密封环弹起，使其上表面贴紧抽气室的下表面。3．下密封环的上表面和内表面，上密封环的下表面和内表面均涂一点真空脂或黄油，一是起润滑作用，二是起密封作用。4．在安装上密封环可将其先套在光电盘上，套进1mm，不要