真空泵的选型要点.doc

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1、真空泵的选型要点真空泵选型最重要也是最基本的几点：①真空泵的产品名称与型号②真空泵的真空度要求单位PA或MPA③真空泵的真空度要求单位PA或MPA④真空泵抽速要求单位L/S或M3/MIN⑤真空泵的使用与否和工作条件⑥真空泵的电机功率（KW）⑦真空泵的转速（r/min）⑧真空泵的电压〔V〕⑨真空泵的进出口口径⑩真空泵是否带附件1、真空泵工作时所产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。2、了解被抽气体的成分，被抽气体中含不含可凝气体，含不含水蒸气，有无颗粒灰尘，有

2、无腐蚀性等。选择真空泵时，需要明确知道气体成分，针对被抽气体选择相应的真空泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器，换热器，除尘器等。3、真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合好凯德真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来

3、，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，如罗茨泵不能单独使用就需要前级泵，所以都需要把泵组合起来使用。5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。6、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg

4、~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。8、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，最好能达到1mmHg。通常选

5、择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。9、真空泵的价格、运费及后期维护的费用。真空泵选型最重要的就是泵类型的确定，泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定，泵工作时，雅之雷德提醒需要注意以下两个方面：1、尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。2、应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪

6、音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。真空泵选型注意事项：1、真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。2、每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。3、真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。