电镜能谱分析.doc

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1、电镜能谱分析中国科学院分析中心（中国科学院广州化学研究所分析测试中心）---李工--136--0304-4558扫描电子显微镜，又名SEM，扫描电镜，是一种在真空下用电子束扫描样品表面，逐点激发二次电子信号，根据信号强度组成形貌照片，做高倍率的表面外观形貌观察的仪器，检测流程包括制样、上机观察拍照，最后提供外观形貌照片等数据。在半导体器件的失效分析中，可用二次电子像来观察芯片表面金属引线的短路、开路、电迁移、氧化层的针孔和受腐蚀的情况，还可用来观察硅片的层错、位错和抛光情况及作为图形线条的尺寸测量等。EDS能谱仪

2、，又名显微电子探针，是一种分析物质元素的仪器，常与扫描电镜或者透射电镜联用，在真空室下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征x射线，根据特征x射线的波长，定性与半定量分析元素周期表中Be以上的物质元素，检测流程包括电镜样品制备，上机操作分析，最后提供成份分析谱图与半定量成份组成比等数据。能谱仪除了分析速度快，可做定量计算外，还可以选择不同的方式进行分析，即可选点、线及区域进行分析，还可做不同元素的面分布图（mapping）。主要用途：1、外观形貌观察，放大1000倍到30万倍率，尺寸测量等；2、选定微小位置区域

3、，探测元素成份与含量；3、是失效分析当中对于微小痕量金属物质检测的最重要的检测手段。即可选点、线及区域进行分析，还可做不同元素的面分布图。